HFCVD0606

Вакуумската комора за обложување на опремата за хемиско таложење на пареа има независна двослојна структура за ладење со вода, која е ефикасна и униформна во ладењето, и има безбедна и стабилна структура. Опремата е дизајнирана со двојни врати, повеќекратни прозорци за набљудување и повеќекратни интерфејси за проширување, што е погодно за надворешно поврзување на помошни периферни уреди како што се мерење на инфрацрвена температура, спектрална анализа, видео мониторинг и термопар. Напредниот концепт на дизајн го прави секојдневниот ремонт и одржување, промената на конфигурацијата и надградбата на опремата лесна и едноставна, и ефикасно ги намалува трошоците за користење и надградба.

Карактеристики на опремата:

1. Компонентите за надувување на опремата главно вклучуваат мерач на масен проток, соленоиден вентил и резервоар за мешање на гас, кои обезбедуваат прецизна контрола на протокот на процесниот гас, рамномерно мешање и безбедна изолација на различни гасови, и можат да изберат компоненти на гасниот систем за употреба на извор на течен гас, да го олеснат персонализираниот избор на широк спектар на извори на течен јаглерод и безбедната употреба на синтетички спроводливи дијаманти и извори на течен бор со електрода.
2. Склопот за екстракција на воздух е опремен со тивка и ефикасна ротациона вакуум пумпа и турбо молекуларен систем на пумпа што може брзо да се справи со позадинската средина со висок вакуум. За мерење на вакуум се користи композитниот вакуумски мерач со мерач на отпор и јонизационен мерач, како и капацитивниот филмски мерач кој може да го мери притисокот на различни процесни гасови во широк опсег. Притисокот на таложење е целосно автоматски контролиран со високопрецизен пропорционален контролен вентил.
3. Компонентата за вода за ладење е опремена со повеќеканално мерење на притисокот, протокот, температурата на водата и софтверско автоматско следење. Различните компоненти за ладење се независни една од друга, што е погодно за брза дијагноза на дефекти. Сите гранки имаат независни прекинувачи на вентилите, што е безбедно и ефикасно.
4. Електричните контролни компоненти имаат голем LCD екран со интерфејс човек-машина и соработуваат со PLC целосно автоматска контрола за да го олеснат уредувањето и увозот на формулата за процесот. Графичката крива визуелно ги прикажува промените и вредностите на различните параметри, а опремата и параметрите на процесот автоматски се евидентираат и архивираат за да се олесни следењето на проблемите и статистичката анализа на податоците.
5. Решетката за обработување е опремена со серво мотор за контрола на кревањето и спуштањето на подлогата. Може да се избере графитна или црвена бакарна подлога. Температурата се мери со термопар.
6. Компонентите на решетката можат да бидат дизајнирани како целина или одделно според барањата на клиентот за да се задоволат посебните барања за ракување на клиентите.
7. Компонентите на заптивната плоча се убави и елегантни. Заптивните плочи во различни функционални модули на опремата можат брзо да се расклопат или да се отворат и затворат независно, што е многу практично за употреба.

Опремата за CVD со топол филамент е погодна за депонирање на дијамантски материјали, вклучувајќи тенок филмски премази, самоносечки дебел филм, микрокристален и нанокристален дијамант, спроводлив дијамант итн. Главно се користи за заштитен премаз отпорен на абење на алатки за сечење со цементиран карбид, полупроводнички материјали како што се силициум и силициум карбид, премаз за дисипација на топлина на уреди, спроводлива дијамантска електрода допирана со бор, озонска дезинфекција на електролитичка вода или третман на отпадни води.