చిన్న ఆర్క్ సోర్స్ అయాన్ పూత ప్రక్రియ

కాథోడిక్ ఆర్క్ సోర్స్ అయాన్ పూత ప్రక్రియ ప్రాథమికంగా ఇతర పూత సాంకేతికతల మాదిరిగానే ఉంటుంది మరియు వర్క్‌పీస్‌లను ఇన్‌స్టాల్ చేయడం మరియు వాక్యూమింగ్ వంటి కొన్ని కార్యకలాపాలు ఇకపై పునరావృతం కావు.

1. వర్క్‌పీస్‌ల బాంబింగ్ క్లీనింగ్

పూత పూయడానికి ముందు, ఆర్గాన్ వాయువును 2×10-2Pa వాక్యూమ్‌తో పూత గదిలోకి ప్రవేశపెడతారు.

20% డ్యూటీ సైకిల్ మరియు 800-1000V వర్క్‌పీస్ బయాస్‌తో పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లైను ఆన్ చేయండి.

ఆర్క్ పవర్ ఆన్ చేసినప్పుడు, ఒక చల్లని క్షేత్ర ఆర్క్ కాంతి ఉత్సర్గ ఉత్పత్తి అవుతుంది, ఇది ఆర్క్ మూలం నుండి పెద్ద మొత్తంలో ఎలక్ట్రాన్ కరెంట్ మరియు టైటానియం అయాన్ కరెంట్‌ను విడుదల చేస్తుంది, ఇది అధిక సాంద్రత కలిగిన ప్లాస్మాను ఏర్పరుస్తుంది. టైటానియం అయాన్ వర్క్‌పీస్‌కి వర్తించే ప్రతికూల అధిక బయాస్ పీడనం కింద వర్క్‌పీస్‌లోకి దాని ఇంజెక్షన్‌ను వేగవంతం చేస్తుంది, వర్క్‌పీస్ ఉపరితలంపై శోషించబడిన అవశేష వాయువు మరియు కాలుష్య కారకాలను బాంబు దాడి చేసి చిమ్ముతుంది మరియు వర్క్‌పీస్ యొక్క ఉపరితలాన్ని శుభ్రపరచడం మరియు శుద్ధి చేయడం; అదే సమయంలో, పూత గదిలోని క్లోరిన్ వాయువు ఎలక్ట్రాన్‌ల ద్వారా అయనీకరణం చెందుతుంది మరియు ఆర్గాన్ అయాన్లు వర్క్‌పీస్ ఉపరితలం యొక్క బాంబు దాడిని వేగవంతం చేస్తాయి.

అందువల్ల, బాంబర్డ్‌మెంట్ క్లీనింగ్ ఎఫెక్ట్ మంచిది. కేవలం 1 నిమిషం బాంబర్డ్‌మెంట్ క్లీనింగ్ వర్క్‌పీస్‌ను శుభ్రం చేయగలదు, దీనిని "ప్రధాన ఆర్క్ బాంబర్డ్‌మెంట్" అని పిలుస్తారు. టైటానియం అయాన్ల అధిక ద్రవ్యరాశి కారణంగా, వర్క్‌పీస్‌ను ఎక్కువసేపు బాంబర్డ్ చేయడానికి మరియు శుభ్రం చేయడానికి ఒక చిన్న ఆర్క్ మూలాన్ని ఉపయోగిస్తే, వర్క్‌పీస్ యొక్క ఉష్ణోగ్రత వేడెక్కే అవకాశం ఉంది మరియు సాధన అంచు మృదువుగా మారవచ్చు. సాధారణ ఉత్పత్తిలో, చిన్న ఆర్క్ మూలాలు పై నుండి క్రిందికి ఒక్కొక్కటిగా ఆన్ చేయబడతాయి మరియు ప్రతి చిన్న ఆర్క్ మూలానికి దాదాపు 1 నిమిషం బాంబర్డ్‌మెంట్ క్లీనింగ్ సమయం ఉంటుంది.

(1) టైటానియం దిగువ పొర పూత

ఫిల్మ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య సంశ్లేషణను మెరుగుపరచడానికి, టైటానియం నైట్రైడ్‌ను పూత పూయడానికి ముందు సాధారణంగా స్వచ్ఛమైన టైటానియం సబ్‌స్ట్రేట్ పొరను పూత పూస్తారు. వాక్యూమ్ స్థాయిని 5×10-2-3×10-1Paకి సర్దుబాటు చేయండి, వర్క్‌పీస్ బయాస్ వోల్టేజ్‌ను 400-500Vకి సర్దుబాటు చేయండి మరియు పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లై యొక్క డ్యూటీ సైకిల్‌ను 40%~50%కి సర్దుబాటు చేయండి. కోల్డ్ ఫీల్డ్ ఆర్సింగ్ డిశ్చార్జ్‌ను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఇప్పటికీ చిన్న ఆర్క్ సోర్స్‌లను ఒక్కొక్కటిగా మండించడం. వర్క్‌పీస్ యొక్క నెగటివ్ బయాస్ వోల్టేజ్ తగ్గడం వల్ల, టైటానియం అయాన్ల శక్తి తగ్గుతుంది. వర్క్‌పీస్‌ను చేరుకున్న తర్వాత, స్పట్టరింగ్ ప్రభావం నిక్షేపణ ప్రభావం కంటే తక్కువగా ఉంటుంది మరియు టైటానియం నైట్రైడ్ హార్డ్ ఫిల్మ్ లేయర్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బంధన శక్తిని మెరుగుపరచడానికి వర్క్‌పీస్‌పై టైటానియం ట్రాన్సిషన్ లేయర్ ఏర్పడుతుంది. ఈ ప్రక్రియ వర్క్‌పీస్‌ను వేడి చేసే ప్రక్రియ కూడా. స్వచ్ఛమైన టైటానియం లక్ష్యం డిశ్చార్జ్ అయినప్పుడు, ప్లాస్మాలోని కాంతి ఆకాశనీలం నీలం రంగులో ఉంటుంది.

1.అమ్మోనియేటెడ్ బౌల్ హార్డ్ ఫిల్మ్ కోటింగ్

వాక్యూమ్ డిగ్రీని 3×10 కు సర్దుబాటు చేయండి^-1-5Pa, వర్క్‌పీస్ బయాస్ వోల్టేజ్‌ను 100-200Vకి సర్దుబాటు చేయండి మరియు పల్స్ బయాస్ పవర్ సప్లై యొక్క డ్యూటీ సైకిల్‌ను 70%~80%కి సర్దుబాటు చేయండి. నైట్రోజన్‌ను ప్రవేశపెట్టిన తర్వాత, టైటానియం ఆర్క్ డిశ్చార్జ్ ప్లాస్మాతో కలయిక చర్యగా ఉంటుంది, ఇది టైటానియం నైట్రైడ్ హార్డ్ ఫిల్మ్‌ను డిపాజిట్ చేస్తుంది. ఈ సమయంలో, వాక్యూమ్ చాంబర్‌లోని ప్లాస్మా యొక్క కాంతి చెర్రీ ఎరుపు రంగులో ఉంటుంది. C అయితే₂H₂, ఓ₂, మొదలైనవి ప్రవేశపెట్టబడ్డాయి, TiCN, TiO₂, మొదలైనవి ఫిల్మ్ పొరలను పొందవచ్చు.

–ఈ వ్యాసం గువాంగ్‌డాంగ్ జెన్హువా ద్వారా ప్రచురించబడింది, aవాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారు