କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ସୋର୍ସ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମୂଳତଃ ଅନ୍ୟ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପରି ସମାନ, ଏବଂ କିଛି କାର୍ଯ୍ୟ ଯେପରିକି ୱର୍କପିସ୍ ସଂସ୍ଥାପନ ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ କରିବା ଆଉ ପୁନରାବୃତ୍ତି ହୁଏ ନାହିଁ।
୧.କର୍ମକ୍ଷେତ୍ରର ବୋମାମାଡ଼ ସଫା କରିବା
ଆବରଣ ପୂର୍ବରୁ, ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସକୁ 2×10-2Pa ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସହିତ ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ପ୍ରବେଶ କରାଯାଏ।
ପଲ୍ସ ବାୟାସ୍ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଚାଲୁ କରନ୍ତୁ, ଯାହାର ଡ୍ୟୁଟି ଚକ୍ର 20% ଏବଂ 800-1000V ର ୱର୍କପିସ୍ ବାୟାସ୍ ସହିତ।
ଯେତେବେଳେ ଆର୍କ ପାୱାର ଚାଲୁ କରାଯାଏ, ଏକ ଥଣ୍ଡା କ୍ଷେତ୍ର ଆର୍କ ଆଲୋକ ନିର୍ଗତ ହୁଏ, ଯାହା ଆର୍କ ଉତ୍ସରୁ ପ୍ରଚୁର ପରିମାଣରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ କରେଣ୍ଟ ଏବଂ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ୍ କରେଣ୍ଟ ନିର୍ଗତ କରେ, ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଘନତା ପ୍ଲାଜ୍ମା ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ୍ ୱର୍କପିସ୍ ଉପରେ ପ୍ରୟୋଗ ହୋଇଥିବା ନକାରାତ୍ମକ ଉଚ୍ଚ ପକ୍ଷପାତ ଚାପରେ ୱର୍କପିସ୍ ରେ ଏହାର ଇଞ୍ଜେକ୍ସନକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରେ, ୱର୍କପିସ୍ ର ପୃଷ୍ଠରେ ଶୋଷିତ ଅବଶିଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷକଗୁଡ଼ିକୁ ବୋମାମାଡ଼ ଏବଂ ଛିଞ୍ଚାଏ, ଏବଂ ୱର୍କପିସ୍ ର ପୃଷ୍ଠକୁ ସଫା ଏବଂ ବିଶୁଦ୍ଧ କରେ; ସେହି ସମୟରେ, ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ଥିବା କ୍ଲୋରିନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ଦ୍ୱାରା ଆୟନିତ ହୁଏ, ଏବଂ ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନ୍ ୱର୍କପିସ୍ ପୃଷ୍ଠର ବୋମାମାଡ଼କୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରେ।
ତେଣୁ, ବୋମା ସଫା କରିବାର ପ୍ରଭାବ ଭଲ। ପ୍ରାୟ 1 ମିନିଟ୍ ବୋମା ସଫା କରିବା ଦ୍ୱାରା ୱର୍କପିସ୍ ସଫା ହୋଇପାରିବ, ଯାହାକୁ "ମୁଖ୍ୟ ଆର୍କ ବୋମା ସଫା" କୁହାଯାଏ। ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନର ଅଧିକ ପରିମାଣ ଯୋଗୁଁ, ଯଦି ଏକ ଛୋଟ ଆର୍କ ସୋର୍ସକୁ ବହୁତ ସମୟ ପାଇଁ ବୋମା ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ତେବେ ୱର୍କପିସ୍ର ତାପମାତ୍ରା ଅଧିକ ଗରମ ହେବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ, ଏବଂ ଉପକରଣ ଧାର ନରମ ହୋଇପାରେ। ସାଧାରଣ ଉତ୍ପାଦନରେ, ଛୋଟ ଆର୍କ ସୋର୍ସଗୁଡ଼ିକୁ ଉପରୁ ତଳ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଗୋଟିଏ ପରେ ଗୋଟିଏ ଚାଲୁ କରାଯାଇଥାଏ, ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଛୋଟ ଆର୍କ ସୋର୍ସର ବୋମା ସଫା କରିବାର ସମୟ ପ୍ରାୟ 1 ମିନିଟ୍ ଥାଏ।
(1) ଟାଇଟାନିୟମ୍ ତଳ ସ୍ତରର ଆବରଣ
ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଆପୋଷୀକରଣକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ, ସାଧାରଣତଃ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଆବରଣ କରିବା ପୂର୍ବରୁ ଶୁଦ୍ଧ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ର ଏକ ସ୍ତର ଆବରଣ କରାଯାଏ। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତରକୁ 5×10-2-3×10-1Pa ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ କରନ୍ତୁ, ୱର୍କପିସ୍ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ 400-500V ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ କରନ୍ତୁ, ଏବଂ ପଲ୍ସ ବାୟାସ୍ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏର ଡ୍ୟୁଟି ଚକ୍ରକୁ 40% ~ 50% ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ କରନ୍ତୁ। ତଥାପି ଛୋଟ ଆର୍କ ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକୁ ଗୋଟିଏ ପରେ ଗୋଟିଏ ପ୍ରଜ୍ବଳିତ କରି ଥଣ୍ଡା କ୍ଷେତ୍ର ଆର୍ସିଂ ଡିସଚାର୍ଜ ସୃଷ୍ଟି କରନ୍ତୁ। ୱର୍କପିସ୍ର ନକାରାତ୍ମକ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ହ୍ରାସ ହେତୁ, ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ୍ଗୁଡ଼ିକର ଶକ୍ତି ହ୍ରାସ ପାଏ। ୱର୍କପିସ୍ରେ ପହଞ୍ଚିବା ପରେ, ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରଭାବ ଜମା ପ୍ରଭାବ ଅପେକ୍ଷା କମ୍ ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ କଠିନ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତିକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ୱର୍କପିସ୍ରେ ଏକ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଟ୍ରାଞ୍ଜିସନ୍ ସ୍ତର ଗଠିତ ହୁଏ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ୱର୍କପିସ୍କୁ ଗରମ କରିବାର ପ୍ରକ୍ରିୟା ମଧ୍ୟ। ଯେତେବେଳେ ଶୁଦ୍ଧ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଲକ୍ଷ୍ୟ ନିର୍ଗତ ହୁଏ, ପ୍ଲାଜମାରେ ଆଲୋକ ନୀଳ ରଙ୍ଗର ହୋଇଥାଏ।
୧.ଆମୋନିଏଟେଡ୍ ପାତ୍ର କଠିନ ଫିଲ୍ମ ଆବରଣ
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଡିଗ୍ରୀକୁ 3×10 ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ କରନ୍ତୁ।-1-5Pa, workpiece ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜକୁ 100-200V ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ କରନ୍ତୁ, ଏବଂ ପଲ୍ସ ବାୟାସ୍ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏର ଡ୍ୟୁଟି ଚକ୍ରକୁ 70% ~ 80% ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ କରନ୍ତୁ। ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ପ୍ରବର୍ତ୍ତନ ହେବା ପରେ, ଟାଇଟାନିୟମ୍ ହେଉଛି ଆର୍କ ଡିସଚାର୍ଜ ପ୍ଲାଜ୍ମା ସହିତ ମିଶ୍ରଣ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଯାହା ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ କଠିନ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରେ। ଏହି ସମୟରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ପ୍ଲାଜ୍ମାର ଆଲୋକ ଚେରି ଲାଲ। ଯଦି C2H2, ଓ2, ଇତ୍ୟାଦି ପ୍ରଚଳନ କରାଯାଇଛି, TiCN, TiO2, ଇତ୍ୟାଦି ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ପାଇପାରିବେ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ଗୁଆଙ୍ଗଡୋଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା, ଜଣେଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍-୦୧-୨୦୨୩