Процес нанесення іонів з використанням катодної дуги в основному такий самий, як і в інших технологіях покриття, і деякі операції, такі як встановлення заготовок та вакуумування, більше не повторюються.
1. Очищення заготовок бомбардуванням
Перед нанесенням покриття в камеру для покриття подається аргон під вакуумом 2×10⁻²Па.
Увімкніть імпульсне джерело живлення зміщення з шпаруватістю 20% та напругою зміщення заготовки 800-1000 В.
Коли живлення дуги вмикається, генерується холодний дуговий розряд, який випромінює велику кількість електронного струму та струму іонів титану з джерела дуги, утворюючи плазму високої щільності. Іони титану прискорюють своє введення в заготовку під впливом високого негативного тиску зміщення, що прикладається до заготовки, бомбардуючи та розпилюючи залишковий газ і забруднюючі речовини, адсорбовані на поверхні заготовки, та очищуючи та очищуючи поверхню заготовки; водночас газоподібний хлор у камері покриття іонізується електронами, а іони аргону прискорюють бомбардування поверхні заготовки.
Отже, ефект очищення бомбардуванням хороший. Лише близько 1 хвилини бомбардування може очистити заготовку, що називається «бомбардуванням основною дугою». Через велику масу іонів титану, якщо невелике джерело дуги використовується для бомбардування та очищення заготовки занадто довго, температура заготовки може перегрітися, а край інструменту може стати м’яким. У загальному виробництві невеликі джерела дуги вмикаються по черзі зверху вниз, і кожне невелике джерело дуги має час очищення бомбардуванням близько 1 хвилини.
(1) Нижній шар покриття з титану
Для покращення адгезії між плівкою та підкладкою, перед нанесенням нітриду титану на підкладку зазвичай наносять шар чистого титану. Встановіть рівень вакууму до 5×10⁻²-3×10⁻¹ Па, відрегулюйте напругу зміщення заготовки до 400-500 В та відрегулюйте робочий цикл імпульсного джерела живлення зміщення до 40%~50%. Продовжуйте запалювати невеликі джерела дуги по одному для створення дугового розряду в холодному полі. Завдяки зменшенню негативної напруги зміщення заготовки енергія іонів титану зменшується. Після досягнення заготовки ефект розпилення менший, ніж ефект осадження, і на заготовці утворюється перехідний шар титану для покращення сили зчеплення між шаром твердої плівки нітриду титану та підкладкою. Цей процес також є процесом нагрівання заготовки. Коли мішень з чистого титану розряджається, світло в плазмі має блакитно-блакитний колір.
1. Твердоплівкове покриття з аміакової чаші
Встановіть ступінь вакууму на 3×10-1-5 Па, відрегулюйте напругу зміщення заготовки до 100-200 В та відрегулюйте робочий цикл імпульсного джерела живлення зміщення до 70%~80%. Після введення азоту титан вступає в реакцію з плазмою дугового розряду, утворюючи тверду плівку нітриду титану. У цей момент світло плазми у вакуумній камері має вишнево-червоний колір. Якщо C2H2, О2тощо, TiCN, TiO2тощо можна отримати шари плівки.
–Цю статтю опублікувала компанія Guangdong Zhenhuaвиробник вакуумних машин для покриття
Час публікації: 01 червня 2023 р.