Bu ekipman, esas olarak hızlı biriktirme hızı ve yüksek film kalitesi özelliklerine sahip olan kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle oksit film hazırlamaktadır. Ekipman yapısı açısından, sıkıştırma verimliliğini artırmak için çift kapılı yapı kullanılmış olup, istikrarlı ve kontrol edilebilir akışı sağlamak ve proses stabilitesini etkin bir şekilde güvence altına almak için en yeni sıvı gaz besleme sistemi benimsenmiştir. Ekipman tarafından hazırlanan film, iyi su buharı bariyerine ve kaynama testinde daha uzun bir kararlılık süresine sahiptir.
Bu ekipman, paslanmaz çelik, elektrolizle kaplanmış donanım/plastik parçalar, cam, seramik ve diğer malzemeler gibi elektronik ürünler, LED ışık boncukları, tıbbi malzemeler ve oksidasyon direnci gerektiren diğer ürünlerde kullanılabilir. SiOx bariyer filmi esas olarak su buharını etkili bir şekilde engellemek, korozyonu ve oksidasyonu önlemek ve ürün ömrünü uzatmak için hazırlanmıştır.
| İsteğe bağlı modeller | iç bölme boyutu |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |