Runtuyan parabot ieu nganggo target magnetron pikeun ngarobah bahan palapis jadi partikel ukuran nanometer, anu diendapkeun dina permukaan substrat pikeun ngabentuk pilem ipis. Pilem anu digulung disimpen dina rohangan vakum. Ngaliwatan struktur lilitan anu digerakkeun sacara listrik, hiji tungtung nampi pilem sareng tungtung anu sanésna nempatkeun pilem. Éta teras-terasan ngaliwat daérah target sareng nampi partikel target pikeun ngabentuk pilem anu padet.
Ciri khasna:
1. Ngabentuk pilem suhu handap. Suhu teu pati mangaruhan pilem sareng moal ngahasilkeun deformasi. Ieu cocog pikeun PET, PI sareng pilem koil bahan dasar anu sanés.
2. Kandel pilemna tiasa didesain. Lapisan ipis atanapi kandel tiasa didesain sareng diendapkeun ku panyesuaian prosés.
3. Desain lokasi sababaraha target, prosés fléksibel. Sakabéh mesin tiasa dilengkepan dalapan target, anu tiasa dianggo salaku target logam saderhana atanapi target sanyawa sareng oksida. Éta tiasa dianggo pikeun nyiapkeun pilem lapisan tunggal kalayan struktur tunggal atanapi pilem multi-lapisan kalayan struktur komposit. Prosésna fléksibel pisan.
Alat-alat ieu tiasa nyiapkeun pilem panangtayungan éléktromagnétik, palapis papan sirkuit fléksibel, rupa-rupa pilem dielektrik, pilem antiréfléksi AR multi-lapisan, pilem antiréfléksi HR anu luhur, pilem warna, jsb. Alat-alat ieu ngagaduhan rupa-rupa aplikasi anu lega pisan, sareng déposisi pilem lapisan tunggal tiasa réngsé ku déposisi pilem sakali.
Alat-alat ieu tiasa nganggo target logam basajan sapertos Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, jsb., atanapi target sanyawa sapertos SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, jsb.
Alat-alat ieu ukuranana alit, desain strukturna kompak, lega lanténa leutik, konsumsi énergina handap, sareng fleksibel dina pangaturanana. Éta cocog pisan pikeun panalungtikan sareng pamekaran prosés atanapi produksi massal sacara alit.