ڪيٿوڊڪ آرڪ سورس آئن ڪوٽنگ جو عمل بنيادي طور تي ٻين ڪوٽنگ ٽيڪنالاجيز وانگر آهي، ۽ ڪجهه عمل جهڙوڪ ورڪ پيسز کي نصب ڪرڻ ۽ ويڪيومنگ هاڻي نه ورجايو ويندو آهي.
1. ڪم جي ٽڪرن جي بمباري جي صفائي
ڪوٽنگ کان اڳ، آرگن گيس کي ڪوٽنگ چيمبر ۾ 2×10-2Pa جي ويڪيوم سان داخل ڪيو ويندو آهي.
پلس بائيس پاور سپلائي کي آن ڪريو، جنهن جو ڊيوٽي چڪر 20٪ ۽ ورڪ پيس بائيس 800-1000V آهي.
جڏهن آرڪ پاور آن ڪئي ويندي آهي، ته هڪ ٿڌي فيلڊ آرڪ لائيٽ ڊسچارج پيدا ٿئي ٿي، جيڪا آرڪ سورس مان وڏي مقدار ۾ اليڪٽران ڪرنٽ ۽ ٽائيٽينيم آئن ڪرنٽ خارج ڪري ٿي، هڪ اعليٰ کثافت وارو پلازما ٺاهيندي آهي. ٽائيٽينيم آئن ورڪ پيس تي لاڳو ٿيندڙ منفي هاءِ بائيس پريشر هيٺ ورڪ پيس ۾ پنهنجي انجڻ کي تيز ڪري ٿو، ورڪ پيس جي مٿاڇري تي جذب ٿيل باقي گئس ۽ آلودگي کي بمباري ۽ ڦوڪي ٿو، ۽ ورڪ پيس جي مٿاڇري کي صاف ۽ صاف ڪري ٿو؛ ساڳئي وقت، ڪوٽنگ چيمبر ۾ ڪلورين گيس اليڪٽرانن ذريعي آئنائيز ڪئي ويندي آهي، ۽ آرگن آئن ورڪ پيس جي مٿاڇري جي بمباري کي تيز ڪن ٿا.
تنهن ڪري، بمباري جي صفائي جو اثر سٺو آهي. صرف 1 منٽ جي بمباري جي صفائي ورڪ پيس کي صاف ڪري سگهي ٿي، جنهن کي "مين آرڪ بمباري" سڏيو ويندو آهي. ٽائيٽينيم آئنز جي وڏي مقدار جي ڪري، جيڪڏهن هڪ ننڍڙو آرڪ ذريعو بمباري ڪرڻ ۽ ورڪ پيس کي تمام گهڻي وقت تائين صاف ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو وڃي، ته ورڪ پيس جو گرمي پد وڌيڪ گرم ٿيڻ جو خطرو هوندو آهي، ۽ اوزار جي ڪنڊ نرم ٿي سگهي ٿي. عام پيداوار ۾، ننڍڙن آرڪ ذريعن کي مٿي کان هيٺ تائين هڪ هڪ ڪري آن ڪيو ويندو آهي، ۽ هر ننڍڙي آرڪ ذريعو ۾ بمباري جي صفائي جو وقت تقريباً 1 منٽ هوندو آهي.
(1) ٽائيٽينيم جي هيٺئين پرت کي ڪوٽنگ ڪرڻ
فلم ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ چپکڻ کي بهتر بڻائڻ لاءِ، خالص ٽائيٽينيم سبسٽريٽ جي هڪ پرت عام طور تي ٽائيٽينيم نائٽرائڊ کي ڪوٽ ڪرڻ کان اڳ ڪوٽ ڪئي ويندي آهي. ويڪيوم ليول کي 5×10-2-3×10-1Pa تي ترتيب ڏيو، ورڪ پيس بائيس وولٽيج کي 400-500V تي ترتيب ڏيو، ۽ پلس بائيس پاور سپلائي جي ڊيوٽي چڪر کي 40% ~ 50% تي ترتيب ڏيو. اڃا تائين ننڍن آرڪ ذريعن کي هڪ هڪ ڪري باهه ڏئي رهيو آهي ته جيئن ٿڌي فيلڊ آرسنگ ڊسچارج پيدا ٿئي. ورڪ پيس جي منفي بائيس وولٽيج ۾ گهٽتائي جي ڪري، ٽائيٽينيم آئنز جي توانائي گهٽجي ٿي. ورڪ پيس تائين پهچڻ کان پوءِ، اسپٽرنگ اثر جمع ڪرڻ واري اثر کان گهٽ آهي، ۽ ٽائيٽينيم نائٽرائڊ سخت فلم پرت ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ بانڊنگ فورس کي بهتر بڻائڻ لاءِ ورڪ پيس تي هڪ ٽائيٽينيم منتقلي پرت ٺهيل آهي. هي عمل ورڪ پيس کي گرم ڪرڻ جو عمل پڻ آهي. جڏهن خالص ٽائيٽينيم ٽارگيٽ خارج ڪيو ويندو آهي، پلازما ۾ روشني نيري نيري هوندي آهي.
1. امونئيٽيڊ پيالو سخت فلم ڪوٽنگ
ويڪيوم ڊگري کي 3×10 تي ترتيب ڏيو-1-5Pa، ورڪ پيس بائيس وولٽيج کي 100-200V تي ترتيب ڏيو، ۽ پلس بائيس پاور سپلائي جي ڊيوٽي چڪر کي 70٪ ~ 80٪ تي ترتيب ڏيو. نائٽروجن متعارف ڪرائڻ کان پوءِ، ٽائيٽينيم آرڪ ڊسچارج پلازما سان گڏ هڪ گڏيل رد عمل آهي ته جيئن ٽائيٽينيم نائٽرائڊ سخت فلم جمع ٿئي. هن نقطي تي، ويڪيوم چيمبر ۾ پلازما جي روشني چيري ڳاڙهي آهي. جيڪڏهن سي2H2، او2، وغيره متعارف ڪرايا ويا آهن، TiCN، TiO2، وغيره. فلم پرت حاصل ڪري سگھجن ٿا.
-هي مضمون گوانگ ڊونگ زينهوا پاران جاري ڪيو ويو، هڪويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙ
پوسٽ جو وقت: جون-01-2023