HFCVD0606

Buồng phủ chân không của thiết bị lắng đọng hơi hóa học sử dụng cấu trúc làm mát bằng nước hai lớp độc lập, làm mát hiệu quả và đồng đều, có cấu trúc an toàn và ổn định. Thiết bị được thiết kế với cửa đôi, nhiều cửa sổ quan sát và nhiều giao diện mở rộng, thuận tiện cho việc kết nối bên ngoài các thiết bị ngoại vi phụ trợ như đo nhiệt độ hồng ngoại, phân tích quang phổ, giám sát video và cặp nhiệt điện. Khái niệm thiết kế tiên tiến giúp việc đại tu và bảo trì hàng ngày, thay đổi cấu hình và nâng cấp thiết bị trở nên dễ dàng và đơn giản, đồng thời giảm hiệu quả chi phí sử dụng và nâng cấp.

Tính năng của thiết bị:

1. Các thành phần bơm hơi của thiết bị chủ yếu bao gồm lưu lượng kế khối lượng, van điện từ và bình trộn khí, đảm bảo kiểm soát chính xác lưu lượng khí trong quy trình, trộn đều và cô lập an toàn các loại khí khác nhau, đồng thời có thể lựa chọn các thành phần hệ thống khí để sử dụng nguồn khí lỏng, tạo điều kiện lựa chọn cá nhân hóa nhiều nguồn cacbon lỏng và sử dụng an toàn các nguồn kim cương dẫn điện tổng hợp và bo lỏng điện cực.
2. Bộ phận hút khí được trang bị bơm chân không cánh gạt quay hiệu quả và không gây tiếng ồn cùng hệ thống bơm phân tử turbo có thể nhanh chóng đáp ứng môi trường nền chân không cao. Đồng hồ đo chân không tổng hợp với đồng hồ đo điện trở và đồng hồ đo ion hóa được sử dụng để đo chân không, cũng như hệ thống đồng hồ đo màng điện dung có thể đo áp suất của các loại khí quy trình khác nhau trong phạm vi rộng. Áp suất lắng đọng được điều khiển hoàn toàn tự động bằng van điều khiển tỷ lệ có độ chính xác cao.
3. Bộ phận nước làm mát được trang bị áp suất nước đa kênh, lưu lượng, đo nhiệt độ và phần mềm giám sát tự động. Các bộ phận làm mát khác nhau độc lập với nhau, thuận tiện cho việc chẩn đoán lỗi nhanh chóng. Tất cả các nhánh đều có công tắc van độc lập, an toàn và hiệu quả.
4. Các thành phần điều khiển điện sử dụng màn hình LCD giao diện người-máy cỡ lớn và hợp tác với điều khiển hoàn toàn tự động PLC để tạo điều kiện thuận lợi cho việc chỉnh sửa và nhập công thức quy trình. Đường cong đồ họa hiển thị trực quan các thay đổi và giá trị của các thông số khác nhau và các thông số thiết bị và quy trình được tự động ghi lại và lưu trữ để tạo điều kiện thuận lợi cho việc theo dõi vấn đề và phân tích thống kê dữ liệu.
5. Giá đỡ phôi được trang bị động cơ servo để điều khiển việc nâng và hạ bàn đế. Có thể chọn bàn đế graphite hoặc đồng đỏ. Nhiệt độ được đo bằng cặp nhiệt điện.
6. Các thành phần giá đỡ có thể được thiết kế toàn bộ hoặc riêng biệt theo yêu cầu của khách hàng để đáp ứng các yêu cầu xử lý đặc biệt của khách hàng.
7. Các thành phần tấm niêm phong đẹp và thanh lịch. Các tấm niêm phong ở các khu vực mô-đun chức năng khác nhau của thiết bị có thể tháo rời nhanh chóng hoặc mở và đóng độc lập, rất thuận tiện khi sử dụng.

Thiết bị CVD sợi nóng thích hợp để lắng đọng vật liệu kim cương, bao gồm lớp phủ màng mỏng, màng dày tự hỗ trợ, kim cương vi tinh thể và nano tinh thể, kim cương dẫn điện, v.v. Nó chủ yếu được sử dụng để phủ lớp bảo vệ chống mài mòn cho dụng cụ cắt cacbua xi măng, vật liệu bán dẫn như silicon và silicon cacbua, lớp phủ tản nhiệt của thiết bị, điện cực kim cương dẫn điện pha tạp bo, khử trùng bằng ozone nước điện phân hoặc xử lý nước thải.