RCW600

Энэхүү цуврал тоног төхөөрөмж нь магнетрон байг ашиглан бүрэх материалыг нанометрийн хэмжээтэй хэсгүүд болгон хувиргадаг бөгөөд эдгээр нь суурь материалын гадаргуу дээр хуримтлагдаж нимгэн хальс үүсгэдэг. Хуйлсан хальсыг вакуум камерт байрлуулдаг. Цахилгаан хөдөлгүүртэй ороомгийн бүтцээр дамжуулан нэг үзүүр нь хальсыг хүлээн авч, нөгөө үзүүр нь хальсыг байрлуулдаг. Энэ нь бай хэсгээр дамжин өнгөрч, бай хэсгүүдийг хүлээн авч нягт хальс үүсгэдэг.
Онцлог шинж чанар:

1. Бага температурт хальс үүсгэх. Температур нь хальсанд бага нөлөө үзүүлдэг бөгөөд деформаци үүсгэдэггүй. PET, PI болон бусад суурь материалын ороомог хальсанд тохиромжтой.
2. Киноны зузааныг зохион бүтээж болно. Нимгэн эсвэл зузаан бүрхүүлийг процессын тохируулгаар зохион бүтээж, түрхэж болно.
3. Олон байны байршлын зураг төсөл, уян хатан процесс. Бүхэл машиныг найман байгаар тоноглож болох бөгөөд эдгээрийг энгийн металл бай эсвэл нийлмэл болон исэлдсэн бай болгон ашиглаж болно. Үүнийг нэг бүтэцтэй нэг давхаргат хальс эсвэл нийлмэл бүтэцтэй олон давхаргат хальс бэлтгэхэд ашиглаж болно. Процесс нь маш уян хатан.

Тоног төхөөрөмж нь цахилгаан соронзон хамгаалалтын хальс, уян хатан хэлхээний самбарын бүрхүүл, төрөл бүрийн диэлектрик хальс, олон давхаргат AR тусгал эсрэг хальс, HR өндөр тусгал эсрэг хальс, өнгөт хальс гэх мэтийг бэлтгэх боломжтой. Тоног төхөөрөмж нь маш өргөн хүрээний хэрэглээтэй бөгөөд нэг удаагийн хальс түрхэх замаар нэг давхаргат хальс түрхэх ажлыг гүйцэтгэж болно.
Тоног төхөөрөмж нь Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl гэх мэт энгийн металл байг, эсвэл SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO гэх мэт нийлмэл байг ашиглаж болно.

Тоног төхөөрөмж нь овор хэмжээ багатай, бүтцийн хийц авсаархан, шалны талбай багатай, эрчим хүчний хэрэглээ багатай, тохируулга хийх уян хатан чанартай. Энэ нь процессын судалгаа, хөгжүүлэлт эсвэл бага хэмжээний массын үйлдвэрлэлд маш тохиромжтой.