කැතෝඩික් චාප ප්රභව අයන ආලේපන ක්රියාවලිය මූලික වශයෙන් අනෙකුත් ආලේපන තාක්ෂණයන්ට සමාන වන අතර, වැඩ කොටස් ස්ථාපනය කිරීම සහ රික්ත කිරීම වැනි සමහර මෙහෙයුම් තවදුරටත් පුනරාවර්තනය නොවේ.
1. වැඩ කොටස් බෝම්බ හෙලීමෙන් පිරිසිදු කිරීම
ආලේප කිරීමට පෙර, 2×10-2Pa රික්තයක් සහිත ආගන් වායුව ආලේපන කුටියට හඳුන්වා දෙනු ලැබේ.
20% ක රාජකාරි චක්රයක් සහ 800-1000V ක වැඩ කොටස් නැඹුරුවක් සහිතව, ස්පන්දන නැඹුරු බල සැපයුම ක්රියාත්මක කරන්න.
චාප බලය ක්රියාත්මක කළ විට, සීතල ක්ෂේත්ර චාප ආලෝක විසර්ජනයක් ජනනය වන අතර, එය චාප ප්රභවයෙන් ඉලෙක්ට්රෝන ධාරාවක් සහ ටයිටේනියම් අයන ධාරාවක් විශාල ප්රමාණයක් විමෝචනය කර ඉහළ ඝනත්ව ප්ලාස්මාවක් සාදයි. ටයිටේනියම් අයන වැඩ කොටසට යොදන සෘණ ඉහළ නැඹුරු පීඩනය යටතේ වැඩ කොටසට එන්නත් කිරීම වේගවත් කරයි, වැඩ කොටසෙහි මතුපිට අවශෝෂණය කර ඇති අවශේෂ වායුව සහ දූෂක බෝම්බ හෙලීම සහ ඉසීම සහ වැඩ කොටසෙහි මතුපිට පිරිසිදු කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම; ඒ සමඟම, ආලේපන කුටියේ ඇති ක්ලෝරීන් වායුව ඉලෙක්ට්රෝන මගින් අයනීකරණය වන අතර, ආගන් අයන වැඩ කොටසෙහි මතුපිට බෝම්බ හෙලීම වේගවත් කරයි.
එමනිසා, බෝම්බ දැමීමේ පිරිසිදු කිරීමේ බලපෑම හොඳයි. බෝම්බ දැමීමේ පිරිසිදු කිරීමෙන් මිනිත්තු 1 ක් පමණ පමණක් වැඩ කොටස පිරිසිදු කළ හැකි අතර එය "ප්රධාන චාප බෝම්බ දැමීම" ලෙස හැඳින්වේ. ටයිටේනියම් අයනවල ඉහළ ස්කන්ධය නිසා, කුඩා චාප ප්රභවයක් වැඩ කොටසට බෝම්බ දමා දිගු වේලාවක් පිරිසිදු කිරීමට භාවිතා කරන්නේ නම්, වැඩ කොටසෙහි උෂ්ණත්වය අධික ලෙස රත් වීමට ඉඩ ඇති අතර, මෙවලම් දාරය මෘදු විය හැකිය. සාමාන්ය නිෂ්පාදනයේදී, කුඩා චාප ප්රභවයන් ඉහළ සිට පහළට එකින් එක ක්රියාත්මක වන අතර, සෑම කුඩා චාප ප්රභවයකටම මිනිත්තු 1 ක පමණ බෝම්බ දැමීමේ පිරිසිදු කිරීමේ කාලයක් ඇත.
(1) ටයිටේනියම් පහළ ස්ථරය ආලේප කිරීම
පටලය සහ උපස්ථරය අතර ඇලීම වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා, ටයිටේනියම් නයිට්රයිඩ් ආලේප කිරීමට පෙර පිරිසිදු ටයිටේනියම් උපස්ථර තට්ටුවක් සාමාන්යයෙන් ආලේප කරනු ලැබේ. රික්ත මට්ටම 5×10-2-3×10-1Pa දක්වා සකසන්න, වැඩ කොටස නැඹුරු වෝල්ටීයතාවය 400-500V දක්වා සකසන්න, සහ ස්පන්දන නැඹුරු බල සැපයුමේ රාජකාරි චක්රය 40%~50% දක්වා සකසන්න. සීතල ක්ෂේත්ර චාප විසර්ජනය ජනනය කිරීම සඳහා තවමත් කුඩා චාප ප්රභවයන් එකින් එක දැල්වීම. වැඩ කොටසෙහි සෘණ නැඹුරු වෝල්ටීයතාවයේ අඩුවීම නිසා, ටයිටේනියම් අයනවල ශක්තිය අඩු වේ. වැඩ කොටසට ළඟා වූ පසු, ඉසින ආචරණය තැන්පත් කිරීමේ ආචරණයට වඩා අඩු වන අතර, ටයිටේනියම් නයිට්රයිඩ් දෘඩ පටල ස්ථරය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධන බලය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වැඩ කොටස මත ටයිටේනියම් සංක්රාන්ති තට්ටුවක් සාදනු ලැබේ. මෙම ක්රියාවලිය වැඩ කොටස රත් කිරීමේ ක්රියාවලිය ද වේ. පිරිසිදු ටයිටේනියම් ඉලක්කය විසර්ජනය වූ විට, ප්ලාස්මාවේ ආලෝකය නිල් පැහැයෙන් යුක්ත වේ.
1. ඇමෝනියා කළ බඳුන දෘඩ පටල ආලේපනය
රික්තක උපාධිය 3×10 දක්වා සකසන්න.-1-5Pa, වැඩ කොටස නැඹුරු වෝල්ටීයතාවය 100-200V දක්වා සකසන්න, සහ ස්පන්දන නැඹුරු බල සැපයුමේ රාජකාරි චක්රය 70%~80% දක්වා සකසන්න. නයිට්රජන් හඳුන්වා දීමෙන් පසු, ටයිටේනියම් යනු චාප විසර්ජන ප්ලාස්මා සමඟ ටයිටේනියම් නයිට්රයිඩ් දෘඩ පටලයක් තැන්පත් කිරීම සඳහා ඒකාබද්ධ ප්රතික්රියාවකි. මෙම අවස්ථාවේදී, රික්ත කුටියේ ප්ලාස්මාවේ ආලෝකය චෙරි රතු පැහැයෙන් යුක්ත වේ. C නම්2H2, ඕ2, ආදිය හඳුන්වා දෙනු ලැබේ, TiCN, TiO2, ආදිය පටල ස්ථර ලබා ගත හැකිය.
–මෙම ලිපිය නිකුත් කරන ලද්දේ ගුවැන්ඩොං ෂෙන්හුවා විසිනි, ඒරික්ත ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා
පළ කිරීමේ කාලය: ජූනි-01-2023