കാഥോഡിക് ആർക്ക് സോഴ്സ് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രക്രിയ അടിസ്ഥാനപരമായി മറ്റ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾക്ക് സമാനമാണ്, കൂടാതെ വർക്ക്പീസുകൾ സ്ഥാപിക്കൽ, വാക്വമിംഗ് തുടങ്ങിയ ചില പ്രവർത്തനങ്ങൾ ഇനി ആവർത്തിക്കില്ല.
1. വർക്ക്പീസുകളുടെ ബോംബ് ക്ലിയറിങ്
പൂശുന്നതിനു മുമ്പ്, 2×10-2Pa വാക്വം ഉള്ള പൂശൽ ചേമ്പറിലേക്ക് ആർഗോൺ വാതകം കടത്തിവിടുന്നു.
20% ഡ്യൂട്ടി സൈക്കിളും 800-1000V വർക്ക്പീസ് ബയസും ഉള്ള പൾസ് ബയസ് പവർ സപ്ലൈ ഓണാക്കുക.
ആർക്ക് പവർ ഓണാക്കുമ്പോൾ, ഒരു തണുത്ത ഫീൽഡ് ആർക്ക് ലൈറ്റ് ഡിസ്ചാർജ് സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് ആർക്ക് സ്രോതസ്സിൽ നിന്ന് വലിയ അളവിൽ ഇലക്ട്രോൺ കറന്റും ടൈറ്റാനിയം അയോൺ കറന്റും പുറപ്പെടുവിക്കുകയും ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള പ്ലാസ്മ രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു. വർക്ക്പീസിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന നെഗറ്റീവ് ഹൈ ബയസ് മർദ്ദത്തിൽ ടൈറ്റാനിയം അയോൺ വർക്ക്പീസിലേക്ക് അതിന്റെ കുത്തിവയ്പ്പ് ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു, വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്ന അവശിഷ്ട വാതകത്തെയും മലിനീകരണങ്ങളെയും ബോംബ് ചെയ്യുകയും സ്പൂട്ടർ ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു, വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലം വൃത്തിയാക്കുകയും ശുദ്ധീകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു; അതേ സമയം, കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിലെ ക്ലോറിൻ വാതകം ഇലക്ട്രോണുകളാൽ അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ ആർഗൺ അയോണുകൾ വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലത്തിന്റെ ബോംബ് മെന്റ് ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു.
അതിനാൽ, ബോംബാർഡ്മെന്റ് ക്ലീനിംഗ് ഇഫക്റ്റ് നല്ലതാണ്. ഏകദേശം 1 മിനിറ്റ് ബോംബാർഡ്മെന്റ് ക്ലീനിംഗിന് മാത്രമേ വർക്ക്പീസ് വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയൂ, ഇതിനെ "മെയിൻ ആർക്ക് ബോംബാർഡ്മെന്റ്" എന്ന് വിളിക്കുന്നു. ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളുടെ ഉയർന്ന പിണ്ഡം കാരണം, ഒരു ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിച്ച് വർക്ക്പീസ് വളരെ നേരം ബോംബാർഡ് ചെയ്ത് വൃത്തിയാക്കുകയാണെങ്കിൽ, വർക്ക്പീസിന്റെ താപനില അമിതമായി ചൂടാകാൻ സാധ്യതയുണ്ട്, കൂടാതെ ഉപകരണത്തിന്റെ അഗ്രം മൃദുവായേക്കാം. പൊതു ഉൽപാദനത്തിൽ, ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ മുകളിൽ നിന്ന് താഴേക്ക് ഓരോന്നായി ഓണാക്കുന്നു, കൂടാതെ ഓരോ ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സിനും ഏകദേശം 1 മിനിറ്റ് ബോംബാർഡ്മെന്റ് ക്ലീനിംഗ് സമയമുണ്ട്.
(1) ടൈറ്റാനിയം അടിഭാഗത്തെ പാളി പൂശുന്നു
ഫിലിമിനും സബ്സ്ട്രേറ്റിനും ഇടയിലുള്ള അഡീഷൻ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന്, ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് പൂശുന്നതിന് മുമ്പ് സാധാരണയായി ശുദ്ധമായ ടൈറ്റാനിയം സബ്സ്ട്രേറ്റിന്റെ ഒരു പാളി പൂശുന്നു. വാക്വം ലെവൽ 5×10-2-3×10-1Pa ആയി ക്രമീകരിക്കുക, വർക്ക്പീസ് ബയസ് വോൾട്ടേജ് 400-500V ആയി ക്രമീകരിക്കുക, പൾസ് ബയസ് പവർ സപ്ലൈയുടെ ഡ്യൂട്ടി സൈക്കിൾ 40%~50% ആയി ക്രമീകരിക്കുക. ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ ഓരോന്നായി ജ്വലിപ്പിച്ചുകൊണ്ട് കോൾഡ് ഫീൽഡ് ആർസിംഗ് ഡിസ്ചാർജ് സൃഷ്ടിക്കുന്നു. വർക്ക്പീസിന്റെ നെഗറ്റീവ് ബയസ് വോൾട്ടേജിലെ കുറവ് കാരണം, ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളുടെ ഊർജ്ജം കുറയുന്നു. വർക്ക്പീസിൽ എത്തിയതിനുശേഷം, സ്പട്ടറിംഗ് ഇഫക്റ്റ് ഡിപ്പോസിഷൻ ഇഫക്റ്റിനേക്കാൾ കുറവാണ്, കൂടാതെ ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് ഹാർഡ് ഫിലിം ലെയറും സബ്സ്ട്രേറ്റും തമ്മിലുള്ള ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്സ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് വർക്ക്പീസിൽ ഒരു ടൈറ്റാനിയം ട്രാൻസിഷൻ ലെയർ രൂപം കൊള്ളുന്നു. വർക്ക്പീസ് ചൂടാക്കുന്ന പ്രക്രിയ കൂടിയാണ് ഈ പ്രക്രിയ. ശുദ്ധമായ ടൈറ്റാനിയം ലക്ഷ്യം ഡിസ്ചാർജ് ചെയ്യുമ്പോൾ, പ്ലാസ്മയിലെ പ്രകാശം ആകാശനീല നിറമായിരിക്കും.
1.അമ്മോണിയേറ്റഡ് ബൗൾ ഹാർഡ് ഫിലിം കോട്ടിംഗ്
വാക്വം ഡിഗ്രി 3×10 ആയി ക്രമീകരിക്കുക-1-5Pa, വർക്ക്പീസ് ബയാസ് വോൾട്ടേജ് 100-200V ആയി ക്രമീകരിക്കുക, പൾസ് ബയാസ് പവർ സപ്ലൈയുടെ ഡ്യൂട്ടി സൈക്കിൾ 70%~80% ആയി ക്രമീകരിക്കുക. നൈട്രജൻ ചേർത്തതിനുശേഷം, ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് ഹാർഡ് ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കുന്നതിന് ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് പ്ലാസ്മയുമായുള്ള സംയോജന പ്രതിപ്രവർത്തനമാണ് ടൈറ്റാനിയം. ഈ ഘട്ടത്തിൽ, വാക്വം ചേമ്പറിലെ പ്ലാസ്മയുടെ പ്രകാശം ചെറി ചുവപ്പാണ്. C ആണെങ്കിൽ2H2, ഒ2മുതലായവ അവതരിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു, TiCN, TiO2, മുതലായവ ഫിലിം പാളികൾ ലഭിക്കും.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത് ഗുവാങ്ഡോങ് ഷെൻഹുവ, എ.വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂൺ-01-2023