HFCVD0606

Kimyasal buhar biriktirme ekipmanının vakum kaplama odası, soğutmada verimli ve düzgün olan ve güvenli ve kararlı bir yapıya sahip olan bağımsız çift katmanlı su soğutma yapısını benimser. Ekipman, kızılötesi sıcaklık ölçümü, spektral analiz, video izleme ve termokupl gibi yardımcı çevre birimlerinin harici bağlantısı için uygun olan çift kapılar, çoklu gözlem pencereleri ve çoklu genişleme arayüzleri ile tasarlanmıştır. Gelişmiş tasarım konsepti, ekipmanın günlük revizyonunu ve bakımını, yapılandırma değişikliğini ve yükseltmesini kolay ve basit hale getirir ve kullanım ve yükseltme maliyetlerini etkili bir şekilde azaltır.

Ekipman özellikleri:

1. Ekipmanın şişirme bileşenleri esas olarak kütle akış ölçer, solenoid valf ve gaz karıştırma tankını içerir; bunlar, proses gazı akışının doğru kontrolünü, düzgün karıştırmayı ve farklı gazların güvenli izolasyonunu sağlar ve sıvı gaz kaynağı kullanımı için gaz sistemi bileşenlerini seçebilir, çok çeşitli sıvı karbon kaynaklarının kişiselleştirilmiş seçimini kolaylaştırır ve sentetik iletken elmas ve elektrot sıvı bor kaynaklarının güvenli kullanımını sağlar.
2.Hava tahliye tertibatı, yüksek vakumlu arka plan ortamını hızla karşılayabilen sessiz ve verimli döner kanatlı vakum pompası ve turbo moleküler pompa sistemi ile donatılmıştır. Direnç ölçer ve iyonizasyon ölçer içeren kompozit vakum ölçer, vakum ölçümü için kullanılır ve ayrıca geniş bir aralıkta farklı proses gazlarının basıncını ölçebilen kapasitif film ölçer sistemi kullanılır. Biriktirme basıncı, yüksek hassasiyetli orantılı kontrol vanası tarafından tamamen otomatik olarak kontrol edilir.
3. Soğutma suyu bileşeni çok kanallı su basıncı, akışı, sıcaklık ölçümü ve yazılım otomatik izleme ile donatılmıştır. Farklı soğutma bileşenleri birbirinden bağımsızdır, bu da hızlı arıza teşhisi için uygundur. Tüm dallarda bağımsız vana anahtarları vardır, bu da güvenli ve verimlidir.
4. Elektrik kontrol bileşenleri büyük boyutlu insan-makine arayüzü LCD ekranını benimser ve işlem formülünün düzenlenmesini ve içe aktarılmasını kolaylaştırmak için PLC tam otomatik kontrolle işbirliği yapar. Grafiksel eğri çeşitli parametrelerin değişikliklerini ve değerlerini görsel olarak görüntüler ve ekipman ve işlem parametreleri sorun izleme ve veri istatistiksel analizini kolaylaştırmak için otomatik olarak kaydedilir ve arşivlenir.
5. İş parçası rafı, alt tabaka tablasının kaldırılmasını ve indirilmesini kontrol etmek için bir servo motorla donatılmıştır. Grafit veya kırmızı bakır alt tabaka tablası seçilebilir. Sıcaklık bir termokupl ile ölçülür.
6.Raf bileşenleri müşterilerin özel kullanım gereksinimlerini karşılamak amacıyla müşteri gereksinimlerine göre bir bütün olarak veya ayrı ayrı tasarlanabilir.
7. Sızdırmazlık plakası bileşenleri güzel ve zariftir. Ekipmanın farklı fonksiyonel modül alanlarındaki sızdırmazlık plakaları hızlı bir şekilde sökülebilir veya bağımsız olarak açılıp kapatılabilir, bu da kullanımı çok uygundur.

Sıcak filament CVD ekipmanı, ince film kaplama, kendi kendini destekleyen kalın film, mikrokristalin ve nanokristalin elmas, iletken elmas vb. dahil olmak üzere elmas malzemelerin biriktirilmesi için uygundur. Esas olarak, çimentolu karbür kesici takımların aşınmaya dayanıklı koruyucu kaplaması, silisyum ve silisyum karbür gibi yarı iletken malzemeler, cihazların ısı dağılımı kaplaması, bor katkılı iletken elmas elektrot, elektrolitik suyun veya kanalizasyon arıtımının ozon dezenfeksiyonu için kullanılır.