இந்த உபகரணம், ஆக்சைடு படலத்தைத் தயாரிக்க முக்கியமாக இரசாயன ஆவிப் படிவு முறையைப் பயன்படுத்துகிறது. இது வேகமான படிவு விகிதம் மற்றும் உயர் படலத் தரம் ஆகிய பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. உபகரணத்தின் கட்டமைப்பைப் பொறுத்தவரை, இறுக்கும் திறனை மேம்படுத்த இரட்டைக் கதவு அமைப்பு பயன்படுத்தப்படுகிறது. மேலும், நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய ஓட்டத்தை உறுதி செய்வதற்கும், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை திறம்பட உறுதி செய்வதற்கும் நவீன திரவ வாயு விநியோக அமைப்பு பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த உபகரணத்தால் தயாரிக்கப்பட்ட படலம், நல்ல நீராவித் தடுப்புத் திறனையும், கொதிநிலைச் சோதனையில் நீண்ட கால நிலைத்தன்மையையும் கொண்டுள்ளது.
இந்த உபகரணத்தை துருப்பிடிக்காத எஃகு, மின்முலாம் பூசப்பட்ட வன்பொருள் / பிளாஸ்டிக் பாகங்கள், கண்ணாடி, பீங்கான் மற்றும் பிற பொருட்களான மின்னணுப் பொருட்கள், LED ஒளி மணிகள், மருத்துவப் பொருட்கள் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புத் தேவைப்படும் பிற பொருட்களுக்குப் பயன்படுத்தலாம். SiOx தடுப்புப் படலம் முக்கியமாக நீராவியைத் திறம்படத் தடுக்கவும், அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கவும், பொருளின் ஆயுளை மேம்படுத்தவும் தயாரிக்கப்படுகிறது.
| விருப்ப மாதிரிகள் | உள் அறை அளவு |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(மிமீ) |