Процес јонског премазивања катодним лучним извором је у основи исти као и код других технологија премазивања, а неке операције попут постављања радних предмета и усисавања се више не понављају.
1. Чишћење радних предмета бомбардовањем
Пре наношења премаза, аргонски гас се уводи у комору за премазивање под вакуумом од 2×10⁻²Pa.
Укључите импулсно напајање, са радним циклусом од 20% и напоном радног предмета од 800-1000V.
Када се укључи напајање лука, генерише се хладно поље лучног пражњења, које емитује велику количину електронске струје и струје јона титанијума из извора лука, формирајући плазму високе густине. Јон титанијума убрзава своје убризгавање у радни предмет под негативним високим притиском који се примењује на радни предмет, бомбардујући и распршујући преостали гас и загађиваче адсорбоване на површини радног предмета, и чистећи и пречишћавајући површину радног предмета; Истовремено, гас хлора у комори за премазивање се јонизује електронима, а јони аргона убрзавају бомбардовање површине радног предмета.
Стога је ефекат чишћења бомбардовањем добар. Само око 1 минут чишћења бомбардовањем може очистити радни предмет, што се назива „главно лучно бомбардовање“. Због велике масе јона титанијума, ако се мали извор лука користи за бомбардовање и чишћење радног предмета предуго, температура радног предмета је склона прегревању, а ивица алата може омекшати. У општој производњи, мали извори лука се укључују један по један од врха до дна, а сваки мали извор лука има време чишћења бомбардовањем од око 1 минут.
(1) Доњи слој премаза од титанијума
Да би се побољшала адхезија између филма и подлоге, обично се пре премазивања титанијум нитридом наноси слој чистог титанијумског подлога. Подесите ниво вакуума на 5×10⁻²-3×10⁻¹Pa, подесите напон преднапона радног предмета на 400-500V и подесите радни циклус импулсног напајања преднапона на 40%~50%. И даље палите мале изворе лука један по један да би се генерисало хладно поље лучног пражњења. Због смањења негативног напона преднапона радног предмета, енергија јона титанијума се смањује. Након достизања радног предмета, ефекат распршивања је мањи од ефекта таложења, а на радном предмету се формира прелазни слој титанијума како би се побољшала сила везивања између тврдог слоја титанијум нитрида и подлоге. Овај процес је такође процес загревања радног предмета. Када се мета од чистог титанијума испразни, светлост у плазми је азурно плава.
1. Премаз тврдог филма са амонијаком у посуди
Подесите степен вакуума на 3×10-1-5Pa, подесите напон преднапона радног предмета на 100-200V и подесите радни циклус импулсног напајања преднапона на 70%~80%. Након увођења азота, титанијум реагује комбиновано са плазмом лучног пражњења да би се нанео тврди филм титанијум нитрида. У овом тренутку, светлост плазме у вакуумској комори је црвене боје. Ако је C2H2, О2итд. се уводе, TiCN, TiO2итд. могу се добити слојеви филма.
–Овај чланак је објавио Гуангдонг Женхуа,произвођач машина за вакуумско премазивање
Време објаве: 01. јун 2023.