Het proces van kathodische boogbron-ioncoating is in principe hetzelfde als andere coatingtechnologieën. Sommige bewerkingen, zoals het installeren van werkstukken en het stofzuigen, worden niet meer herhaald.
1.Bombardementreiniging van werkstukken
Voor het coaten wordt argongas in de coatingkamer gebracht met een vacuüm van 2×10-2Pa.
Schakel de pulsvoeding in, met een duty cycle van 20% en een werkstukvoorspanning van 800-1000 V.
Wanneer de boogspanning wordt ingeschakeld, wordt een koudeveldbooglichtontlading gegenereerd, die een grote hoeveelheid elektronenstroom en titaniumionenstroom vanuit de boogbron uitzendt, waardoor een plasma met hoge dichtheid ontstaat. De titaniumionen versnellen hun injectie in het werkstuk onder de negatieve hoge voorspanning die op het werkstuk wordt uitgeoefend, waardoor het resterende gas en de aan het werkstukoppervlak geadsorbeerde verontreinigende stoffen worden gebombardeerd en gesputterd, en het werkstukoppervlak wordt gereinigd en gezuiverd. Tegelijkertijd wordt het chloorgas in de coatingkamer geïoniseerd door elektronen, en versnellen argonionen het bombardement op het werkstukoppervlak.
Daarom is het effect van bombardementreiniging goed. Slechts ongeveer 1 minuut bombardementreiniging kan het werkstuk reinigen, wat "hoofdboogbombardement" wordt genoemd. Door de hoge massa titaniumionen kan het werkstuk oververhit raken als een kleine boogbron te lang wordt gebruikt om het werkstuk te bombarderen en te reinigen, en kan de snijkant zacht worden. In de productie worden kleine boogbronnen één voor één van boven naar beneden ingeschakeld, en elke kleine boogbron heeft een bombardementreinigingstijd van ongeveer 1 minuut.
(1) Coating van de onderste laag van titanium
Om de hechting tussen de film en het substraat te verbeteren, wordt meestal een laag puur titaniumsubstraat gecoat voordat titaniumnitride wordt gecoat. Stel het vacuümniveau in op 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, stel de werkstukvoorspanning in op 400-500 V en stel de duty cycle van de pulsvoorspanningsvoeding in op 40% ~ 50%. Ontsteek nog steeds kleine boogbronnen één voor één om een koudeveldboogontlading te genereren. Door de afname van de negatieve voorspanning van het werkstuk neemt de energie van titaniumionen af. Nadat het werkstuk is bereikt, is het sputtereffect minder dan het depositie-effect, en wordt een titaniumovergangslaag op het werkstuk gevormd om de bindingskracht tussen de harde titaniumnitridefilmlaag en het substraat te verbeteren. Dit proces is tevens het proces van het verwarmen van het werkstuk. Wanneer het zuivere titaniumdoel wordt ontladen, is het licht in het plasma azuurblauw.
1.Ammoniated bowl harde filmcoating
Stel de vacuümgraad in op 3×10-1-5 Pa, stel de werkstukvoorspanning in op 100-200 V en stel de duty cycle van de pulsvoeding in op 70%~80%. Nadat stikstof is toegevoegd, reageert titanium met het boogontladingsplasma om een harde titanium nitridefilm af te zetten. Op dit punt is het licht van het plasma in de vacuümkamer kersenrood. Als C2H2, O2, enz. worden geïntroduceerd, TiCN, TiO2, enz. kunnen filmlagen worden verkregen.
–Dit artikel is gepubliceerd door Guangdong Zhenhua, eenfabrikant van vacuümcoatingmachines
Plaatsingstijd: 1 juni 2023