Alat-alat ieu utamina nganggo déposisi uap kimiawi pikeun nyiapkeun pilem oksida, anu gaduh ciri laju déposisi anu gancang sareng kualitas pilem anu luhur. Sedengkeun pikeun struktur alat, struktur panto ganda dianggo pikeun ningkatkeun efisiensi penjepitan, sareng sistem suplai gas cair pangénggalna diadopsi pikeun mastikeun aliran anu stabil sareng tiasa dikontrol sareng sacara efektif mastikeun stabilitas prosés. Pilem anu disiapkeun ku alat gaduh panghalang uap cai anu saé sareng periode stabil anu langkung lami dina uji ngagolak.
Alat-alat ieu tiasa diterapkeun kana stainless steel, bagian perangkat keras / plastik anu dilapis éléktro, kaca, keramik sareng bahan sanésna, sapertos produk éléktronik, manik-manik lampu LED, suplai médis sareng produk sanés anu peryogi résistansi oksidasi. Pilem panghalang SiOx utamina disiapkeun pikeun sacara efektif meungpeuk uap cai, nyegah korosi sareng oksidasi, sareng ningkatkeun umur produk.
| Modél opsional | ukuran kamar jero |
| ZHCVD1200 | φ1200*T1950(mm) |