Vifaa hivi hutumia zaidi uwekaji wa mvuke wa kemikali ili kuandaa filamu ya oksidi, ambayo ina sifa za kiwango cha haraka cha uwekaji na ubora wa juu wa filamu. Kuhusu muundo wa vifaa, muundo wa milango miwili hutumika kuboresha ufanisi wa kubana, na mfumo wa hivi karibuni wa usambazaji wa gesi ya kioevu hutumika ili kuhakikisha mtiririko thabiti na unaoweza kudhibitiwa na kuhakikisha kwa ufanisi utulivu wa mchakato. Filamu iliyoandaliwa na vifaa ina kizuizi kizuri cha mvuke wa maji na kipindi kirefu cha uthabiti katika jaribio la kuchemsha.
Vifaa vinaweza kutumika kwenye chuma cha pua, vifaa/vipuri vya plastiki vilivyofunikwa kwa umeme, kioo, kauri na vifaa vingine, kama vile bidhaa za kielektroniki, shanga za taa za LED, vifaa vya matibabu na bidhaa zingine zinazohitaji upinzani wa oksidi. Filamu ya kizuizi cha SiOx imeandaliwa hasa ili kuzuia mvuke wa maji kwa ufanisi, kuzuia kutu na oksidi, na kuboresha maisha ya bidhaa.
| Mifumo ya hiari | ukubwa wa chumba cha ndani |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |