HFCVD0606

La camera di rivestimento sotto vuoto dell'apparecchiatura per la deposizione chimica da vapore adotta una struttura di raffreddamento ad acqua a doppio strato indipendente, efficiente e uniforme nel raffreddamento, oltre a garantire una struttura sicura e stabile. L'apparecchiatura è progettata con doppie porte, finestre di osservazione multiple e interfacce di espansione multiple, che consentono il collegamento esterno di periferiche ausiliarie come la misurazione della temperatura a infrarossi, l'analisi spettrale, il monitoraggio video e la termocoppia. Il design avanzato semplifica e semplifica la revisione e la manutenzione giornaliera, la modifica della configurazione e l'aggiornamento dell'apparecchiatura, riducendo efficacemente i costi di utilizzo e aggiornamento.

Caratteristiche dell'attrezzatura:

1. I componenti di gonfiaggio dell'attrezzatura includono principalmente un misuratore di portata di massa, un'elettrovalvola e un serbatoio di miscelazione del gas, che garantiscono il controllo accurato del flusso del gas di processo, una miscelazione uniforme e un isolamento sicuro di diversi gas e possono selezionare i componenti del sistema del gas per l'uso di una fonte di gas liquido, facilitare la selezione personalizzata di un'ampia gamma di fonti di carbonio liquido e l'uso sicuro di fonti di diamante conduttivo sintetico e di boro liquido per elettrodi.
2. Il gruppo di estrazione dell'aria è dotato di una pompa per vuoto rotativa a palette silenziosa ed efficiente e di un sistema di pompaggio turbomolecolare in grado di adattarsi rapidamente all'ambiente di fondo ad alto vuoto. Il vacuometro composito con misuratore di resistenza e misuratore di ionizzazione viene utilizzato per la misurazione del vuoto, così come il sistema di misura a film capacitivo in grado di misurare la pressione di diversi gas di processo in un'ampia gamma. La pressione di deposizione è completamente controllata automaticamente da una valvola di controllo proporzionale ad alta precisione.
3. Il componente dell'acqua di raffreddamento è dotato di un sistema di misurazione multicanale della pressione, della portata e della temperatura dell'acqua e di un software di monitoraggio automatico. I diversi componenti di raffreddamento sono indipendenti l'uno dall'altro, il che facilita una rapida diagnosi dei guasti. Tutti i rami sono dotati di interruttori valvola indipendenti, il che è sicuro ed efficiente.
4. I componenti di controllo elettrico adottano un ampio schermo LCD con interfaccia uomo-macchina e interagiscono con il controllo completamente automatico del PLC per facilitare la modifica e l'importazione delle formule di processo. La curva grafica mostra visivamente le variazioni e i valori di vari parametri, e i parametri dell'apparecchiatura e del processo vengono registrati e archiviati automaticamente per facilitare l'individuazione dei problemi e l'analisi statistica dei dati.
5. Il rack portapezzi è dotato di un servomotore per controllare il sollevamento e l'abbassamento del tavolo porta-substrato. È possibile scegliere tra un tavolo porta-substrato in grafite o in rame rosso. La temperatura viene misurata tramite una termocoppia.
6. I componenti del rack possono essere progettati nel loro complesso o separatamente, in base alle esigenze del cliente, per soddisfare le sue particolari esigenze di movimentazione.
7. I componenti delle piastre di tenuta sono belli ed eleganti. Le piastre di tenuta nelle diverse aree dei moduli funzionali dell'apparecchiatura possono essere rapidamente smontate o aperte e chiuse in modo indipendente, il che è molto comodo da usare.

L'attrezzatura CVD a filamento caldo è adatta per il deposito di materiali diamantati, tra cui rivestimenti a film sottile, film spesso autoportanti, diamante microcristallino e nanocristallino, diamante conduttivo, ecc. Viene utilizzata principalmente per il rivestimento protettivo resistente all'usura di utensili da taglio in metallo duro, materiali semiconduttori come silicio e carburo di silicio, rivestimento di dissipazione del calore di dispositivi, elettrodi di diamante conduttivo drogati con boro, disinfezione con ozono di acqua elettrolitica o trattamento delle acque reflue.