Maza loka avota jonu pārklāšanas process

Katodiskā loka avota jonu pārklāšanas process būtībā ir tāds pats kā citām pārklāšanas tehnoloģijām, un dažas darbības, piemēram, sagatavju uzstādīšana un putekļsūcējs, vairs netiek atkārtotas.

1. Sagatavju tīrīšana ar bombardēšanu

Pirms pārklāšanas pārklāšanas kamerā ar vakuumu 2×10⁻⁸Pa tiek ievadīta argona gāze.

Ieslēdziet impulsa nobīdes barošanas avotu ar darba ciklu 20% un sagataves nobīdi 800–1000 V.

Ieslēdzot loka barošanu, rodas aukstā lauka loka gaismas izlāde, kas no loka avota izstaro lielu elektronu strāvas un titāna jonu strāvas daudzumu, veidojot augsta blīvuma plazmu. Titāna jons paātrina tā ievadīšanu sagatavē zem negatīva augsta nobīdes spiediena, kas tiek pielikts sagatavei, bombardējot un izsmidzinot atlikušo gāzi un piesārņotājus, kas adsorbēti uz sagataves virsmas, un attīrot un attīrot sagataves virsmu; tajā pašā laikā hlora gāze pārklājuma kamerā tiek jonizēta ar elektroniem, un argona joni paātrina sagataves virsmas bombardēšanu.

Tāpēc apšaudes tīrīšanas efekts ir labs. Apšaudes tīrīšana var notikt tikai ar aptuveni 1 minūti, un to sauc par "galveno loka apšaudi". Titāna jonu lielās masas dēļ, ja apšaudei pārāk ilgi tiek izmantots neliels loka avots, sagataves temperatūra var pārkarst, un instrumenta mala var kļūt mīksta. Vispārējā ražošanā mazie loka avoti tiek ieslēgti pa vienam no augšas uz leju, un katram mazajam loka avotam apšaudes tīrīšanas laiks ir aptuveni 1 minūte.

(1) Titāna apakšējā slāņa pārklājums

Lai uzlabotu plēves un substrāta saķeri, pirms titāna nitrīda uzklāšanas parasti tiek uzklāts tīra titāna substrāta slānis. Vakuuma līmenis tiek noregulēts uz 5 × 10⁻⁷–3 × 10⁻⁷ Pa, sagataves nobīdes spriegums tiek noregulēts uz 400–500 V un impulsa nobīdes barošanas avota darba cikls tiek noregulēts uz 40–50 %. Joprojām pa vienam aizdedzinot mazus loka avotus, rodas aukstā lauka loka izlāde. Sagataves negatīvā nobīdes sprieguma samazināšanās dēļ titāna jonu enerģija samazinās. Pēc sagataves sasniegšanas izsmidzināšanas efekts ir mazāks par nogulsnēšanās efektu, un uz sagataves veidojas titāna pārejas slānis, lai uzlabotu saķeres spēku starp titāna nitrīda cieto plēves slāni un substrātu. Šis process ir arī sagataves sildīšanas process. Kad tīrs titāna mērķis tiek izlādēts, plazmas gaisma ir debeszili zila.

1.Amonjaka bļodas cietās plēves pārklājums

Pielāgojiet vakuuma pakāpi uz 3×10^-1-5 Pa, noregulējiet sagataves nobīdes spriegumu uz 100–200 V un noregulējiet impulsa nobīdes barošanas avota darba ciklu uz 70–80 %. Pēc slāpekļa ievadīšanas titāns kombinēti reaģē ar loka izlādes plazmu, veidojot cietu titāna nitrīda plēvi. Šajā brīdī plazmas gaisma vakuuma kamerā ir ķiršu sarkana. Ja C₂H₂, O₂utt. tiek ieviesti, TiCN, TiO₂utt. var iegūt plēves slāņus.

–Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua, avakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājs