HFCVD0606

A cámara de revestimento ao baleiro do equipo de deposición química de vapor adopta unha estrutura independente de refrixeración por auga de dobre capa, que é eficiente e uniforme no arrefriamento, e ten unha estrutura segura e estable. O equipo está deseñado con portas dobres, múltiples fiestras de observación e múltiples interfaces de expansión, o que é conveniente para a conexión externa de periféricos auxiliares como a medición de temperatura por infravermellos, a análise espectral, a monitorización por vídeo e o termopar. O concepto de deseño avanzado fai que a revisión e o mantemento diarios, o cambio de configuración e a actualización do equipo sexan fáciles e sinxelos, e reduce eficazmente os custos de uso e actualización.

Características do equipo:

1. Os compoñentes de inflado do equipo inclúen principalmente un medidor de fluxo másico, unha válvula solenoide e un tanque de mestura de gas, que garanten o control preciso do fluxo de gas do proceso, a mestura uniforme e o illamento seguro de diferentes gases, e poden seleccionar compoñentes do sistema de gas para o uso da fonte de gas líquido, facilitar a selección personalizada dunha ampla gama de fontes de carbono líquido e o uso seguro de fontes de diamante condutor sintético e boro líquido de eléctrodos.
2. O conxunto de extracción de aire está equipado cunha bomba de baleiro de paletas rotativas silenciosa e eficiente e un sistema de bomba turbomolecular que pode adaptarse rapidamente ao ambiente de fondo de alto baleiro. O manómetro de baleiro composto con manómetro de resistencia e manómetro de ionización utilízase para a medición do baleiro, así como o sistema de medidor de película capacitiva que pode medir a presión de diferentes gases de proceso nunha ampla gama. A presión de deposición está controlada totalmente automaticamente por unha válvula de control proporcional de alta precisión.
3. O compoñente de auga de refrixeración está equipado con medición multicanal de presión, fluxo e temperatura da auga e monitorización automática por software. Os diferentes compoñentes de refrixeración son independentes entre si, o que resulta conveniente para un diagnóstico rápido de avarías. Todas as ramas teñen interruptores de válvulas independentes, o que é seguro e eficiente.
4. Os compoñentes de control eléctrico adoptan unha pantalla LCD de interface home-máquina de gran tamaño e cooperan co control totalmente automático do PLC para facilitar a edición e importación da fórmula do proceso. A curva gráfica mostra visualmente os cambios e os valores de varios parámetros, e os parámetros do equipo e do proceso rexístranse e arquivanse automaticamente para facilitar o rastrexo de problemas e a análise estatística dos datos.
5. O soporte para pezas está equipado cun servomotor para controlar a elevación e a baixada da mesa do substrato. Pódese seleccionar entre a mesa do substrato de grafito ou de cobre vermello. A temperatura mídese mediante un termopar.
6. Os compoñentes do bastidor pódense deseñar no seu conxunto ou por separado segundo os requisitos do cliente para satisfacer os requisitos especiais de manipulación dos clientes.
7. Os compoñentes da placa de selado son fermosos e elegantes. As placas de selado nas diferentes áreas do módulo funcional do equipo pódense desmontar rapidamente ou abrir e pechar de forma independente, o que resulta moi cómodo de usar.

O equipo de CVD con filamento quente é axeitado para depositar materiais de diamante, incluíndo revestimentos de película fina, película grosa autoportante, diamantes microcristalinos e nanocristalinos, diamantes condutores, etc. Úsase principalmente para o revestimento protector resistente ao desgaste de ferramentas de corte de carburo cementado, materiais semicondutores como silicio e carburo de silicio, revestimento de disipación de calor de dispositivos, eléctrodos de diamante condutores dopados con boro, desinfección con ozono de auga electrolítica ou tratamento de augas residuais.