Processus obductionis ionum fontis arcus cathodici fere idem est ac aliae technologiae obductionis, et quaedam operationes, ut installatio partium laboris et vacuum purgatio, iam non repetuntur.
1. Purgatio bombardamentorum operum
Ante obductionem, gas argonianum in cameram obductionis cum vacuo 2×10⁻²Pa introducitur.
Fontem potentiae polarisationis impulsuum accende, cum cyclo officii 20% et polarisatione materiae laborandae 800-1000V.
Cum arcus electricus accenditur, frigida emissio lucis arcus generatur, quae magnam copiam currentis electronici et ionum titanii ex fonte arcus emittit, plasmam densitatis altae formans. Ion titanii, sub pressione negativa alta, quae operi applicatur, iniectionem suam in rem operandam accelerat, gas residuum et sordes in superficie operis adsorptas bombardans et spargens, superficiem operis purgans et purificans; simul, gas chlorini in camera obductionis ab electronibus ionizatur, et iones argonii bombardamentum superficiei operis accelerant.
Ergo, effectus purgationis bombardamento bonus est. Solum circiter unum minutum purgationis bombardamento materiam purgare potest, quod "bombardamentum arcus principalis" appellatur. Propter magnam massam ionum titanii, si parvus fons arcus ad bombardandum et purgandum materiam nimis diu adhibetur, temperatura materiae obnoxia est ad calefaciendum, et acies instrumenti mollis fieri potest. In productione generali, fontes arcus parvi singillatim a summo ad imum accenduntur, et quisque fons arcus parvi tempus purgationis bombardamento circiter unius minuti habet.
(1) Stratum inferius titanii tegumenti
Ut adhaesio inter pelliculam et substratum melior fiat, stratum substrati titanii puri plerumque tegitur antequam titanium nitridum tegitur. Gradum vacui ad 5×10⁻²⁻³×10⁻¹Pa adapta, tensionem polarisationis materiae ad 400-500V adapta, et cyclum officii fontis potentiae polarisationis pulsus ad 40%~50% adapta. Arcus parvi singillatim adhuc accendentur ut arcus campi frigidi exoneratio generetur. Propter tensionem polarisationis negativam materiae imminutam, energia ionum titanii minuitur. Postquam materiam attingunt, effectus pulverisationis minor est quam effectus depositionis, et stratum transitionis titanii in materia formatur ut vis nexus inter stratum pelliculae durae nitridi titanii et substratum augeatur. Hic processus etiam processus calefactionis materiae est. Cum scopus titanii puri exoneratur, lux in plasma caerulea caerulea est.
1. Pellicula dura ammoniaca obducta
Gradum vacui ad 3×10 adapta.-1-5Pa, tensionem polarisationis materiae laborandae ad 100-200V accommoda, et cyclum officii fontis potentiae polarisationis impulsuum ad 70%~80% accommoda. Post introductionem nitrogenii, titanium cum plasmate arcus electrici per reactionem coniungitur ut pelliculam duram nitridi titanii deponat. Hoc tempore, lux plasmatis in camera vacui rubra est. Si C2H2, O2, etc. introducuntur, TiCN, TiO2, etc. strata pellicularum obtineri possunt.
–Hic articulus a Guangdong Zhenhua, societate... divulgatus est.Fabricator machinae ad obducendum vacuum
Tempus publicationis: Iun.-01-2023