Mažo lanko šaltinio jonų dengimo procesas

Katodinio lanko šaltinio jonų dengimo procesas iš esmės yra toks pat kaip ir kitų dengimo technologijų, o kai kurios operacijos, tokios kaip ruošinių montavimas ir siurbimas, nebekartojamos.

1. Ruošinių valymas bombardavimo būdu

Prieš dengimą į dengimo kamerą, kurios vakuumas yra 2 × 10⁻⁶ Pa, įleidžiamos argono dujos.

Įjunkite impulsinio poslinkio maitinimo šaltinį, kurio darbo ciklas yra 20 %, o ruošinio poslinkis – 800–1000 V.

Įjungus lanko maitinimą, susidaro šaltojo lauko lanko šviesos išlydis, kuris iš lanko šaltinio skleidžia didelę elektronų ir titano jonų srovę, sudarydamas didelio tankio plazmą. Titano jonas pagreitina savo įpurškimą į ruošinį, veikiant dideliam neigiamam slėgiui, bombarduodamas ir išpurškdamas ant ruošinio paviršiaus adsorbuotas likusias dujas ir teršalus, taip išvalydamas ir išgrynindamas ruošinio paviršių; tuo pačiu metu chloro dujos dengimo kameroje jonizuojamos elektronais, o argono jonai pagreitina ruošinio paviršiaus bombardavimą.

Todėl bombardavimo valymo efektas yra geras. Ruošinį galima išvalyti vos per maždaug 1 minutę bombardavimo, tai vadinama „pagrindiniu lanko bombardavimu“. Dėl didelės titano jonų masės, jei per ilgai bombarduojama ir valoma mažu lanko šaltiniu, ruošinys gali perkaisti, o įrankio kraštas gali suminkštėti. Bendroje gamyboje maži lanko šaltiniai įjungiami po vieną iš viršaus į apačią, o kiekvieno mažo lanko šaltinio bombardavimo valymo laikas yra apie 1 minutę.

(1) Titano apatinio sluoksnio danga

Siekiant pagerinti plėvelės ir pagrindo sukibimą, prieš padengiant titano nitridu, paprastai padengiamas gryno titano pagrindo sluoksnis. Vakuumo lygis nustatomas iki 5 × 10⁻⁷–3 × 10⁻⁷ Pa, ruošinio poslinkio įtampa nustatoma iki 400–500 V, o impulsinio poslinkio maitinimo šaltinio darbo ciklas nustatomas iki 40–50 %. Vis tiek po vieną uždegami maži lanko šaltiniai, kad susidarytų šaltojo lauko lanko išlydis. Dėl ruošinio neigiamos poslinkio įtampos sumažėjimo sumažėja titano jonų energija. Pasiekus ruošinį, dulkinimo efektas yra mažesnis nei nusodinimo efektas, o ant ruošinio susidaro titano pereinamasis sluoksnis, kuris pagerina titano nitrido kietosios plėvelės sluoksnio ir pagrindo sukibimo jėgą. Šis procesas taip pat yra ruošinio kaitinimo procesas. Kai grynas titano taikinys iškraunamas, plazmos šviesa yra žydrai mėlyna.

1. Amoniakinė dubenėlio kieta plėvelės danga

Nustatykite vakuumo laipsnį iki 3×10^-1-5 Pa, sureguliuokite ruošinio poslinkio įtampą iki 100–200 V, o impulsinio poslinkio maitinimo šaltinio darbo ciklą – iki 70–80 %. Įvedus azotą, titanas reaguoja su lanko išlydžio plazma, kad nusodintų kietą titano nitrido plėvelę. Šiuo metu plazmos šviesa vakuuminėje kameroje yra vyšninės raudonumo. Jei C₂H₂, O₂ir kt., TiCN, TiO₂ir kt. galima gauti plėvelės sluoksnius.

– Šį straipsnį paskelbė Guangdong Zhenhua, avakuuminio dengimo mašinų gamintojas