דער פּראָצעס פון קאַטאָדישער אַרק-קוואַל יאָן קאָוטינג איז באַסיקלי די זעלבע ווי אַנדערע קאָוטינג טעקנאַלאַדזשיז, און עטלעכע אַפּעריישאַנז ווי אינסטאַלירן ווערקפּיעסעס און וואַקיומינג ווערן ניט מער ריפּיטיד.
1. באָמבאַרדירונג רייניקונג פון ווערקפּיעסעס
פארן באדעקן, ווערט ארגאן גאז אריינגעפירט אין דער באדעקן קאמער מיט א וואקיום פון 2×10-2Pa.
צינדט אן די פּולס בייאַס מאַכט צושטעל, מיט אַ דוטי ציקל פון 20% און אַ ווערקפּיס בייאַס פון 800-1000V.
ווען די בויגן-קראפט ווערט אנגעצונדן, ווערט געשאפן א קאלט-פעלד בויגן-ליכט אויסלאדונג, וואס לאָזט ארויס א גרויסע מאס עלעקטראן-שטראם און טיטאניום-יאן-שטראם פון דער בויגן-קוואל, און פארמירט א הויך-געדיכטקייט פלאזמע. דער טיטאניום-יאן פארשנעלערט זיין אינדזשעקציע אין דער ארבעטסשטאפ אונטערן נעגאטיווער הויך-פארזעצונג דרוק וואס ווערט אנגעווענדעט אויפן ארבעטסשטאפ, באמבארדירנדיק און שפריצערנדיק די רעשט-גאזן און פארפּעסטיקונגען וואס זענען אדסאָרבירט אויף דער ייבערפלאך פונעם ארבעטסשטאפ, און רייניגנדיק און רייניגנדיק די ייבערפלאך פונעם ארבעטסשטאפ; אין דער זעלבער צייט ווערט דער כלאָר-גאז אין דער באַדעק-קאַמער יאניזירט דורך עלעקטראנען, און ארגאן-יאנען פארשנעלערן די באמבארדירונג פון דער ייבערפלאך פונעם ארבעטסשטאפ.
דעריבער, איז דער באָמבאַרדירונג רייניקונג ווירקונג גוט. נאָר אַרום 1 מינוט באָמבאַרדירונג רייניקונג קען רייניקן דעם ווערקפּיס, וואָס ווערט גערופן "הויפּט באָמבאַרדירונג". צוליב דער הויכער מאַסע פון טיטאַניום יאָנען, אויב אַ קליינער באָמבאַרדירונג מקור ווערט גענוצט צו באָמבאַרדירן און רייניקן דעם ווערקפּיס פֿאַר צו לאַנג, איז די טעמפּעראַטור פון דעם ווערקפּיס נוטה צו איבערהיצונג, און דער געצייַג ברעג קען ווערן ווייך. אין אַלגעמיין פּראָדוקציע, ווערן קליינע באָמבאַרדירונג מקורים אָנגעצונדן איינס נאָך דעם אַנדערן פון אויבן ביז אונטן, און יעדע קליינע באָמבאַרדירונג מקור האט אַ באָמבאַרדירונג רייניקונג צייט פון אַרום 1 מינוט.
(1) באַדעקן טיטאַניום אונטערשטע שיכט
כּדי צו פֿאַרבעסערן די אַדכיזשאַן צווישן דעם פֿילם און סאַבסטראַט, ווערט געוויינטלעך באַדעקט אַ שיכט פֿון ריין טיטאַניום סאַבסטראַט איידער מען באַדעקט טיטאַניום ניטרידע. אַדזשאַסטירט דעם וואַקוום לעוועל צו 5×10-2-3×10-1Pa, אַדזשאַסטירט די בייאַס וואָולטאַזש פֿון דער אַרבעטסשטיק צו 400-500V, און אַדזשאַסטירט דעם דוטי ציקל פֿון דער פּולס בייאַס מאַכט צושטעל צו 40%~50%. נאָך אַלץ צינדט מען אָן קליינע בויגן קוועלער איינס נאָכן אַנדערן כּדי צו שאַפֿן אַ קאַלט פֿעלד בויגן אָפּלאָד. צוליב דער פֿאַרקלענערונג אין דער נעגאַטיווער בייאַס וואָולטאַזש פֿון דער אַרבעטסשטיק, פֿאַרקלענערט זיך די ענערגיע פֿון טיטאַניום יאָנען. נאָכן דערגרייכן דעם אַרבעטסשטיק, איז דער שפּאַטערינג עפֿעקט ווייניקער ווי דער דעפּאָזיציע עפֿעקט, און אַ טיטאַניום איבערגאַנג שיכט ווערט געשאַפֿן אויף דער אַרבעטסשטיק כּדי צו פֿאַרבעסערן די פֿאַרבינדונג קראַפֿט צווישן דער טיטאַניום ניטרידע שווערער פֿילם שיכט און דעם סאַבסטראַט. דער פּראָצעס איז אויך דער פּראָצעס פֿון הייצן דעם אַרבעטסשטיק. ווען דער ריין טיטאַניום ציל ווערט אָפּגעלאָדן, איז דאָס ליכט אין דער פּלאַזמע אַזור בלוי.
1. אַמאָניאַטעד שיסל שווער פילם קאָוטינג
אַדזשאַסטירן דעם וואַקוום גראַד צו 3×10-1-5Pa, שטעל צו דעם ווערקפּיס בייאַס וואָולטידזש צו 100-200V, און שטעל צו דעם דוטי ציקל פון דעם פּולס בייאַס מאַכט צושטעל צו 70%~80%. נאָך דעם ווי שטיקשטאָף ווערט אריינגעגעבן, רעאַגירט טיטאַניום מיט דעם באָגן-אויסלאָדן פּלאַזמע צו לייגן אַ טיטאַניום ניטריד שווערן פילם. אין דעם פונקט, ווערט די ליכט פון דער פּלאַזמע אין דער וואַקוום קאַמער קאַרש-רויט. אויב C2H2, אָ2, א.א.וו. ווערן איינגעפירט, TiCN, TiO2, אאז"וו. פילם שיכטן קענען באקומען ווערן.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן געוואָרן דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ, אַוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנט
פּאָסט צייט: יוני-01-2023