HFCVD0606

Himiki buglary çökdürýän enjamlaryň vakuum örtük kamerasy, sowatmakda täsirli we birmeňzeş we howpsuz we durnukly gurluşa eýe bolan garaşsyz iki gatly suw sowadyjy gurluşy kabul edýär. Enjam infragyzyl temperaturany ölçemek, spektral derňew, wideo gözegçiligi we termokupl ýaly kömekçi periferiýalaryň daşarky baglanyşygy üçin amatly goşa gapylar, köp synlaýyş penjireleri we köp sanly giňelme interfeýsleri bilen bezelendir. Ösen dizaýn düşünjesi, gündelik abatlaýyş we tehniki hyzmat, konfigurasiýa üýtgemegi we enjamy kämilleşdirmek aňsat we ýönekeý edýär we ulanmak we ýokarlandyrmak çykdajylaryny netijeli azaldýar.

Enjam aýratynlyklary:

1. Enjamyň inflýasiýa düzüm böleklerine esasan köpçülikleýin akym ölçeýjisi, solenoid klapan we gaz garyjy bak girýär, bu gaz akymynyň takyk dolandyrylmagyny, dürli gazlaryň birmeňzeş garylmagyny we howpsuz izolýasiýasyny üpjün edýär we suwuk gaz çeşmesini ulanmak üçin gaz ulgamynyň böleklerini saýlap biler, köp mukdarda suwuk uglerod çeşmelerini şahsylaşdyrmagy we sintetiki geçiriji göwher we elektrod suwuk bor çeşmelerini howpsuz ulanmagy ýeňilleşdirer.
2. Howany çykarmak gurnama sessiz we täsirli öwrümli vakuum nasosy we ýokary wakuum fon gurşawyny çalt kanagatlandyryp bilýän turbo molekulýar nasos ulgamy bilen enjamlaşdyrylandyr. Garşylyk ölçeýji we ionlaşdyrma ölçeýji bilen birleşdirilen vakuum ölçeýji wakuum ölçemek üçin, şeýle hem dürli proses gazlarynyň basyşyny giň gerimde ölçäp bilýän kuwwatly film ölçeg ulgamy üçin ulanylýar. Depolýasiýa basyşy ýokary takyk proporsional dolandyryş klapan bilen doly awtomatiki dolandyrylýar.
3. Sowadyjy suw komponenti köp kanally suw basyşy, akym, temperaturany ölçemek we programma üpjünçiligini awtomatiki gözegçilik etmek bilen enjamlaşdyrylandyr. Dürli sowadyjy komponentler biri-birine garaşly däl, bu çalt näsazlygy anyklamak üçin amatly. Brancheshli şahalaryň ygtybarly we täsirli garaşsyz klapan açarlary bar.
4. Elektrik dolandyryş komponentleri uly göwrümli adam maşyn interfeýsi LCD ekrany kabul edýär we proses formulasyny redaktirlemegi we import etmegi aňsatlaşdyrmak üçin PLC doly awtomatiki dolandyryş bilen hyzmatdaşlyk edýär. Grafiki egrilik dürli parametrleriň üýtgemelerini we bahalaryny wizual görkezýär we enjamlaryň we prosesiň parametrleri awtomatiki usulda ýazga alynýar we meseläni yzarlamak we maglumatlaryň statistik derňewini ýeňilleşdirmek üçin arhiwlenýär.
5. Iş bölegi tekjesi substrat stoluň göterilmegine we aşak düşmegine gözegçilik etmek üçin servo motor bilen enjamlaşdyrylandyr. Grafit ýa-da gyzyl mis substrat tablisasy saýlanyp bilner. Temperatura termokupl bilen ölçelýär.
6.Köp komponentleri, müşderileriň aýratyn işleýiş talaplaryny kanagatlandyrmak üçin müşderiniň talaplaryna laýyklykda tutuşlygyna ýa-da aýratynlykda dizaýn edilip bilner.
7. Möhürleýji plastinka bölekleri owadan we owadan. Enjamyň dürli funksional modul meýdançalarynda möhürleýji plitalary çalt söküp ýa-da özbaşdak açyp we ýapyp bolýar, bu ulanmak gaty amatly.

Gyzgyn filamentli CVD enjamlary, göwher materiallary, şol sanda inçe film örtügi, öz-özüni goldaýan galyň film, mikrokristally we nanokristally göwher, geçiriji göwher we ş.m. göwher materiallaryny goýmak üçin amatlydyr, esasan sementlenen karbid kesiş gurallary, ýarymgeçiriji materiallar, kremniý we kremniý karbid, ýylylyk bölüji elektrod örtügi lagym arassalamak.