RCW600

Энэхүү цуврал төхөөрөмж нь бүрэх материалыг нанометрийн хэмжээтэй тоосонцор болгон хувиргах зорилгоор магнетрон зорилтуудыг ашигладаг бөгөөд тэдгээр нь субстратын гадаргуу дээр нимгэн хальс үүсгэдэг.Цутгасан хальсыг вакуум камерт байрлуулна.Цахилгаанаар ажилладаг ороомгийн бүтцээр дамжуулан нэг төгсгөл нь хальсыг хүлээн авч, нөгөө нь хальсыг тавьдаг.Энэ нь зорилтот бүсээр дамжин өнгөрч, нягт хальс үүсгэх зорилтот тоосонцорыг хүлээн авдаг.
Онцлог:

1. Бага температурт хальс үүсгэх.Температур нь хальсанд бага нөлөө үзүүлдэг бөгөөд деформаци үүсгэхгүй.Энэ нь PET, PI болон бусад үндсэн материалын ороомог хальсанд тохиромжтой.
2. Киноны зузааныг төлөвлөх боломжтой.Нимгэн эсвэл зузаан бүрээсийг боловсруулж, процессын тохируулга хийж болно.
3. Олон тооны зорилтот байршлын дизайн, уян хатан үйл явц.Бүхэл бүтэн машин нь энгийн металл бай эсвэл нийлмэл болон исэлдүүлэгч бай болгон ашиглаж болох найман байгаар тоноглогдсон байж болно.Үүнийг нэг бүтэцтэй нэг давхаргат хальс эсвэл нийлмэл бүтэцтэй олон давхаргат хальс бэлтгэхэд ашиглаж болно.Процесс нь маш уян хатан байдаг.

Тоног төхөөрөмж нь цахилгаан соронзон хальс, уян хатан хэлхээний хавтангийн бүрээс, төрөл бүрийн диэлектрик хальс, олон давхаргат AR antireflection хальс, HR өндөр тусгалын эсрэг хальс, өнгөт хальс гэх мэтийг бэлтгэх боломжтой. Төхөөрөмж нь маш өргөн хүрээний хэрэглээтэй, нэг давхаргат хальсан бүрхүүлтэй. нэг удаагийн хальсан дээр буулгах замаар дуусгах боломжтой.
Энэхүү төхөөрөмж нь Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl гэх мэт энгийн металл объектууд эсвэл SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO гэх мэт нийлмэл байг ашиглах боломжтой.

Тоног төхөөрөмж нь жижиг хэмжээтэй, хийц нь авсаархан, талбайн хэмжээ бага, эрчим хүч бага зарцуулдаг, уян хатан тохируулгатай.Энэ нь процессын судалгаа, боловсруулалт эсвэл жижиг хэмжээний бөөнөөр үйлдвэрлэхэд маш тохиромжтой.