क्याथोडिक आर्क सोर्स आयन कोटिंगको प्रक्रिया मूलतः अन्य कोटिंग प्रविधिहरू जस्तै हो, र वर्कपीसहरू स्थापना गर्ने र भ्याकुम गर्ने जस्ता केही कार्यहरू अब दोहोरिने छैनन्।
१. वर्कपीसहरूको बमबारी सफाई
कोटिंग गर्नु अघि, आर्गन ग्यास २×१०-२Pa को भ्याकुमको साथ कोटिंग चेम्बरमा प्रवेश गरिन्छ।
२०% को ड्युटी साइकल र ८००-१०००V को वर्कपीस बायसको साथ पल्स बायस पावर सप्लाई खोल्नुहोस्।
जब आर्क पावर अन गरिन्छ, एक चिसो क्षेत्र आर्क लाइट डिस्चार्ज उत्पन्न हुन्छ, जसले आर्क स्रोतबाट ठूलो मात्रामा इलेक्ट्रोन करेन्ट र टाइटेनियम आयन करेन्ट उत्सर्जन गर्दछ, जसले उच्च-घनत्व प्लाज्मा बनाउँछ। टाइटेनियम आयनले वर्कपीसमा लागू गरिएको नकारात्मक उच्च पूर्वाग्रह दबाब अन्तर्गत वर्कपीसमा आफ्नो इन्जेक्सनलाई गति दिन्छ, वर्कपीसको सतहमा सोसिएका अवशिष्ट ग्यास र प्रदूषकहरूलाई बमबारी र स्पटर गर्दछ, र वर्कपीसको सतह सफा र शुद्ध गर्दछ; एकै समयमा, कोटिंग चेम्बरमा क्लोरीन ग्यास इलेक्ट्रोनहरू द्वारा आयनीकृत हुन्छ, र आर्गन आयनहरूले वर्कपीस सतहको बमबारीलाई गति दिन्छ।
त्यसकारण, बमबारी सफाई प्रभाव राम्रो छ। बमबारी सफाईको लगभग १ मिनेट मात्र वर्कपीस सफा गर्न सकिन्छ, जसलाई "मुख्य चाप बमबारी" भनिन्छ। टाइटेनियम आयनहरूको उच्च द्रव्यमानको कारण, यदि सानो चाप स्रोतलाई धेरै लामो समयसम्म बमबारी गर्न र वर्कपीस सफा गर्न प्रयोग गरिन्छ भने, वर्कपीसको तापक्रम अत्यधिक तातो हुने सम्भावना हुन्छ, र उपकरणको किनारा नरम हुन सक्छ। सामान्य उत्पादनमा, साना चाप स्रोतहरू माथिदेखि तलसम्म एक-एक गरी सक्रिय हुन्छन्, र प्रत्येक सानो चाप स्रोतको बमबारी सफाई समय लगभग १ मिनेट हुन्छ।
(१) टाइटेनियमको तल्लो तह कोटिंग
फिल्म र सब्सट्रेट बीचको आसंजन सुधार गर्न, टाइटेनियम नाइट्राइड कोटिंग गर्नु अघि शुद्ध टाइटेनियम सब्सट्रेटको तह सामान्यतया लेपित गरिन्छ। भ्याकुम स्तर 5×10-2-3×10-1Pa मा समायोजन गर्नुहोस्, वर्कपीस बायस भोल्टेज 400-500V मा समायोजन गर्नुहोस्, र पल्स बायस पावर सप्लाईको कर्तव्य चक्र 40%~50% मा समायोजन गर्नुहोस्। अझै पनि चिसो क्षेत्र आर्किङ डिस्चार्ज उत्पन्न गर्न साना चाप स्रोतहरू एक-एक गरेर प्रज्वलित गर्दै। वर्कपीसको नकारात्मक बायस भोल्टेजमा कमीको कारण, टाइटेनियम आयनहरूको ऊर्जा घट्छ। वर्कपीसमा पुगेपछि, स्पटरिंग प्रभाव निक्षेप प्रभाव भन्दा कम हुन्छ, र टाइटेनियम नाइट्राइड हार्ड फिल्म तह र सब्सट्रेट बीचको बन्धन बल सुधार गर्न वर्कपीसमा टाइटेनियम संक्रमण तह बनाइन्छ। यो प्रक्रिया वर्कपीसलाई तताउने प्रक्रिया पनि हो। जब शुद्ध टाइटेनियम लक्ष्य डिस्चार्ज हुन्छ, प्लाज्मामा प्रकाश नीला नीलो हुन्छ।
१. एमोनिएटेड बाउल हार्ड फिल्म कोटिंग
भ्याकुम डिग्री ३×१० मा समायोजन गर्नुहोस्-1-५ पा, वर्कपीस बायस भोल्टेजलाई १००-२००V मा समायोजन गर्नुहोस्, र पल्स बायस पावर सप्लाईको ड्युटी साइकललाई ७०%~८०% मा समायोजन गर्नुहोस्। नाइट्रोजन परिचय गरिसकेपछि, टाइटेनियम आर्क डिस्चार्ज प्लाज्मासँग संयोजन प्रतिक्रिया हो जसले टाइटेनियम नाइट्राइड हार्ड फिल्म जम्मा गर्छ। यस बिन्दुमा, भ्याकुम चेम्बरमा प्लाज्माको प्रकाश चेरी रातो हुन्छ। यदि C2H2, ओ2, आदि प्रस्तुत गरिएका छन्, TiCN, TiO2, आदि फिल्म तहहरू प्राप्त गर्न सकिन्छ।
- यो लेख ग्वाङडोङ झेन्हुआ द्वारा प्रकाशित गरिएको थियो, एकभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्माता
पोस्ट समय: जुन-०१-२०२३