HFCVD0606

Vakuumbeleggkammeret i kjemisk dampavsetningsutstyr bruker en uavhengig dobbeltlags vannkjølingsstruktur, som er effektiv og jevn i kjøling, og har en sikker og stabil struktur. Utstyret er designet med doble dører, flere observasjonsvinduer og flere utvidelsesgrensesnitt, noe som er praktisk for ekstern tilkobling av tilleggsutstyr som infrarød temperaturmåling, spektralanalyse, videoovervåking og termoelement. Det avanserte designkonseptet gjør daglig overhaling og vedlikehold, konfigurasjonsendring og oppgradering av utstyret enkelt og greit, og reduserer effektivt bruks- og oppgraderingskostnader.

Utstyrsfunksjoner:

1. Utstyrets oppblåsningskomponenter omfatter hovedsakelig massestrømningsmåler, magnetventil og gassblandingstank, som sikrer nøyaktig kontroll av prosessgasstrømmen, jevn blanding og sikker isolering av forskjellige gasser, og kan velge gassystemkomponenter for bruk av flytende gasskilde, legge til rette for personlig valg av et bredt spekter av flytende karbonkilder og sikker bruk av syntetisk ledende diamant og elektrodebaserte flytende borkilder.
2. Luftavtrekksenheten er utstyrt med en stillegående og effektiv roterende lamellvakuumpumpe og et turbomolekylært pumpesystem som raskt kan håndtere høyvakuumbakgrunnsmiljøet. Komposittvakuummåleren med motstandsmåler og ioniseringsmåler brukes til vakuummåling, samt det kapasitive filmmålersystemet som kan måle trykket til forskjellige prosessgasser i et bredt område. Avsetningstrykket styres helautomatisk av en høypresisjons proporsjonal kontrollventil.
3. Kjølevannskomponenten er utstyrt med flerkanals vanntrykk-, strømnings-, temperaturmåling og programvarebasert automatisk overvåking. Ulike kjølekomponenter er uavhengige av hverandre, noe som er praktisk for rask feildiagnose. Alle grener har uavhengige ventilbrytere, noe som er trygt og effektivt.
4. De elektriske kontrollkomponentene bruker en stor LCD-skjerm med menneske-maskin-grensesnitt og samarbeider med PLS-helautomatisk kontroll for å forenkle redigering og import av prosessformler. Den grafiske kurven viser visuelt endringer og verdier for ulike parametere, og utstyrs- og prosessparametrene registreres og arkiveres automatisk for å forenkle problemsporing og statistisk dataanalyse.
5. Arbeidsstykkestativet er utstyrt med en servomotor for å styre løfting og senking av substratbordet. Underlagsbordet kan velges i grafitt eller rødt kobber. Temperaturen måles med et termoelement.
6. Rackkomponentene kan utformes som en helhet eller separat i henhold til kundens krav for å møte kundenes spesielle håndteringskrav.
7. Tetningsplatenes komponenter er vakre og elegante. Tetningsplatene i ulike funksjonelle modulområder på utstyret kan raskt demonteres eller åpnes og lukkes uavhengig, noe som er veldig praktisk å bruke.

Varmfilament CVD-utstyr er egnet for avsetning av diamantmaterialer, inkludert tynnfilmbelegg, selvbærende tykkfilm, mikrokrystallinsk og nanokrystallinsk diamant, ledende diamant, etc. Det brukes hovedsakelig til slitesterkt beskyttende belegg av sementerte karbidskjæreverktøy, halvledermaterialer som silisium og silisiumkarbid, varmeavledningsbelegg av enheter, bor-dopet ledende diamantelektrode, ozondesinfeksjon av elektrolytisk vann eller kloakkbehandling.