HFCVD0606

ห้องเคลือบสูญญากาศของอุปกรณ์การสะสมไอเคมีใช้โครงสร้างระบายความร้อนด้วยน้ำแบบสองชั้นอิสระ ซึ่งมีประสิทธิภาพและสม่ำเสมอในการระบายความร้อน และมีโครงสร้างที่ปลอดภัยและมั่นคง อุปกรณ์ได้รับการออกแบบด้วยประตูคู่ หน้าต่างสังเกตการณ์หลายบาน และอินเทอร์เฟซการขยายหลายตัว ซึ่งสะดวกสำหรับการเชื่อมต่อภายนอกของอุปกรณ์ต่อพ่วงเสริม เช่น การวัดอุณหภูมิอินฟราเรด การวิเคราะห์สเปกตรัม การตรวจสอบวิดีโอ และเทอร์โมคัปเปิล แนวคิดการออกแบบขั้นสูงทำให้การยกเครื่องและการบำรุงรักษา การเปลี่ยนแปลงการกำหนดค่า และการอัปเกรดอุปกรณ์ในแต่ละวันเป็นเรื่องง่ายและสะดวก และลดต้นทุนการใช้งานและการอัปเกรดได้อย่างมีประสิทธิภาพ

คุณสมบัติของอุปกรณ์:

1. ส่วนประกอบการพองตัวของอุปกรณ์ประกอบด้วยมาตรวัดการไหลของมวล โซลินอยด์วาล์ว และถังผสมก๊าซ ซึ่งรับประกันการควบคุมการไหลของก๊าซในกระบวนการที่แม่นยำ การผสมที่สม่ำเสมอ และการแยกก๊าซชนิดต่างๆ อย่างปลอดภัย และสามารถเลือกส่วนประกอบของระบบก๊าซสำหรับใช้กับแหล่งก๊าซเหลวได้ ช่วยให้เลือกแหล่งคาร์บอนเหลวได้หลากหลายตามความต้องการส่วนบุคคล และใช้เพชรตัวนำสังเคราะห์และแหล่งโบรอนเหลวของอิเล็กโทรดได้อย่างปลอดภัย
2. ชุดสกัดอากาศติดตั้งปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนแบบเงียบและมีประสิทธิภาพและระบบปั๊มโมเลกุลเทอร์โบที่สามารถตอบสนองสภาพแวดล้อมพื้นหลังสุญญากาศสูงได้อย่างรวดเร็ว มาตรวัดสุญญากาศแบบผสมพร้อมมาตรวัดความต้านทานและมาตรวัดไอออไนเซชันใช้สำหรับการวัดสุญญากาศ เช่นเดียวกับระบบมาตรวัดฟิล์มแบบคาปาซิทีฟที่สามารถวัดความดันของก๊าซกระบวนการต่างๆ ในช่วงกว้าง ความดันในการสะสมถูกควบคุมโดยอัตโนมัติโดยวาล์วควบคุมตามสัดส่วนที่มีความแม่นยำสูง
3.ส่วนประกอบของน้ำหล่อเย็นมีการวัดแรงดันน้ำหลายช่อง อัตราการไหล อุณหภูมิ และการตรวจสอบอัตโนมัติด้วยซอฟต์แวร์ ส่วนประกอบการหล่อเย็นที่แตกต่างกันเป็นอิสระจากกัน ซึ่งสะดวกสำหรับการวินิจฉัยข้อผิดพลาดอย่างรวดเร็ว ทุกสาขามีสวิตช์วาล์วอิสระ ซึ่งปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ
4. ส่วนประกอบการควบคุมไฟฟ้าใช้หน้าจอ LCD อินเทอร์เฟซระหว่างคนกับเครื่องจักรขนาดใหญ่และทำงานร่วมกับ PLC เพื่อควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบเพื่ออำนวยความสะดวกในการแก้ไขและนำเข้าสูตรกระบวนการ กราฟิคแสดงการเปลี่ยนแปลงและค่าของพารามิเตอร์ต่างๆ ในรูปแบบภาพ และพารามิเตอร์ของอุปกรณ์และกระบวนการจะถูกบันทึกและเก็บถาวรโดยอัตโนมัติเพื่ออำนวยความสะดวกในการติดตามปัญหาและการวิเคราะห์ทางสถิติข้อมูล
5.ชั้นวางชิ้นงานติดตั้งมอเตอร์เซอร์โวเพื่อควบคุมการยกและลดระดับโต๊ะวางวัสดุพื้นฐาน สามารถเลือกโต๊ะวางวัสดุพื้นฐานแบบกราไฟต์หรือทองแดงแดงได้ อุณหภูมิวัดโดยใช้เทอร์โมคัปเปิล
6. สามารถออกแบบส่วนประกอบของชั้นวางเป็นชิ้นเดียวหรือแยกกันตามความต้องการของลูกค้า เพื่อตอบสนองความต้องการในการจัดการพิเศษของลูกค้า
7. ส่วนประกอบของแผ่นปิดผนึกมีความสวยงามและสง่างาม แผ่นปิดผนึกในพื้นที่โมดูลการทำงานต่างๆ ของอุปกรณ์สามารถถอดประกอบหรือเปิดและปิดแยกกันได้อย่างรวดเร็ว ซึ่งสะดวกต่อการใช้งานมาก

อุปกรณ์ CVD แบบเส้นใยร้อนเหมาะสำหรับการเคลือบวัสดุเพชร รวมทั้งการเคลือบฟิล์มบาง ฟิล์มหนาที่รองรับตัวเอง เพชรไมโครคริสตัลไลน์และนาโนคริสตัลไลน์ เพชรนำไฟฟ้า ฯลฯ ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการเคลือบป้องกันที่ทนทานต่อการสึกหรอของเครื่องมือตัดคาร์ไบด์ซีเมนต์ วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ซิลิกอนและซิลิกอนคาร์ไบด์ การเคลือบเพื่อกระจายความร้อนของอุปกรณ์ อิเล็กโทรดเพชรนำไฟฟ้าที่มีการเจือปนโบรอน การฆ่าเชื้อโอโซนในน้ำอิเล็กโทรไลต์หรือการบำบัดน้ำเสีย