නිෂ්පාදනය විස්තරය
රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ උපකරණවල රික්ත ආලේපන කුටිය ස්වාධීන ද්විත්ව ස්ථර ජල සිසිලන ව්යුහයක් භාවිතා කරයි, එය සිසිලනය සඳහා කාර්යක්ෂම හා ඒකාකාරී වන අතර ආරක්ෂිත සහ ස්ථාවර ව්යුහයක් ඇත. උපකරණ ද්විත්ව දොරවල්, බහු නිරීක්ෂණ කවුළු සහ බහු ප්රසාරණ අතුරුමුහුණත් සමඟ නිර්මාණය කර ඇති අතර එය අධෝරක්ත උෂ්ණත්ව මැනීම, වර්ණාවලි විශ්ලේෂණය, වීඩියෝ අධීක්ෂණය සහ තාපකූප්ලය වැනි සහායක පර්යන්තවල බාහිර සම්බන්ධතාවය සඳහා පහසු වේ. උසස් සැලසුම් සංකල්පය උපකරණවල දෛනික ප්රතිසංස්කරණය සහ නඩත්තුව, වින්යාස වෙනස් කිරීම සහ උත්ශ්රේණි කිරීම පහසු සහ සරල කරන අතර භාවිතය සහ උත්ශ්රේණි කිරීමේ පිරිවැය ඵලදායී ලෙස අඩු කරයි.
උපකරණ විශේෂාංග:
1. උපකරණවල උද්ධමන සංරචකවලට ප්රධාන වශයෙන් ස්කන්ධ ප්රවාහ මීටරය, සොලෙනොයිඩ් කපාටය සහ ගෑස් මිශ්ර කිරීමේ ටැංකිය ඇතුළත් වන අතර එමඟින් ක්රියාවලි වායු ප්රවාහය නිවැරදිව පාලනය කිරීම, ඒකාකාර මිශ්ර කිරීම සහ විවිධ වායූන් ආරක්ෂිතව හුදකලා කිරීම සහතික කරන අතර ද්රව වායු ප්රභවය භාවිතා කිරීම සඳහා ගෑස් පද්ධති සංරචක තෝරා ගත හැකිය. පුළුල් පරාසයක ද්රව කාබන් ප්රභවයන් පුද්ගලාරෝපිත ලෙස තෝරා ගැනීමට සහ කෘතිම සන්නායක දියමන්ති සහ ඉලෙක්ට්රෝඩ ද්රව බෝරෝන් ප්රභවයන් ආරක්ෂිතව භාවිතා කිරීමට පහසුකම් සපයයි.
2. වායු නිස්සාරණ එකලස් කිරීම නිහඬ හා කාර්යක්ෂම භ්රමණ වේන් රික්ත පොම්පයකින් සහ ඉහළ රික්ත පසුබිම් පරිසරය ඉක්මනින් සපුරාලිය හැකි ටර්බෝ අණුක පොම්ප පද්ධතියකින් සමන්විත වේ. ප්රතිරෝධක මානය සහ අයනීකරණ මානය සහිත සංයුක්ත රික්ත මානය රික්ත මිනුම් සඳහා මෙන්ම පුළුල් පරාසයක විවිධ ක්රියාවලි වායූන්ගේ පීඩනය මැනිය හැකි ධාරිත්රක පටල මාපක පද්ධතිය ද භාවිතා වේ. තැන්පත් කිරීමේ පීඩනය ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් සමානුපාතික පාලන කපාටයක් මගින් සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීයව පාලනය වේ.
3. සිසිලන ජල සංරචකය බහු නාලිකා ජල පීඩනය, ප්රවාහය, උෂ්ණත්ව මිනුම් සහ මෘදුකාංග ස්වයංක්රීය අධීක්ෂණයෙන් සමන්විත වේ. විවිධ සිසිලන සංරචක එකිනෙකින් ස්වාධීන වන අතර එය වේගවත් දෝෂ රෝග විනිශ්චය සඳහා පහසු වේ. සියලුම ශාඛාවල ස්වාධීන කපාට ස්විච ඇති අතර එය ආරක්ෂිත සහ කාර්යක්ෂම වේ.
4. විදුලි පාලන සංරචක විශාල ප්රමාණයේ මිනිසා-යන්ත්ර අතුරුමුහුණත LCD තිරයක් භාවිතා කරන අතර ක්රියාවලි සූත්රය සංස්කරණය කිරීම සහ ආනයනය කිරීම පහසු කිරීම සඳහා PLC පූර්ණ ස්වයංක්රීය පාලනය සමඟ සහයෝගයෙන් කටයුතු කරයි. චිත්රක වක්රය විවිධ පරාමිතීන්ගේ වෙනස්කම් සහ අගයන් දෘශ්යමය වශයෙන් පෙන්වන අතර, ගැටළු සොයා ගැනීම සහ දත්ත සංඛ්යානමය විශ්ලේෂණය පහසු කිරීම සඳහා උපකරණ සහ ක්රියාවලි පරාමිතීන් ස්වයංක්රීයව පටිගත කර සංරක්ෂණය කෙරේ.
5. උපස්ථර මේසය එසවීම සහ පහත් කිරීම පාලනය කිරීම සඳහා වැඩ කොටස් රාක්කය සර්වෝ මෝටරයකින් සමන්විත වේ. මිනිරන් හෝ රතු තඹ උපස්ථර වගුව තෝරා ගත හැකිය. උෂ්ණත්වය මනිනු ලබන්නේ තාපකූපයක් මගිනි.
6. රාක්ක සංරචක පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව සමස්තයක් ලෙස හෝ වෙන වෙනම නිර්මාණය කළ හැකි අතර එමඟින් පාරිභෝගිකයින්ගේ විශේෂ හැසිරවීමේ අවශ්යතා සපුරාලිය හැකිය.
7. මුද්රා තැබීමේ තහඩු සංරචක ලස්සන හා අලංකාරයි.උපකරණවල විවිධ ක්රියාකාරී මොඩියුල ප්රදේශවල මුද්රා තැබීමේ තහඩු ඉක්මනින් විසුරුවා හැරීමට හෝ ස්වාධීනව විවෘත කර වසා දැමිය හැකි අතර එය භාවිතා කිරීමට ඉතා පහසු වේ.
තුනී පටල ආලේපනය, ස්වයං ආධාරක ඝන පටලය, ක්ෂුද්ර ස්ඵටික සහ නැනෝ ස්ඵටික දියමන්ති, සන්නායක දියමන්ති ආදිය ඇතුළුව දියමන්ති ද්රව්ය තැන්පත් කිරීම සඳහා උණුසුම් සූතිකා CVD උපකරණ සුදුසු වේ. එය ප්රධාන වශයෙන් සිමෙන්ති කාබයිඩ් කැපුම් මෙවලම්වල ඇඳුම්-ප්රතිරෝධී ආරක්ෂිත ආලේපනය, සිලිකන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් වැනි අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය, උපාංගවල තාප විසර්ජන ආලේපනය, බෝරෝන් මාත්රණය කරන ලද සන්නායක දියමන්ති ඉලෙක්ට්රෝඩය, විද්යුත් විච්ඡේදක ජලයේ ඕසෝන් විෂබීජහරණය හෝ අපද්රව්ය පිරිපහදු කිරීම සඳහා යොදා ගනී.
| විකල්ප ආකෘති | අභ්යන්තර කුටියේ ප්රමාණය |
| HFCVD0606 හඳුන්වා දීම | φ600*H600(මි.මී.) |
කර්මාන්ත අයදුම්පත
අදාළ උපාංග
බලන්න ක්ලික් කරන්න
ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධී CVD ආලේපන උපකරණ
වේගවත් තැන්පත් වීමේ අනුපාතය සහ ඉහළ පටල ගුණාත්මක භාවයේ ලක්ෂණ ඇති ඔක්සයිඩ් පටලය සකස් කිරීම සඳහා උපකරණ ප්රධාන වශයෙන් රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම භාවිතා කරයි. උපකරණ සම්බන්ධයෙන් ගත් කල...