HFCVD0606

Vákuová povlaková komora zariadenia na chemické nanášanie z pár využíva nezávislú dvojvrstvovú vodnú chladiacu štruktúru, ktorá je efektívna a rovnomerná pri chladení a má bezpečnú a stabilnú štruktúru. Zariadenie je navrhnuté s dvojitými dverami, viacerými pozorovacími oknami a viacerými rozširujúcimi rozhraniami, čo umožňuje pohodlné pripojenie externých periférií, ako je infračervené meranie teploty, spektrálna analýza, video monitorovanie a termočlánok. Pokročilá konštrukčná koncepcia uľahčuje dennú generálnu opravu a údržbu, zmenu konfigurácie a modernizáciu zariadenia a efektívne znižuje náklady na používanie a modernizáciu.

Vlastnosti zariadenia:

1. Medzi nafukovacie komponenty zariadenia patria najmä hmotnostný prietokomer, solenoidový ventil a nádrž na miešanie plynov, ktoré zabezpečujú presnú reguláciu prietoku procesného plynu, rovnomerné miešanie a bezpečnú izoláciu rôznych plynov a umožňujú výber komponentov plynového systému na použitie zdroja kvapalného plynu, uľahčujú personalizovaný výber širokej škály zdrojov kvapalného uhlíka a bezpečné používanie syntetických vodivých diamantov a zdrojov kvapalného bóru na elektródy.
2. Zariadenie na odsávanie vzduchu je vybavené tichým a účinným rotačným lopatkovým vákuovým čerpadlom a turbomolekulárnym systémom čerpadla, ktoré dokáže rýchlo splniť požiadavky prostredia s vysokým vákuom. Na meranie vákua sa používa kompozitný vákuomer s odporovým meračom a ionizačným meračom, ako aj kapacitný filmový systém, ktorý dokáže merať tlak rôznych procesných plynov v širokom rozsahu. Tlak nanášania je plne automaticky riadený vysoko presným proporcionálnym regulačným ventilom.
3. Chladiaca zložka je vybavená viackanálovým meraním tlaku vody, prietoku, teploty a softvérovým automatickým monitorovaním. Rôzne chladiace komponenty sú od seba nezávislé, čo umožňuje rýchlu diagnostiku porúch. Všetky vetvy majú nezávislé ventilové spínače, čo je bezpečné a efektívne.
4. Elektrické riadiace komponenty využívajú veľký LCD displej s rozhraním človek-stroj a spolupracujú s plne automatickým riadením PLC, čo uľahčuje úpravu a import procesných vzorcov. Grafická krivka vizuálne zobrazuje zmeny a hodnoty rôznych parametrov a parametre zariadenia a procesu sa automaticky zaznamenávajú a archivujú, čo uľahčuje sledovanie problémov a štatistickú analýzu údajov.
5. Stojan na obrobky je vybavený servomotorom na ovládanie zdvíhania a spúšťania stola so substrátom. Je možné zvoliť grafitový alebo červený medený stôl so substrátom. Teplota sa meria termočlánkom.
6. Komponenty regálu môžu byť navrhnuté ako celok alebo samostatne podľa požiadaviek zákazníka, aby spĺňali špeciálne manipulačné požiadavky zákazníkov.
7. Komponenty tesniacich dosiek sú krásne a elegantné. Tesniace dosky v rôznych funkčných modulových oblastiach zariadenia sa dajú rýchlo rozobrať alebo otvárať a zatvárať nezávisle, čo je veľmi pohodlné.

Zariadenie CVD s horúcim filamentom je vhodné na nanášanie diamantových materiálov vrátane tenkovrstvových povlakov, samonosných hrubých vrstiev, mikrokryštalických a nanokryštalických diamantov, vodivých diamantov atď. Používa sa hlavne na nanášanie ochranných povlakov odolných voči opotrebovaniu na rezné nástroje zo spekaného karbidu, polovodičové materiály, ako je kremík a karbid kremíka, povlaky na odvod tepla na zariadeniach, vodivé diamantové elektródy dopované bórom, dezinfekciu elektrolytickej vody alebo čistenie odpadových vôd ozónom.