HFCVD0606

Chumba cha mipako ya utupu cha vifaa vya uwekaji wa mvuke wa kemikali huchukua muundo wa kujitegemea wa safu mbili za maji, ambayo ni ya ufanisi na sawa katika baridi, na ina muundo salama na imara. Vifaa vimeundwa kwa milango miwili, madirisha mengi ya uchunguzi na miingiliano mingi ya upanuzi, ambayo ni rahisi kwa unganisho la nje la vifaa vya ziada kama vile kipimo cha joto la infrared, uchambuzi wa spectral, ufuatiliaji wa video na thermocouple. Dhana ya hali ya juu ya muundo hufanya urekebishaji na matengenezo ya kila siku, mabadiliko ya usanidi na uboreshaji wa vifaa kuwa rahisi na rahisi, na hupunguza kwa ufanisi gharama za matumizi na kuboresha.

Vipengele vya vifaa:

1. Vipengee vya mfumuko wa bei vya vifaa hasa ni pamoja na mita ya mtiririko wa molekuli, valve ya solenoid na tank ya kuchanganya gesi, ambayo inahakikisha udhibiti sahihi wa mtiririko wa gesi ya mchakato, kuchanganya sare na kutengwa salama kwa gesi tofauti, na inaweza kuchagua vipengele vya mfumo wa gesi kwa matumizi ya chanzo cha gesi ya kioevu, kuwezesha uteuzi wa kibinafsi wa vyanzo mbalimbali vya vyanzo vya kaboni ya kioevu, na matumizi salama ya almasi ya kioevu ya synthetiki ya boron na chanzo cha kioevu cha synthetiki.
2.Mkusanyiko wa uchimbaji wa hewa una pampu ya utupu ya kimya na bora ya mzunguko wa mzunguko na mfumo wa pampu ya molekuli ya turbo ambayo inaweza kukidhi kwa haraka mazingira ya juu ya utupu. Kipimo cha utupu cha mchanganyiko chenye kupima upinzani na upimaji wa ionization hutumiwa kwa kipimo cha utupu, pamoja na mfumo wa kupima filamu wa capacitive ambao unaweza kupima shinikizo la gesi tofauti za mchakato katika aina mbalimbali. Shinikizo la uwekaji linadhibitiwa kiotomatiki na vali ya udhibiti wa uwiano wa hali ya juu.
3.Sehemu ya maji ya baridi ina vifaa vya shinikizo la maji ya njia nyingi, mtiririko, kipimo cha joto na ufuatiliaji wa moja kwa moja wa programu. Vipengele tofauti vya baridi vinajitegemea kwa kila mmoja, ambayo ni rahisi kwa utambuzi wa haraka wa kosa. Matawi yote yana swichi za valve huru, ambayo ni salama na yenye ufanisi.
4.Vipengele vya kudhibiti umeme vinapitisha skrini ya LCD ya kiolesura cha mtu-mashine ya ukubwa mkubwa na kushirikiana na udhibiti kamili wa kiotomatiki wa PLC ili kuwezesha uhariri na uagizaji wa fomula ya mchakato. Mviringo wa picha unaonyesha mabadiliko na thamani za vigezo mbalimbali, na vifaa na vigezo vya mchakato hurekodiwa kiotomatiki na kuhifadhiwa kwenye kumbukumbu ili kuwezesha ufuatiliaji wa tatizo na uchanganuzi wa takwimu.
5.Rack ya workpiece ina vifaa vya servo motor ili kudhibiti kuinua na kupungua kwa meza ya substrate. Jedwali la substrate ya grafiti au nyekundu ya shaba inaweza kuchaguliwa. Joto hupimwa na thermocouple.
6.Vipengele vya rack vinaweza kuundwa kwa ujumla au tofauti kulingana na mahitaji ya wateja ili kukidhi mahitaji maalum ya utunzaji wa wateja.
7.Vipengele vya sahani ya kuziba ni nzuri na kifahari. Sahani za kuziba katika maeneo tofauti ya moduli ya kazi ya vifaa zinaweza kufutwa haraka au kufunguliwa na kufungwa kwa kujitegemea, ambayo ni rahisi sana kutumia.

Vifaa vya moto vya CVD vinafaa kwa kuweka vifaa vya almasi, ikiwa ni pamoja na mipako nyembamba ya filamu, filamu nene inayojitegemea, microcrystalline na almasi ya nanocrystalline, almasi ya conductive, nk. Inatumika hasa kwa mipako ya kinga inayostahimili kuvaa ya zana za kukata CARBIDE, vifaa vya semiconductor kama vile silikoni na silicon carbide, disinfection ya dioksidi ya kaboni, vifaa vya kusambaza joto vya ozoni, vifaa vya electrolytic ya dioksidi. matibabu ya maji au maji taka.