Il-Proċess ta' Kisi ta' Jonju b'Sors ta' Ark Żgħir

Il-proċess tal-kisi tal-jone tas-sors tal-ark katodiku huwa bażikament l-istess bħal teknoloġiji oħra tal-kisi, u xi operazzjonijiet bħall-installazzjoni tal-biċċiet tax-xogħol u l-vacuum cleaner m'għadhomx jiġu ripetuti.

1. Tindif bil-bombardament tal-biċċiet tax-xogħol

Qabel il-kisi, il-gass tal-argon jiġi introdott fil-kompartiment tal-kisi b'vakwu ta' 2×10-2Pa.

Ixgħel il-provvista tal-enerġija tal-polarizzazzjoni tal-polz, b'ċiklu ta' dazju ta' 20% u polarizzazzjoni tal-biċċa tax-xogħol ta' 800-1000V.

Meta l-qawwa tal-ark tinxtegħel, tiġi ġġenerata skarika tad-dawl tal-ark ta' kamp kiesaħ, li temetti ammont kbir ta' kurrent elettroniku u kurrent ta' joni tat-titanju mis-sors tal-ark, u tifforma plażma ta' densità għolja. Il-jone tat-titanju jaċċelera l-injezzjoni tiegħu fil-biċċa tax-xogħol taħt il-pressjoni negattiva għolja applikata fuq il-biċċa tax-xogħol, billi jibbombardja u jxerred il-gass residwu u t-tniġġis assorbiti fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol, u jnaddaf u jippurifika l-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol; Fl-istess ħin, il-gass tal-kloru fil-kompartiment tal-kisi jiġi jonizzat mill-elettroni, u l-joni tal-argon jaċċeleraw il-bumbardament tal-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol.

Għalhekk, l-effett tat-tindif bil-bumbardament huwa tajjeb. Madwar minuta biss ta' tindif bil-bumbardament jista' jnaddaf il-biċċa tax-xogħol, li jissejjaħ "bumbardament bl-ark prinċipali". Minħabba l-massa għolja ta' joni tat-titanju, jekk tintuża sors ta' ark żgħir biex tibbumbardja u tnaddaf il-biċċa tax-xogħol għal żmien twil wisq, it-temperatura tal-biċċa tax-xogħol hija suxxettibbli għal sħana żejda, u t-tarf tal-għodda jista' jsir artab. Fil-produzzjoni ġenerali, sorsi ta' ark żgħar jinxtegħlu wieħed wieħed minn fuq għal isfel, u kull sors ta' ark żgħir għandu ħin ta' tindif bil-bumbardament ta' madwar minuta.

(1) Kisi tas-saff t'isfel tat-titanju

Sabiex tittejjeb l-adeżjoni bejn il-film u s-sottostrat, ġeneralment ikun miksi b'saff ta' sottostrat tat-titanju pur qabel ma jkun miksi bin-nitrur tat-titanju. Aġġusta l-livell tal-vakwu għal 5×10-2-3×10-1Pa, aġġusta l-vultaġġ tal-polarizzazzjoni tal-biċċa tax-xogħol għal 400-500V, u aġġusta ċ-ċiklu tad-dazju tal-provvista tal-enerġija tal-polarizzazzjoni tal-polz għal 40%~50%. Xorta waħda, ixgħel sorsi żgħar ta' ark wieħed wieħed biex jiġġenera skariku ta' ark f'kamp kiesaħ. Minħabba t-tnaqqis fil-vultaġġ tal-polarizzazzjoni negattiva tal-biċċa tax-xogħol, l-enerġija tal-joni tat-titanju tonqos. Wara li jilħqu l-biċċa tax-xogħol, l-effett ta' sputtering huwa inqas mill-effett ta' depożizzjoni, u jiġi ffurmat saff ta' transizzjoni tat-titanju fuq il-biċċa tax-xogħol biex tittejjeb il-forza ta' twaħħil bejn is-saff tal-film iebes tan-nitrur tat-titanju u s-sottostrat. Dan il-proċess huwa wkoll il-proċess tat-tisħin tal-biċċa tax-xogħol. Meta l-mira tat-titanju pur tiġi skarikata, id-dawl fil-plażma jkun blu ċelesti.

1. Kisi ta' film iebes tal-iskutella ammonjata

Aġġusta l-grad tal-vakwu għal 3 × 10^-1-5Pa, aġġusta l-vultaġġ tal-polarizzazzjoni tal-biċċa tax-xogħol għal 100-200V, u aġġusta ċ-ċiklu tad-dazju tal-provvista tal-enerġija tal-polarizzazzjoni tal-polz għal 70% ~ 80%. Wara li jiddaħħal in-nitroġenu, it-titanju jirreaġixxi flimkien mal-plażma ta' skariku bl-ark biex jiddepożita film iebes tan-nitrid tat-titanju. F'dan il-punt, id-dawl tal-plażma fil-kamra tal-vakwu jkun aħmar ċar. Jekk C₂H₂, O₂, eċċ. jiġu introdotti, TiCN, TiO₂, eċċ. jistgħu jinkisbu saffi ta' film.

–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minn Guangdong Zhenhua, amanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwu