HFCVD0606

Dhoma e veshjes me vakum e pajisjeve të depozitimit të avujve kimikë përdor një strukturë të pavarur me dy shtresa ftohjeje me ujë, e cila është efikase dhe uniforme në ftohje, dhe ka një strukturë të sigurt dhe të qëndrueshme. Pajisjet janë projektuar me dyer të dyfishta, dritare të shumëfishta vëzhgimi dhe ndërfaqe të shumëfishta zgjerimi, të cilat janë të përshtatshme për lidhjen e jashtme të pajisjeve periferike ndihmëse si matja e temperaturës infra të kuqe, analiza spektrale, monitorimi video dhe termoçifti. Koncepti i avancuar i projektimit e bën riparimin dhe mirëmbajtjen e përditshme, ndryshimin e konfigurimit dhe përmirësimin e pajisjeve të lehtë dhe të thjeshtë, dhe ul në mënyrë efektive kostot e përdorimit dhe përmirësimit.

Karakteristikat e pajisjeve:

1. Komponentët e inflacionit të pajisjeve përfshijnë kryesisht matësin e rrjedhës masive, valvulën solenoid dhe rezervuarin e përzierjes së gazit, të cilët sigurojnë kontrollin e saktë të rrjedhës së gazit të procesit, përzierjen uniforme dhe izolimin e sigurt të gazrave të ndryshëm, dhe mund të zgjedhin komponentët e sistemit të gazit për përdorimin e burimit të gazit të lëngshëm, të lehtësojnë përzgjedhjen e personalizuar të një game të gjerë burimesh të karbonit të lëngshëm dhe përdorimin e sigurt të burimeve të borit të lëngshëm të diamantit sintetik përçues dhe elektrodës.
2. Njësia e nxjerrjes së ajrit është e pajisur me një pompë vakumi me fletë rrotulluese të heshtur dhe efikase dhe një sistem pompe molekulare turbo që mund të përballojë shpejt mjedisin e sfondit me vakum të lartë. Matësi i vakumit i përbërë me matës rezistence dhe matës jonizimi përdoret për matjen e vakumit, si dhe sistemi matës i filmit kapacitiv i cili mund të masë presionin e gazrave të ndryshëm të procesit në një gamë të gjerë. Presioni i depozitimit kontrollohet plotësisht automatikisht nga një valvul kontrolli proporcional me precizion të lartë.
3. Komponenti i ujit ftohës është i pajisur me matje shumëkanalëshe të presionit, rrjedhjes, temperaturës së ujit dhe monitorim automatik me softuer. Komponentët e ndryshëm të ftohjes janë të pavarur nga njëri-tjetri, gjë që është e përshtatshme për diagnostikim të shpejtë të defekteve. Të gjitha degët kanë çelësa të pavarur të valvulave, gjë që është e sigurt dhe efikase.
4. Komponentët e kontrollit elektrik përdorin ekran LCD me ndërfaqe njeri-makinë të përmasave të mëdha dhe bashkëpunojnë me kontrollin plotësisht automatik PLC për të lehtësuar redaktimin dhe importimin e formulës së procesit. Kurba grafike shfaq vizualisht ndryshimet dhe vlerat e parametrave të ndryshëm, dhe pajisjet dhe parametrat e procesit regjistrohen dhe arkivohen automatikisht për të lehtësuar gjurmimin e problemeve dhe analizën statistikore të të dhënave.
5. Rafti i pjesës së punës është i pajisur me një servomotor për të kontrolluar ngritjen dhe uljen e tavolinës së substratit. Mund të zgjidhet tabela e substratit prej grafiti ose bakri të kuq. Temperatura matet me anë të një termoçifti.
6. Komponentët e raftit mund të projektohen si një e tërë ose veçmas sipas kërkesave të klientit për të përmbushur kërkesat e veçanta të trajtimit të klientëve.
7. Komponentët e pllakës së vulosjes janë të bukur dhe elegantë. Pllakat e vulosjes në zona të ndryshme të modulit funksional të pajisjes mund të çmontohen shpejt ose të hapen e mbyllen në mënyrë të pavarur, gjë që është shumë e përshtatshme për t’u përdorur.

Pajisjet CVD me filament të nxehtë janë të përshtatshme për depozitimin e materialeve të diamantit, duke përfshirë veshjen me film të hollë, filmin e trashë vetëmbështetës, diamantin mikrokristalin dhe nanokristaline, diamantin përçues, etj. Përdoret kryesisht për veshje mbrojtëse rezistente ndaj konsumimit të veglave prerëse të karabit të çimentuar, materialeve gjysmëpërçuese si silici dhe karabiti i silicit, veshjen e pajisjeve për shpërndarjen e nxehtësisë, elektrodën e diamantit përçues të dopuar me bor, dezinfektimin me ozon të ujit elektrolitik ose trajtimin e ujërave të zeza.