Urządzenie wykorzystuje głównie chemiczne osadzanie z fazy gazowej do wytwarzania warstwy tlenkowej, która charakteryzuje się szybkim tempem osadzania i wysoką jakością powłoki. Konstrukcja urządzenia, z podwójnymi drzwiami, poprawia wydajność zaciskania, a najnowszy system zasilania gazem ciekłym zapewnia stabilny i kontrolowany przepływ, skutecznie gwarantując stabilność procesu. Powłoka przygotowana przez urządzenie charakteryzuje się dobrą barierą dla pary wodnej i dłuższym okresem stabilności w teście wrzenia.
Urządzenie może być stosowane do stali nierdzewnej, galwanizowanego sprzętu/części z tworzyw sztucznych, szkła, ceramiki i innych materiałów, takich jak produkty elektroniczne, diody LED, artykuły medyczne i inne produkty wymagające odporności na utlenianie. Folia barierowa SiOx jest przygotowywana głównie w celu skutecznego blokowania pary wodnej, zapobiegania korozji i utlenianiu oraz wydłużenia żywotności produktu.
| Modele opcjonalne | rozmiar komory wewnętrznej |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |