Katodik ark kaynaklı iyon kaplamanın prosesi temel olarak diğer kaplama teknolojileriyle aynıdır, iş parçalarının yerleştirilmesi, vakumlanması gibi bazı işlemler artık tekrarlanmaz.
1. İş parçalarının bombardımanla temizlenmesi
Kaplama öncesinde kaplama haznesine 2×10-2Pa vakum altında argon gazı verilir.
%20 görev döngüsü ve 800-1000V iş parçası önyargısı ile darbe önyargı güç kaynağını açın.
Ark gücü açıldığında, ark kaynağından büyük miktarda elektron akımı ve titanyum iyon akımı yayan ve yüksek yoğunluklu bir plazma oluşturan soğuk alan ark ışığı deşarjı üretilir. Titanyum iyonu, iş parçasına uygulanan negatif yüksek önyargı basıncı altında iş parçasına enjeksiyonunu hızlandırır, iş parçasının yüzeyine adsorbe edilen artık gazı ve kirleticileri bombardıman eder ve püskürtür ve iş parçasının yüzeyini temizler ve arındırır; Aynı zamanda, kaplama odasındaki klor gazı elektronlar tarafından iyonize edilir ve argon iyonları iş parçası yüzeyinin bombardımanını hızlandırır.
Bu nedenle, bombardıman temizleme etkisi iyidir. Sadece yaklaşık 1 dakikalık bombardıman temizliği, iş parçasını temizleyebilir, buna "ana ark bombardımanı" denir. Yüksek titanyum iyon kütlesi nedeniyle, iş parçasını çok uzun süre bombardıman etmek ve temizlemek için küçük bir ark kaynağı kullanılırsa, iş parçasının sıcaklığı aşırı ısınmaya meyillidir ve takım kenarı yumuşayabilir. Genel üretimde, küçük ark kaynakları yukarıdan aşağıya doğru tek tek açılır ve her küçük ark kaynağının yaklaşık 1 dakikalık bir bombardıman temizleme süresi vardır.
（1）Titanyum alt katmanın kaplanması
Film ve alt tabaka arasındaki yapışmayı iyileştirmek için, genellikle titanyum nitrür kaplamadan önce saf titanyum alt tabaka tabakası kaplanır. Vakum seviyesini 5×10-2-3×10-1Pa'ya ayarlayın, iş parçası önyargı voltajını 400-500V'a ayarlayın ve darbe önyargı güç kaynağının görev döngüsünü %40~%50'ye ayarlayın. Hala soğuk alan ark deşarjı oluşturmak için küçük ark kaynaklarını tek tek ateşleyin. İş parçasının negatif önyargı voltajındaki azalma nedeniyle, titanyum iyonlarının enerjisi azalır. İş parçasına ulaştıktan sonra, püskürtme etkisi biriktirme etkisinden daha azdır ve titanyum nitrür sert film tabakası ile alt tabaka arasındaki bağlanma kuvvetini iyileştirmek için iş parçası üzerinde bir titanyum geçiş tabakası oluşur. Bu işlem aynı zamanda iş parçasının ısıtılması işlemidir. Saf titanyum hedef deşarj edildiğinde, plazmadaki ışık masmavidir.
1.Amonyumlu kase sert film kaplaması
Vakum derecesini 3×10'a ayarlayın-1-5Pa, iş parçası önyargı voltajını 100-200V'a ayarlayın ve darbe önyargı güç kaynağının görev döngüsünü %70~%80'e ayarlayın. Azot verildikten sonra, titanyum ark deşarj plazmasıyla birleşerek titanyum nitrür sert filmi biriktirir. Bu noktada, vakum odasındaki plazmanın ışığı kiraz kırmızısıdır. Eğer C2H2, Ey2, vb. tanıtılır, TiCN, TiO2, vb. film katmanları elde edilebilir.
–Bu makale Guangdong Zhenhua tarafından yayınlanmıştır.vakum kaplama makinesi üreticisi
Gönderi zamanı: 01-Haz-2023