Prosessen med ionbelegg med liten lysbuekilde

Prosessen med katodisk ionebelegg med lysbuekilde er i utgangspunktet den samme som andre beleggteknologier, og noen operasjoner som montering av arbeidsstykker og støvsuging gjentas ikke lenger.

1. Bombardementrengjøring av arbeidsstykker

Før belegg føres argongass inn i beleggkammeret med et vakuum på 2 × 10⁻² Pa.

Slå på pulsforspenningsstrømforsyningen, med en driftssyklus på 20 % og en arbeidsstykkeforspenning på 800–1000 V.

Når lysbuen slås på, genereres en kaldfeltlysbueutladning, som sender ut en stor mengde elektronstrøm og titanionstrøm fra lysbuekilden, og danner et plasma med høy tetthet. Titanionet akselererer injeksjonen i arbeidsstykket under det negative høye forspenningstrykket som påføres arbeidsstykket, og bombarderer og sputterer restgassen og forurensningene som er adsorbert på overflaten av arbeidsstykket, og renser og renser overflaten av arbeidsstykket. Samtidig ioniseres klorgassen i beleggkammeret av elektroner, og argonioner akselererer bombardementet av arbeidsstykkets overflate.

Derfor er bombardementsrengjøringseffekten god. Bare omtrent 1 minutt med bombardementsrengjøring kan rengjøre arbeidsstykket, som kalles «hovedbuebombardement». På grunn av den høye massen av titanioner, hvis en liten buekilde brukes til å bombardere og rengjøre arbeidsstykket for lenge, er temperaturen på arbeidsstykket utsatt for overoppheting, og verktøykanten kan bli myk. I generell produksjon slås små buekilder på én etter én fra topp til bunn, og hver liten buekilde har en bombardementsrengjøringstid på omtrent 1 minutt.

(1) Belegg av titanbunnlaget

For å forbedre adhesjonen mellom filmen og substratet, belegges vanligvis et lag med rent titansubstrat før belegg av titannitrid. Juster vakuumnivået til 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, juster arbeidsstykkets forspenning til 400-500 V, og juster driftssyklusen til pulsforspenningsstrømforsyningen til 40 % ~ 50 %. Fortsett å tenne små lysbuekilder én etter én for å generere kaldfeltlysbueutladning. På grunn av reduksjonen i arbeidsstykkets negative forspenning, reduseres energien til titanioner. Etter å ha nådd arbeidsstykket, er sputteringseffekten mindre enn avsetningseffekten, og et titanovergangslag dannes på arbeidsstykket for å forbedre bindingskraften mellom titannitrid-hardfilmlaget og substratet. Denne prosessen er også prosessen med å varme opp arbeidsstykket. Når det rene titanmålet utlades, er lyset i plasmaet azurblått.

1. Ammoniakholdig bolle med hard filmbelegg

Juster vakuumgraden til 3×10^-1-5 Pa, juster arbeidsstykkets forspenning til 100–200 V, og juster driftssyklusen til pulsforspenningsstrømforsyningen til 70 %–80 %. Etter at nitrogen er tilført, reagerer titan i kombinasjon med lysbueutladningsplasmaet for å avsette en hard titannitridfilm. På dette tidspunktet er lyset fra plasmaet i vakuumkammeret kirsebærrødt. Hvis C₂H₂, Å₂osv. introduseres, TiCN, TiO₂osv. filmlag kan oppnås.

–Denne artikkelen ble publisert av Guangdong Zhenhua, enprodusent av vakuumbeleggsmaskiner