HFCVD0606

Komora próżniowego powlekania urządzenia do chemicznego osadzania z fazy gazowej przyjmuje niezależną dwuwarstwową strukturę chłodzenia wodnego, która jest wydajna i równomierna w chłodzeniu, a także ma bezpieczną i stabilną strukturę. Urządzenie jest zaprojektowane z podwójnymi drzwiami, wieloma oknami obserwacyjnymi i wieloma interfejsami rozszerzeń, co jest wygodne do zewnętrznego podłączania urządzeń peryferyjnych, takich jak pomiar temperatury w podczerwieni, analiza widmowa, monitorowanie wideo i termopara. Zaawansowana koncepcja projektowa sprawia, że ​​codzienne przeglądy i konserwacja, zmiana konfiguracji i modernizacja urządzenia są łatwe i proste, a także skutecznie zmniejszają koszty użytkowania i modernizacji.

Cechy wyposażenia:

1. Elementy inflacyjne urządzenia obejmują głównie przepływomierz masowy, zawór elektromagnetyczny i zbiornik mieszający gaz, które zapewniają dokładną kontrolę przepływu gazu procesowego, równomierne mieszanie i bezpieczną izolację różnych gazów. Mogą one także wybierać elementy układu gazowego do wykorzystania źródła gazu ciekłego, ułatwiając spersonalizowany wybór szerokiej gamy źródeł węgla ciekłego i bezpieczne stosowanie syntetycznych przewodzących diamentów i elektrod z ciekłym borem.
2. Zespół wyciągu powietrza jest wyposażony w cichą i wydajną łopatkową pompę próżniową i system pompy turbomolekularnej, które mogą szybko sprostać środowisku wysokiej próżni. Do pomiaru próżni używany jest kompozytowy miernik próżni z miernikiem rezystancji i miernikiem jonizacji, a także pojemnościowy system miernika folii, który może mierzyć ciśnienie różnych gazów procesowych w szerokim zakresie. Ciśnienie osadzania jest w pełni automatycznie kontrolowane przez wysoce precyzyjny zawór sterujący proporcjonalny.
3. Komponent wody chłodzącej jest wyposażony w wielokanałowy pomiar ciśnienia wody, przepływu, temperatury i oprogramowania do automatycznego monitorowania. Różne komponenty chłodzące są niezależne od siebie, co jest wygodne dla szybkiej diagnostyki usterek. Wszystkie gałęzie mają niezależne przełączniki zaworów, co jest bezpieczne i wydajne.
4.Elektryczne komponenty sterujące wykorzystują duży ekran LCD interfejsu człowiek-maszyna i współpracują z całkowicie automatycznym sterowaniem PLC, aby ułatwić edycję i importowanie formuły procesu. Krzywa graficzna wizualnie wyświetla zmiany i wartości różnych parametrów, a parametry sprzętu i procesu są automatycznie rejestrowane i archiwizowane, aby ułatwić śledzenie problemów i analizę statystyczną danych.
5. Stojak na obrabiany przedmiot jest wyposażony w serwomotor do sterowania podnoszeniem i opuszczaniem stołu podłoża. Można wybrać stół podłoża grafitowego lub z czerwonej miedzi. Temperaturę mierzy się za pomocą termopary.
6. Elementy regału mogą być zaprojektowane jako całość lub oddzielnie, zgodnie z wymaganiami klienta, aby spełnić jego specjalne wymagania dotyczące obsługi.
7. Elementy płyty uszczelniającej są piękne i eleganckie. Płyty uszczelniające w różnych obszarach modułów funkcjonalnych urządzenia można szybko zdemontować lub otworzyć i zamknąć niezależnie, co jest bardzo wygodne w użyciu.

Urządzenie CVD z gorącym włóknem nadaje się do osadzania materiałów diamentowych, w tym cienkich powłok, grubych warstw samonośnych, mikrokrystalicznego i nanokrystalicznego diamentu, diamentu przewodzącego itp. Jest ono głównie stosowane do tworzenia odpornych na zużycie powłok ochronnych na narzędziach skrawających z węglika spiekanego, materiałów półprzewodnikowych, takich jak krzem i węglik krzemu, powłok odprowadzających ciepło na urządzeniach, przewodzących elektrod diamentowych domieszkowanych borem, dezynfekcji ozonem wody elektrolitycznej lub oczyszczania ścieków.