ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਸੋਰਸ ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਮੂਲ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਹੋਰ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੇ ਸਮਾਨ ਹੈ, ਅਤੇ ਕੁਝ ਕਾਰਜ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵਰਕਪੀਸ ਸਥਾਪਤ ਕਰਨਾ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮਿੰਗ ਹੁਣ ਦੁਹਰਾਇਆ ਨਹੀਂ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
1. ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਸਫਾਈ
ਕੋਟਿੰਗ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ, ਆਰਗਨ ਗੈਸ ਨੂੰ 2×10-2Pa ਦੇ ਵੈਕਿਊਮ ਨਾਲ ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਪੇਸ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਪਲਸ ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਚਾਲੂ ਕਰੋ, ਜਿਸਦਾ ਡਿਊਟੀ ਚੱਕਰ 20% ਹੈ ਅਤੇ ਵਰਕਪੀਸ ਬਾਈਸ 800-1000V ਹੈ।
ਜਦੋਂ ਆਰਕ ਪਾਵਰ ਚਾਲੂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਇੱਕ ਕੋਲਡ ਫੀਲਡ ਆਰਕ ਲਾਈਟ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਆਰਕ ਸਰੋਤ ਤੋਂ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਕਰੰਟ ਅਤੇ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨ ਕਰੰਟ ਛੱਡਦਾ ਹੈ, ਇੱਕ ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਵਾਲਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨ ਵਰਕਪੀਸ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਉੱਚ ਪੱਖਪਾਤ ਦਬਾਅ ਦੇ ਅਧੀਨ ਵਰਕਪੀਸ ਵਿੱਚ ਆਪਣੇ ਟੀਕੇ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸੋਖੇ ਗਏ ਬਚੇ ਹੋਏ ਗੈਸ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਕਾਂ ਨੂੰ ਬੰਬਾਰੀ ਅਤੇ ਸਪਟਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧ ਕਰਦਾ ਹੈ; ਉਸੇ ਸਮੇਂ, ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਕਲੋਰੀਨ ਗੈਸ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਦੁਆਰਾ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਰਗਨ ਆਇਨ ਵਰਕਪੀਸ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਇਸ ਲਈ, ਬੰਬਾਰੀ ਸਫਾਈ ਪ੍ਰਭਾਵ ਚੰਗਾ ਹੈ। ਸਿਰਫ 1 ਮਿੰਟ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਸਫਾਈ ਵਰਕਪੀਸ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਨੂੰ "ਮੁੱਖ ਚਾਪ ਬੰਬਾਰੀ" ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨਾਂ ਦੇ ਉੱਚ ਪੁੰਜ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਜੇਕਰ ਇੱਕ ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤ ਨੂੰ ਵਰਕਪੀਸ ਨੂੰ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਨ ਅਤੇ ਬਹੁਤ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਵਰਕਪੀਸ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਜ਼ਿਆਦਾ ਗਰਮ ਹੋਣ ਦਾ ਖ਼ਤਰਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਟੂਲ ਕਿਨਾਰਾ ਨਰਮ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਆਮ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ, ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤਾਂ ਨੂੰ ਉੱਪਰ ਤੋਂ ਹੇਠਾਂ ਤੱਕ ਇੱਕ-ਇੱਕ ਕਰਕੇ ਚਾਲੂ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਹਰੇਕ ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤ ਦਾ ਬੰਬਾਰੀ ਸਫਾਈ ਸਮਾਂ ਲਗਭਗ 1 ਮਿੰਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
(1) ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਤਲ ਪਰਤ ਦੀ ਪਰਤ
ਫਿਲਮ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਅਡੈਸ਼ਨ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ, ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਨੂੰ ਕੋਟਿੰਗ ਕਰਨ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸ਼ੁੱਧ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਇੱਕ ਪਰਤ ਨੂੰ ਕੋਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਵੈਕਿਊਮ ਪੱਧਰ ਨੂੰ 5×10-2-3×10-1Pa ਤੱਕ ਐਡਜਸਟ ਕਰੋ, ਵਰਕਪੀਸ ਬਾਈਸ ਵੋਲਟੇਜ ਨੂੰ 400-500V ਤੱਕ ਐਡਜਸਟ ਕਰੋ, ਅਤੇ ਪਲਸ ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੇ ਡਿਊਟੀ ਚੱਕਰ ਨੂੰ 40%~50% ਤੱਕ ਐਡਜਸਟ ਕਰੋ। ਅਜੇ ਵੀ ਕੋਲਡ ਫੀਲਡ ਆਰਸਿੰਗ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਲਈ ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ-ਇੱਕ ਕਰਕੇ ਅੱਗ ਲਗਾ ਰਿਹਾ ਹੈ। ਵਰਕਪੀਸ ਦੇ ਨੈਗੇਟਿਵ ਬਾਈਸ ਵੋਲਟੇਜ ਵਿੱਚ ਕਮੀ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਊਰਜਾ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਵਰਕਪੀਸ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨਾਲੋਂ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਹਾਰਡ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਬੰਧਨ ਬਲ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਕਪੀਸ 'ਤੇ ਇੱਕ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਪਰਿਵਰਤਨ ਪਰਤ ਬਣਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਰਕਪੀਸ ਨੂੰ ਗਰਮ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵੀ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਸ਼ੁੱਧ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਡਿਸਚਾਰਜ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਰੌਸ਼ਨੀ ਨੀਲੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
1. ਅਮੋਨੀਏਟਿਡ ਬਾਊਲ ਹਾਰਡ ਫਿਲਮ ਕੋਟਿੰਗ
ਵੈਕਿਊਮ ਡਿਗਰੀ ਨੂੰ 3×10 ਤੱਕ ਐਡਜਸਟ ਕਰੋ।-1-5Pa, ਵਰਕਪੀਸ ਬਾਈਸ ਵੋਲਟੇਜ ਨੂੰ 100-200V ਤੱਕ ਐਡਜਸਟ ਕਰੋ, ਅਤੇ ਪਲਸ ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੇ ਡਿਊਟੀ ਚੱਕਰ ਨੂੰ 70%~80% ਤੱਕ ਐਡਜਸਟ ਕਰੋ। ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੇ ਜਾਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਹਾਰਡ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਆਰਕ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨਾਲ ਸੁਮੇਲ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਹੈ। ਇਸ ਬਿੰਦੂ 'ਤੇ, ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਚੈਰੀ ਲਾਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਜੇਕਰ C2H2, ਓ2, ਆਦਿ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੇ ਗਏ ਹਨ, TiCN, TiO2, ਆਦਿ। ਫਿਲਮ ਪਰਤਾਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।
-ਇਹ ਲੇਖ ਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ ਦੁਆਰਾ ਜਾਰੀ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, ਇੱਕਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾ
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਜੂਨ-01-2023