HFCVD0606

De vacuümcoatingkamer van de apparatuur voor chemische dampdepositie maakt gebruik van een onafhankelijke dubbellaagse waterkoelingsstructuur, die efficiënt en gelijkmatig koelt en een veilige en stabiele structuur heeft. De apparatuur is ontworpen met dubbele deuren, meerdere observatievensters en meerdere uitbreidingsinterfaces, wat handig is voor externe aansluiting van randapparatuur zoals infraroodtemperatuurmeting, spectrale analyse, videobewaking en thermokoppels. Het geavanceerde ontwerpconcept maakt dagelijkse revisie en onderhoud, configuratiewijzigingen en upgrades van de apparatuur eenvoudig en effectief, en verlaagt effectief de gebruiks- en upgradekosten.

Uitrustingskenmerken:

1. De inflatiecomponenten van de apparatuur omvatten voornamelijk een massastroommeter, een magneetventiel en een gasmengtank. Deze garanderen een nauwkeurige regeling van de procesgasstroom, een gelijkmatige menging en veilige isolatie van verschillende gassen. Ze kunnen gassysteemcomponenten selecteren voor het gebruik van vloeibare gasbronnen, de gepersonaliseerde selectie van een breed scala aan vloeibare koolstofbronnen vergemakkelijken en het veilige gebruik van synthetische geleidende diamant- en elektrodevloeibare boorbronnen.
2. De luchtafzuiginstallatie is uitgerust met een stille en efficiënte draaischuifvacuümpomp en een turbomoleculair pompsysteem dat snel kan voldoen aan de hoge vacuümomgeving. De composiet vacuümmeter met weerstandsmeter en ionisatiemeter wordt gebruikt voor vacuümmeting, evenals het capacitieve filmmeetsysteem dat de druk van verschillende procesgassen binnen een breed bereik kan meten. De depositiedruk wordt volledig automatisch geregeld door een uiterst nauwkeurige proportionele regelklep.
3. De koelwatercomponent is uitgerust met meerkanaals waterdruk-, flow- en temperatuurmeting en automatische softwarebewaking. De verschillende koelcomponenten werken onafhankelijk van elkaar, wat handig is voor een snelle storingsdiagnose. Alle aftakkingen zijn voorzien van onafhankelijke klepschakelaars, wat veilig en efficiënt is.
4. De elektrische besturingscomponenten zijn voorzien van een groot LCD-scherm met mens-machine-interface en werken samen met de volledig automatische PLC-besturing om het bewerken en importeren van procesformules te vergemakkelijken. De grafische curve geeft de wijzigingen en waarden van verschillende parameters visueel weer, en de apparatuur- en procesparameters worden automatisch geregistreerd en gearchiveerd om probleemopsporing en statistische analyse van gegevens te vergemakkelijken.
5. Het werkstukrek is uitgerust met een servomotor om het heffen en laten zakken van de substraattafel te regelen. Er kan gekozen worden voor een substraattafel van grafiet of rood koper. De temperatuur wordt gemeten met een thermokoppel.
6. De rekcomponenten kunnen als geheel of afzonderlijk worden ontworpen volgens de vereisten van de klant om te voldoen aan de speciale verwerkingsvereisten van de klant.
7. De componenten van de afdichtplaat zijn mooi en elegant. De afdichtplaten in de verschillende functionele modulegebieden van de apparatuur kunnen snel worden gedemonteerd of onafhankelijk van elkaar worden geopend en gesloten, wat zeer gebruiksvriendelijk is.

CVD-apparatuur met warm filament is geschikt voor het afzetten van diamantmaterialen, waaronder dunnefilmcoating, zelfdragende dikkefilm, microkristallijne en nanokristallijne diamant, geleidende diamant, enz. Het wordt voornamelijk gebruikt voor slijtvaste beschermende coating van hardmetalen snijgereedschappen, halfgeleidermaterialen zoals silicium en siliciumcarbide, warmteafvoerende coating van apparaten, met boor gedoteerde geleidende diamantelektroden, ozondesinfectie van elektrolytwater of rioolwaterzuivering.