ఈ పరికరం ప్రధానంగా ఆక్సైడ్ ఫిల్మ్ను తయారు చేయడానికి కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ పద్ధతిని ఉపయోగిస్తుంది, ఇది వేగవంతమైన డిపోజిషన్ రేటు మరియు అధిక ఫిల్మ్ నాణ్యత వంటి లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. పరికర నిర్మాణం విషయానికొస్తే, క్లాంపింగ్ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడానికి డబుల్ డోర్ నిర్మాణాన్ని ఉపయోగించారు, మరియు స్థిరమైన, నియంత్రించదగిన ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి, అలాగే ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని సమర్థవంతంగా కాపాడటానికి సరికొత్త లిక్విడ్ గ్యాస్ సరఫరా వ్యవస్థను అవలంబించారు. ఈ పరికరం ద్వారా తయారు చేయబడిన ఫిల్మ్ మంచి నీటి ఆవిరి నిరోధకతను మరియు మరిగే పరీక్షలో ఎక్కువ కాలం స్థిరంగా ఉండే గుణాన్ని కలిగి ఉంటుంది.
ఈ పరికరాన్ని స్టెయిన్లెస్ స్టీల్, ఎలక్ట్రోప్లేటెడ్ హార్డ్వేర్ / ప్లాస్టిక్ భాగాలు, గాజు, సిరామిక్స్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్ ఉత్పత్తులు, LED లైట్ బీడ్స్, వైద్య సామాగ్రి మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకత అవసరమయ్యే ఇతర ఉత్పత్తుల వంటి ఇతర పదార్థాలకు అన్వయించవచ్చు. SiOx బారియర్ ఫిల్మ్ను ప్రధానంగా నీటి ఆవిరిని సమర్థవంతంగా నిరోధించడానికి, తుప్పు మరియు ఆక్సీకరణను నివారించడానికి, మరియు ఉత్పత్తి జీవితకాలాన్ని మెరుగుపరచడానికి తయారు చేస్తారు.
| ఐచ్ఛిక నమూనాలు | లోపలి గది పరిమాణం |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |