O proceso de revestimento de ións con fonte de arco catódico é basicamente o mesmo que o doutras tecnoloxías de revestimento, e algunhas operacións como a instalación de pezas e o aspirado xa non se repiten.
1. Limpeza por bombardeo de pezas
Antes do revestimento, introdúcese gas argon na cámara de revestimento cun baleiro de 2×10-2Pa.
Active a fonte de alimentación de polarización de pulsos, cun ciclo de traballo do 20 % e unha polarización da peza de traballo de 800-1000 V.
Cando se activa a alimentación do arco, xérase unha descarga de luz de arco de campo frío, que emite unha gran cantidade de corrente de electróns e corrente de ións de titanio desde a fonte do arco, formando un plasma de alta densidade. O ión de titanio acelera a súa inxección na peza de traballo baixo a alta presión de polarización negativa aplicada á peza de traballo, bombardeando e pulverizando o gas residual e os contaminantes adsorbidos na superficie da peza de traballo, e limpando e purificando a superficie da peza de traballo; Ao mesmo tempo, o gas cloro na cámara de revestimento é ionizado por electróns e os ións de argon aceleran o bombardeo da superficie da peza de traballo.
Polo tanto, o efecto de limpeza por bombardeo é bo. Só aproximadamente 1 minuto de limpeza por bombardeo pode limpar a peza de traballo, o que se denomina "bombardeo por arco principal". Debido á gran masa de ións de titanio, se se usa unha pequena fonte de arco para bombardear e limpar a peza de traballo durante demasiado tempo, a temperatura da peza de traballo é propensa a sobrequecerse e o bordo da ferramenta pode volverse brando. Na produción xeral, as pequenas fontes de arco acéndense unha por unha de arriba a abaixo, e cada pequena fonte de arco ten un tempo de limpeza por bombardeo de aproximadamente 1 minuto.
(1) Revestimento da capa inferior de titanio
Para mellorar a adhesión entre a película e o substrato, adoita cubrirse unha capa de substrato de titanio puro antes de cubrir o nitruro de titanio. Axuste o nivel de baleiro a 5×10-2-3×10-1Pa, axuste a tensión de polarización da peza a 400-500V e axuste o ciclo de traballo da fonte de alimentación de polarización de pulso a 40%~50%. Aínda acendendo pequenas fontes de arco unha por unha para xerar unha descarga de arco de campo frío. Debido á diminución da tensión de polarización negativa da peza, a enerxía dos ións de titanio diminúe. Despois de chegar á peza, o efecto de pulverización catódica é menor que o efecto de deposición e fórmase unha capa de transición de titanio na peza para mellorar a forza de unión entre a capa de película dura de nitruro de titanio e o substrato. Este proceso tamén é o proceso de quecemento da peza. Cando se descarga o obxectivo de titanio puro, a luz no plasma é azul celeste.
1. Revestimento de película dura de cunca amoniacal
Axuste o grao de baleiro a 3 × 10-1-5Pa, axuste a tensión de polarización da peza a 100-200V e axuste o ciclo de traballo da fonte de alimentación de polarización de pulso a 70%~80%. Despois de introducir nitróxeno, o titanio reacciona de forma combinada co plasma de descarga de arco para depositar unha película dura de nitruro de titanio. Neste punto, a luz do plasma na cámara de baleiro é de cor vermella cereixa. Se C2H2, O2, etc. introdúcense, TiCN, TiO2, etc. pódense obter capas de película.
–Este artigo foi publicado por Guangdong Zhenhua, unha empresafabricante de máquinas de revestimento ao baleiro
Data de publicación: 01-06-2023