कॅथोडिक आर्क सोर्स आयन कोटिंगची प्रक्रिया मुळात इतर कोटिंग तंत्रज्ञानासारखीच असते आणि वर्कपीस बसवणे आणि व्हॅक्यूमिंग यासारख्या काही ऑपरेशन्स आता पुनरावृत्ती होत नाहीत.
१. वर्कपीसची बॉम्बस्फोट साफसफाई
कोटिंग करण्यापूर्वी, आर्गॉन वायू 2×10-2Pa च्या व्हॅक्यूमसह कोटिंग चेंबरमध्ये आणला जातो.
२०% ड्युटी सायकल आणि ८००-१०००V वर्कपीस बायससह पल्स बायस पॉवर सप्लाय चालू करा.
जेव्हा आर्क पॉवर चालू केली जाते, तेव्हा एक कोल्ड फील्ड आर्क लाईट डिस्चार्ज तयार होतो, जो आर्क सोर्समधून मोठ्या प्रमाणात इलेक्ट्रॉन करंट आणि टायटॅनियम आयन करंट उत्सर्जित करतो, ज्यामुळे उच्च-घनता प्लाझ्मा तयार होतो. टायटॅनियम आयन वर्कपीसवर लागू केलेल्या नकारात्मक उच्च बायस प्रेशर अंतर्गत वर्कपीसमध्ये त्याचे इंजेक्शन वेगवान करते, वर्कपीसच्या पृष्ठभागावर शोषलेल्या अवशिष्ट वायू आणि प्रदूषकांवर बॉम्बफेक करते आणि स्पटर करते आणि वर्कपीसची पृष्ठभाग स्वच्छ आणि शुद्ध करते; त्याच वेळी, कोटिंग चेंबरमधील क्लोरीन वायू इलेक्ट्रॉनद्वारे आयनीकृत केला जातो आणि आर्गॉन आयन वर्कपीस पृष्ठभागावर बॉम्बफेकीला गती देतात.
म्हणून, बॉम्बार्डमेंट क्लीनिंग इफेक्ट चांगला आहे. फक्त १ मिनिटाच्या बॉम्बार्डमेंट क्लीनिंगमुळे वर्कपीस साफ करता येते, ज्याला "मेन आर्क बॉम्बार्डमेंट" म्हणतात. टायटॅनियम आयनच्या उच्च वस्तुमानामुळे, जर वर्कपीसवर बॉम्बार्डिंग आणि जास्त वेळ साफ करण्यासाठी लहान आर्क सोर्सचा वापर केला गेला तर वर्कपीसचे तापमान जास्त गरम होण्याची शक्यता असते आणि टूल एज मऊ होऊ शकते. सामान्य उत्पादनात, लहान आर्क सोर्स वरपासून खालपर्यंत एक-एक करून चालू केले जातात आणि प्रत्येक लहान आर्क सोर्समध्ये बॉम्बार्डमेंट क्लीनिंगचा वेळ सुमारे १ मिनिट असतो.
(१) टायटॅनियम तळाचा थर कोटिंग करणे
फिल्म आणि सब्सट्रेटमधील आसंजन सुधारण्यासाठी, टायटॅनियम नायट्राइड कोटिंग करण्यापूर्वी शुद्ध टायटॅनियम सब्सट्रेटचा थर सहसा लेपित केला जातो. व्हॅक्यूम पातळी 5×10-2-3×10-1Pa वर समायोजित करा, वर्कपीस बायस व्होल्टेज 400-500V वर समायोजित करा आणि पल्स बायस पॉवर सप्लायचे ड्युटी सायकल 40%~50% वर समायोजित करा. तरीही कोल्ड फील्ड आर्किंग डिस्चार्ज निर्माण करण्यासाठी लहान आर्क स्रोतांना एक-एक करून प्रज्वलित करणे. वर्कपीसच्या नकारात्मक बायस व्होल्टेजमध्ये घट झाल्यामुळे, टायटॅनियम आयनची ऊर्जा कमी होते. वर्कपीसवर पोहोचल्यानंतर, स्पटरिंग इफेक्ट डिपॉझिशन इफेक्टपेक्षा कमी असतो आणि टायटॅनियम नायट्राइड हार्ड फिल्म लेयर आणि सब्सट्रेटमधील बाँडिंग फोर्स सुधारण्यासाठी वर्कपीसवर टायटॅनियम ट्रान्झिशन लेयर तयार होतो. ही प्रक्रिया वर्कपीस गरम करण्याची प्रक्रिया देखील आहे. जेव्हा शुद्ध टायटॅनियम लक्ष्य डिस्चार्ज केले जाते, तेव्हा प्लाझ्मामधील प्रकाश निळा असतो.
१.अमोनिएटेड बाउल हार्ड फिल्म कोटिंग
व्हॅक्यूम डिग्री 3×10 वर समायोजित करा.-1-5Pa, वर्कपीस बायस व्होल्टेज 100-200V वर समायोजित करा आणि पल्स बायस पॉवर सप्लायचे ड्युटी सायकल 70%~80% वर समायोजित करा. नायट्रोजन सादर केल्यानंतर, टायटॅनियम ही आर्क डिस्चार्ज प्लाझ्मासह एकत्रित प्रतिक्रिया आहे ज्यामुळे टायटॅनियम नायट्राइड हार्ड फिल्म जमा होते. या टप्प्यावर, व्हॅक्यूम चेंबरमधील प्लाझ्माचा प्रकाश चेरी लाल असतो. जर C2H2, ओ2, इत्यादी सादर केले जातात, TiCN, TiO2, इत्यादी फिल्म लेयर्स मिळवता येतात.
- हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ यांनी प्रकाशित केला होता, एव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माता
पोस्ट वेळ: जून-०१-२०२३