Il processo di rivestimento ionico con sorgente ad arco catodico è fondamentalmente lo stesso delle altre tecnologie di rivestimento e alcune operazioni, come l'installazione dei pezzi e l'aspirazione, non vengono più ripetute.
1. Pulizia a bombardamento dei pezzi lavorati
Prima del rivestimento, il gas argon viene introdotto nella camera di rivestimento con un vuoto di 2×10-2Pa.
Accendere l'alimentatore a polarizzazione a impulsi, con un ciclo di lavoro del 20% e una polarizzazione del pezzo da lavorare di 800-1000 V.
All'accensione dell'arco, viene generata una scarica di luce ad arco a campo freddo, che emette un'elevata quantità di corrente di elettroni e ioni di titanio dalla sorgente dell'arco, formando un plasma ad alta densità. Gli ioni di titanio accelerano la loro iniezione nel pezzo in lavorazione sotto l'elevata pressione di polarizzazione negativa applicata al pezzo, bombardando e polverizzando il gas residuo e gli inquinanti adsorbiti sulla superficie del pezzo, e pulendo e purificando la superficie del pezzo; allo stesso tempo, il gas di cloro nella camera di rivestimento viene ionizzato dagli elettroni e gli ioni di argon accelerano il bombardamento della superficie del pezzo in lavorazione.
Pertanto, l'effetto di pulizia a bombardamento è buono. Solo circa 1 minuto di pulizia a bombardamento è sufficiente per pulire il pezzo, il cosiddetto "bombardamento ad arco principale". A causa dell'elevata massa di ioni di titanio, se si utilizza una piccola sorgente ad arco per bombardare e pulire il pezzo per troppo tempo, la temperatura del pezzo è soggetta a surriscaldamento e il tagliente dell'utensile potrebbe diventare morbido. Nella produzione generale, le piccole sorgenti ad arco vengono attivate una alla volta dall'alto verso il basso e ciascuna piccola sorgente ad arco ha un tempo di pulizia a bombardamento di circa 1 minuto.
(1) Rivestimento dello strato inferiore in titanio
Per migliorare l'adesione tra il film e il substrato, si applica solitamente uno strato di substrato di titanio puro prima di rivestire il nitruro di titanio. Regolare il livello di vuoto a 5×10⁻¹⁰ ...
1. Rivestimento in pellicola dura per ciotola ammoniacata
Regolare il grado di vuoto a 3×10-1-5 Pa, regolare la tensione di polarizzazione del pezzo in lavorazione a 100-200 V e il duty cycle dell'alimentatore a impulsi al 70%~80%. Dopo l'introduzione dell'azoto, il titanio viene sottoposto a una reazione di combinazione con il plasma di scarica ad arco per depositare un film duro di nitruro di titanio. A questo punto, la luce del plasma nella camera a vuoto è rosso ciliegia. Se C2H2, O2, ecc. vengono introdotti, TiCN, TiO2, ecc. si possono ottenere strati di pellicola.
–Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua, unproduttore di macchine per rivestimento sotto vuoto
Data di pubblicazione: 01-06-2023