రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ పరికరాల వాక్యూమ్ కోటింగ్ చాంబర్ స్వతంత్ర డబుల్-లేయర్ వాటర్-కూలింగ్ నిర్మాణాన్ని అవలంబిస్తుంది, ఇది శీతలీకరణలో సమర్థవంతంగా మరియు ఏకరీతిగా ఉంటుంది మరియు సురక్షితమైన మరియు స్థిరమైన నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఈ పరికరాలు డబుల్ తలుపులు, బహుళ పరిశీలన విండోలు మరియు బహుళ విస్తరణ ఇంటర్ఫేస్లతో రూపొందించబడ్డాయి, ఇది ఇన్ఫ్రారెడ్ ఉష్ణోగ్రత కొలత, స్పెక్ట్రల్ విశ్లేషణ, వీడియో పర్యవేక్షణ మరియు థర్మోకపుల్ వంటి సహాయక పరిధీయ పరికరాల బాహ్య కనెక్షన్కు అనుకూలంగా ఉంటుంది. అధునాతన డిజైన్ భావన రోజువారీ సమగ్ర పరిశీలన మరియు నిర్వహణ, కాన్ఫిగరేషన్ మార్పు మరియు పరికరాల అప్గ్రేడ్ను సులభతరం చేస్తుంది మరియు సరళంగా చేస్తుంది మరియు ఉపయోగం మరియు అప్గ్రేడ్ ఖర్చులను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది.
పరికర లక్షణాలు:
1. పరికరాల ద్రవ్యోల్బణ భాగాలలో ప్రధానంగా మాస్ ఫ్లో మీటర్, సోలనోయిడ్ వాల్వ్ మరియు గ్యాస్ మిక్సింగ్ ట్యాంక్ ఉన్నాయి, ఇవి ప్రాసెస్ గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని ఖచ్చితమైన నియంత్రణ, ఏకరీతి మిక్సింగ్ మరియు వివిధ వాయువులను సురక్షితంగా వేరుచేయడాన్ని నిర్ధారిస్తాయి మరియు ద్రవ వాయువు మూలాన్ని ఉపయోగించడానికి గ్యాస్ సిస్టమ్ భాగాలను ఎంచుకోవచ్చు, విస్తృత శ్రేణి ద్రవ కార్బన్ వనరుల వ్యక్తిగతీకరించిన ఎంపికను మరియు సింథటిక్ కండక్టివ్ డైమండ్ మరియు ఎలక్ట్రోడ్ ద్రవ బోరాన్ మూలాలను సురక్షితంగా ఉపయోగించడాన్ని సులభతరం చేస్తాయి.
2. గాలి వెలికితీత అసెంబ్లీ నిశ్శబ్ద మరియు సమర్థవంతమైన రోటరీ వేన్ వాక్యూమ్ పంప్ మరియు అధిక వాక్యూమ్ నేపథ్య వాతావరణాన్ని త్వరగా తీర్చగల టర్బో మాలిక్యులర్ పంప్ సిస్టమ్తో అమర్చబడి ఉంటుంది. రెసిస్టెన్స్ గేజ్ మరియు అయనీకరణ గేజ్తో కూడిన కాంపోజిట్ వాక్యూమ్ గేజ్ వాక్యూమ్ కొలత కోసం ఉపయోగించబడుతుంది, అలాగే విస్తృత పరిధిలో వివిధ ప్రక్రియ వాయువుల ఒత్తిడిని కొలవగల కెపాసిటివ్ ఫిల్మ్ గేజ్ సిస్టమ్ను ఉపయోగిస్తారు. నిక్షేపణ పీడనం పూర్తిగా స్వయంచాలకంగా అధిక-ఖచ్చితమైన అనుపాత నియంత్రణ వాల్వ్ ద్వారా నియంత్రించబడుతుంది.
3. శీతలీకరణ నీటి భాగం బహుళ-ఛానల్ నీటి పీడనం, ప్రవాహం, ఉష్ణోగ్రత కొలత మరియు సాఫ్ట్వేర్ ఆటోమేటిక్ పర్యవేక్షణతో అమర్చబడి ఉంటుంది. వేర్వేరు శీతలీకరణ భాగాలు ఒకదానికొకటి స్వతంత్రంగా ఉంటాయి, ఇది వేగవంతమైన తప్పు నిర్ధారణకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. అన్ని శాఖలు స్వతంత్ర వాల్వ్ స్విచ్లను కలిగి ఉంటాయి, ఇది సురక్షితమైనది మరియు సమర్థవంతమైనది.
4. ఎలక్ట్రికల్ కంట్రోల్ భాగాలు పెద్ద-పరిమాణ మ్యాన్-మెషిన్ ఇంటర్ఫేస్ LCD స్క్రీన్ను స్వీకరించి, ప్రాసెస్ ఫార్ములా యొక్క సవరణ మరియు దిగుమతిని సులభతరం చేయడానికి PLC పూర్తి-ఆటోమేటిక్ నియంత్రణతో సహకరిస్తాయి.గ్రాఫికల్ కర్వ్ వివిధ పారామితుల మార్పులు మరియు విలువలను దృశ్యమానంగా ప్రదర్శిస్తుంది మరియు సమస్య ట్రేసింగ్ మరియు డేటా గణాంక విశ్లేషణను సులభతరం చేయడానికి పరికరాలు మరియు ప్రాసెస్ పారామితులు స్వయంచాలకంగా రికార్డ్ చేయబడతాయి మరియు ఆర్కైవ్ చేయబడతాయి.
5. వర్క్పీస్ రాక్లో సబ్స్ట్రేట్ టేబుల్ను ఎత్తడం మరియు తగ్గించడం నియంత్రించడానికి సర్వో మోటార్ అమర్చబడి ఉంటుంది. గ్రాఫైట్ లేదా ఎర్ర రాగి సబ్స్ట్రేట్ టేబుల్ను ఎంచుకోవచ్చు. ఉష్ణోగ్రతను థర్మోకపుల్ ద్వారా కొలుస్తారు.
6. కస్టమర్ల ప్రత్యేక నిర్వహణ అవసరాలను తీర్చడానికి కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా రాక్ భాగాలను మొత్తంగా లేదా విడిగా రూపొందించవచ్చు.
7.సీలింగ్ ప్లేట్ భాగాలు అందంగా మరియు సొగసైనవి.పరికరాల యొక్క వివిధ ఫంక్షనల్ మాడ్యూల్ ప్రాంతాలలోని సీలింగ్ ప్లేట్లను త్వరగా విడదీయవచ్చు లేదా స్వతంత్రంగా తెరవవచ్చు మరియు మూసివేయవచ్చు, ఇది ఉపయోగించడానికి చాలా సౌకర్యంగా ఉంటుంది.
హాట్ ఫిలమెంట్ CVD పరికరాలు వజ్ర పదార్థాలను డిపాజిట్ చేయడానికి అనుకూలంగా ఉంటాయి, వీటిలో సన్నని ఫిల్మ్ పూత, స్వీయ-సపోర్టింగ్ మందపాటి ఫిల్మ్, మైక్రోక్రిస్టలైన్ మరియు నానోక్రిస్టలైన్ డైమండ్, వాహక వజ్రం మొదలైనవి ఉన్నాయి. ఇది ప్రధానంగా సిమెంటెడ్ కార్బైడ్ కటింగ్ టూల్స్, సిలికాన్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ వంటి సెమీకండక్టర్ పదార్థాల దుస్తులు-నిరోధక రక్షణ పూత, పరికరాల వేడి వెదజల్లే పూత, బోరాన్ డోప్డ్ కండక్టివ్ డైమండ్ ఎలక్ట్రోడ్, విద్యుద్విశ్లేషణ నీటి ఓజోన్ క్రిమిసంహారక లేదా మురుగునీటి శుద్ధికి ఉపయోగించబడుతుంది.
| ఐచ్ఛిక నమూనాలు | లోపలి గది పరిమాణం |
| HFCVD0606 పరిచయం | φ600*H600(మిమీ) |