HFCVD0606

Il-kamra tal-kisi bil-vakwu tat-tagħmir tad-depożizzjoni tal-fwar kimiku tadotta struttura indipendenti ta' tkessiħ bl-ilma b'saff doppju, li hija effiċjenti u uniformi fit-tkessiħ, u għandha struttura sikura u stabbli. It-tagħmir huwa ddisinjat b'bibien doppji, twieqi multipli ta' osservazzjoni u interfaces multipli ta' espansjoni, li huwa konvenjenti għall-konnessjoni esterna ta' periferali awżiljarji bħal kejl tat-temperatura infra-aħmar, analiżi spettrali, monitoraġġ tal-vidjo u termokoppja. Il-kunċett avvanzat tad-disinn jagħmel ir-reviżjoni u l-manutenzjoni ta' kuljum, il-bidla fil-konfigurazzjoni u l-aġġornament tat-tagħmir faċli u sempliċi, u jnaqqas b'mod effettiv l-ispejjeż tal-użu u l-aġġornament.

Karatteristiċi tat-tagħmir:

1. Il-komponenti tal-inflazzjoni tat-tagħmir jinkludu prinċipalment miter tal-fluss tal-massa, valv tas-solenojd u tank tat-taħlit tal-gass, li jiżguraw il-kontroll preċiż tal-fluss tal-gass tal-proċess, taħlit uniformi u iżolament sikur ta' gassijiet differenti, u jistgħu jagħżlu komponenti tas-sistema tal-gass għall-użu ta' sors ta' gass likwidu, jiffaċilitaw l-għażla personalizzata ta' firxa wiesgħa ta' sorsi ta' karbonju likwidu, u l-użu sikur ta' sorsi ta' djamant konduttiv sintetiku u boron likwidu tal-elettrodu.
2. L-assemblaġġ tal-estrazzjoni tal-arja huwa mgħammar b'pompa tal-vakwu rotatorja siekta u effiċjenti u sistema ta' pompa molekulari turbo li tista' tissodisfa malajr l-ambjent tal-isfond ta' vakwu għoli. Il-gauge tal-vakwu kompost b'gauge tar-reżistenza u gauge tal-jonizzazzjoni jintuża għall-kejl tal-vakwu, kif ukoll is-sistema ta' gauge tal-film kapaċittiv li tista' tkejjel il-pressjoni ta' gassijiet tal-proċess differenti f'firxa wiesgħa. Il-pressjoni tad-depożizzjoni hija kkontrollata kompletament awtomatikament minn valv ta' kontroll proporzjonali ta' preċiżjoni għolja.
3. Il-komponent tal-ilma tat-tkessiħ huwa mgħammar b'kejl tal-pressjoni tal-ilma, tal-fluss, tat-temperatura u monitoraġġ awtomatiku tas-softwer b'ħafna kanali. Komponenti differenti tat-tkessiħ huma indipendenti minn xulxin, li huwa konvenjenti għal dijanjosi rapida tal-ħsarat. Il-fergħat kollha għandhom swiċċijiet tal-valv indipendenti, li huwa sikur u effiċjenti.
4. Il-komponenti tal-kontroll elettriku jadottaw skrin LCD b'interfaċċja bniedem-magna ta' daqs kbir u jikkooperaw mal-kontroll awtomatiku sħiħ tal-PLC biex jiffaċilitaw l-editjar u l-importazzjoni tal-formula tal-proċess. Il-kurva grafika turi viżwalment il-bidliet u l-valuri ta' diversi parametri, u t-tagħmir u l-parametri tal-proċess jiġu rreġistrati u arkivjati awtomatikament biex jiffaċilitaw it-traċċar tal-problemi u l-analiżi statistika tad-dejta.
5. L-ixkaffa tal-biċċa tax-xogħol hija mgħammra b'mutur servo biex tikkontrolla l-irfigħ u t-tniżżil tal-mejda tas-sottostrat. Tista' tintgħażel il-mejda tas-sottostrat tal-grafita jew tar-ram aħmar. It-temperatura titkejjel permezz ta' termokoppja.
6. Il-komponenti tar-rack jistgħu jiġu ddisinjati bħala ħaġa waħda jew separatament skont ir-rekwiżiti tal-klijent biex jissodisfaw ir-rekwiżiti speċjali tal-immaniġġjar tal-klijenti.
7. Il-komponenti tal-pjanċa tas-siġillar huma sbieħ u eleganti. Il-pjanċi tas-siġillar f'żoni differenti tal-moduli funzjonali tat-tagħmir jistgħu jiġu żarmati malajr jew jinfetħu u jingħalqu b'mod indipendenti, li huwa konvenjenti ħafna biex tużah.

Tagħmir CVD b'filament sħun huwa adattat għad-depożitu ta' materjali tad-djamanti, inkluż kisi ta' film irqiq, film oħxon awtosuffiċjenti, djamant mikrokristallin u nanokristallin, djamant konduttiv, eċċ. Jintuża prinċipalment għal kisi protettiv reżistenti għall-ilbies ta' għodod tat-tqattigħ tal-karbur tas-siment, materjali semikondutturi bħas-silikon u l-karbur tas-silikon, kisi ta' dissipazzjoni tas-sħana ta' apparati, elettrodu tad-djamanti konduttiv iddoppjat bil-boron, diżinfezzjoni tal-ożonu ta' ilma elettrolitiku jew trattament tad-drenaġġ.