De Prozess vun der Ionenbeschichtung mat kathodescher Bouquell ass am Fong deeselwechten wéi aner Beschichtungstechnologien, an e puer Operatiounen wéi d'Installatioun vun Werkstécker an d'Staubsaugen ginn net méi widderholl.
1. Bombardementreinigung vun Werkstécker
Virun der Beschichtung gëtt Argongas mat engem Vakuum vun 2×10⁻⁹ Pa an d'Beschichtungskammer agefouert.
Schalt d'Puls-Bias-Stroumversuergung un, mat engem Duty Cycle vun 20% an enger Werkstéck-Bias vun 800-1000V.
Wann de Boustroum ageschalt gëtt, gëtt eng Kaltfeld-Boguliichtentladung generéiert, déi eng grouss Quantitéit un Elektronestroum an Titanionenstroum aus der Bouquell emittéiert, wouduerch e Plasma mat héijer Dicht entsteet. Den Titanion beschleunegt seng Injektioun an d'Werkstéck ënner dem negativen héije Virspanndrock, deen op d'Werkstéck ugewannt gëtt, wouduerch de Reschtgas an d'Schadstoffer, déi op der Uewerfläch vum Werkstéck adsorbéiert sinn, bombardéiert a sputtert ginn, an d'Uewerfläch vum Werkstéck gereinegt a gebotzt gëtt; Gläichzäiteg gëtt de Chlorgas an der Beschichtungskammer duerch Elektronen ioniséiert, an Argonionen beschleunegen d'Bombardement vun der Uewerfläch vum Werkstéck.
Dofir ass den Effekt vun der Bombardementreinigung gutt. Nëmmen ongeféier 1 Minutt Bombardementreinigung kann d'Wierkstéck botzen, wat "Haaptbogenbombardement" genannt gëtt. Wéinst der héijer Mass vun Titanionen, wann eng kleng Bouquell ze laang benotzt gëtt fir d'Wierkstéck ze bombardéieren an ze botzen, ass d'Temperatur vum Werkstéck ufälleg fir Iwwerhëtzung, an d'Schneid vum Werkzeug kann mëll ginn. An der allgemenger Produktioun ginn kleng Bouquellen eng nom aneren vun uewen no ënnen ageschalt, an all kleng Bouquell huet eng Bombardementreinigungszäit vun ongeféier 1 Minutt.
(1) Beschichtung vun der ënneschter Titanschicht
Fir d'Adhäsioun tëscht dem Film an dem Substrat ze verbesseren, gëtt normalerweis eng Schicht aus purem Titansubstrat virum Beschichtung vum Titannitrid beschichtet. Den Vakuumniveau op 5×10⁻⁶⁻¹⁰⁶⁹⁰⁶⁹ op 400-500V agestallt, an den Duty Cycle vun der Puls-Bias-Stroumversuergung op 40%~50% agestallt. Kleng Liichtbouquellen een nom aneren entzünden, fir eng Kaltfeld-Liichtbouentladung ze generéieren. Wéinst der Ofsenkung vun der negativer Biasspannung vum Werkstéck hëlt d'Energie vun den Titanionen of. Nodeems se d'Werkstéck erreecht hunn, ass de Sputtereffekt manner wéi den Oflagerungseffekt, an eng Titan-Iwwergangsschicht gëtt um Werkstéck geformt, fir d'Bindungskraaft tëscht der Titannitrid-Hartfilmschicht an dem Substrat ze verbesseren. Dëse Prozess ass och de Prozess vun der Erhëtzung vum Werkstéck. Wann d'pur Titan-Zil entluet gëtt, ass d'Liicht am Plasma azurblo.
1. Ammoniéiert Schossel-Hardfilmbeschichtung
Ajustéiert de Vakuumgrad op 3×10-1-5Pa, ajustéiert d'Biasspannung vum Werkstéck op 100-200V, an ajustéiert den Duty Cycle vun der Puls-Bias-Stroumversuergung op 70%~80%. Nodeems de Stéckstoff agefouert gouf, reagéiert Titan a Kombinatioun mam Bouentladungsplasma fir en haarde Titannitridfilm ofzesetzen. Zu dësem Zäitpunkt ass d'Liicht vum Plasma an der Vakuumkammer kirschrout. Wann C2H2, O2, etc. ginn agefouert, TiCN, TiO2, etc. Filmschichten kënnen kritt ginn.
–Dësen Artikel gouf vum Guangdong Zhenhua publizéiert, engemHiersteller vu Vakuumbeschichtungsmaschinnen
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 01.06.2023