Pêvajoya pêçandina îyonê ya çavkaniya kevana katodîk di bingeh de wekî teknolojiyên din ên pêçandinê ye, û hin operasyonên wekî sazkirina perçeyên kar û paqijkirina bi makîneya paqijkirinê êdî nayên dubarekirin.
1. Paqijkirina perçeyên kar bi bombebaranê
Berî pêçandinê, gaza argonê bi valahiyek 2×10-2Pa têxin odeya pêçandinê.
Dabînkirina hêza alîgirê pulsê vekin, bi çerxa erkê ya %20 û alîgirê perçeya kar a 800-1000V.
Dema ku hêza kevanê tê vekirin, dakêşanek ronahiya kevanê ya zeviya sar çêdibe, ku mîqdarek mezin ji herikîna elektron û herikîna îyonên tîtanyûmê ji çavkaniya kevanê derdixe, plazmayek bi dendika bilind çêdike. Îyona tîtanyûmê di bin zexta neyînî ya bilind a ku li ser kevanê tê sepandin de derzîkirina xwe ya nav perçeya kar lez dike, gaza mayî û gemarên ku li ser rûyê perçeya kar têne kişandin bombebaran dike û dirijîne, û rûyê perçeya kar paqij û safî dike; Di heman demê de, gaza klorê ya di odeya pêçandinê de ji hêla elektronan ve tê iyonîzekirin, û îyonên argonê bombebarankirina rûyê perçeya kar lez dikin.
Ji ber vê yekê, bandora paqijkirina bombebaranê baş e. Tenê bi qasî 1 deqîqe paqijkirina bombebaranê dikare perçeya kar paqij bike, ku jê re "bombebarana kevana sereke" tê gotin. Ji ber girseya zêde ya îyonên tîtanîyûmê, heke çavkaniyek kevanek piçûk ji bo bombebarankirin û paqijkirina perçeya kar ji bo demek dirêj were bikar anîn, germahiya perçeya kar meyla germbûna zêde dike, û qiraxa amûrê dibe ku nerm bibe. Di hilberîna gelemperî de, çavkaniyên kevanek piçûk yek bi yek ji jor ber bi jêr ve têne vekirin, û her çavkaniya kevanek piçûk demek paqijkirina bombebaranê bi qasî 1 deqîqe heye.
（1）Qata jêrîn a tîtanyûmê pêçandin
Ji bo baştirkirina girêdana di navbera fîlm û substratê de, bi gelemperî berî pêçandina nîtrîda tîtanyûmê qatek ji substrata tîtanyûmê ya saf tê pêçandin. Asta valahiyê li ser 5×10-2-3×10-1Pa verast bikin, voltaja alîgirê perçeya kar li ser 400-500V verast bikin, û çerxa erkê ya dabînkirina hêza alîgirê pulsê li ser 40%~50% verast bikin. Hîn jî çavkaniyên kevanê yên piçûk yek bi yek dişewitînin da ku berdana kevanê ya zeviya sar çêbikin. Ji ber kêmbûna voltaja alîgirê neyînî ya perçeya kar, enerjiya îyonên tîtanyûmê kêm dibe. Piştî gihîştina perçeya kar, bandora sputterkirinê ji bandora danînê kêmtir e, û qatek veguherîna tîtanyûmê li ser perçeya kar tê çêkirin da ku hêza girêdanê di navbera qata fîlma hişk a nîtrîda tîtanyûmê û substratê de baştir bike. Ev pêvajo di heman demê de pêvajoya germkirina perçeya kar e. Dema ku hedefa tîtanyûmê ya saf tê berdan, ronahiya di plazmayê de şînê şîn e.
1. Pêçandina fîlmê hişk a tasa amonyak
Asta valahiyê li ser 3×10 verast bike-1-5Pa, voltaja alîgirê perçeya kar li ser 100-200V verast bike, û çerxa erkê ya dabînkirina hêza alîgirê pulsê li ser 70%~80% verast bike. Piştî ku nîtrojen tê danîn, tîtan bi plazmaya derxistina arkê re reaksiyonek tevlihev dike da ku fîlimek hişk a nîtrîda tîtanyûmê çêbike. Di vê nuqteyê de, ronahiya plazmayê di odeya valahiyê de sorê kiraz e. Ger C2H2, O2, hwd. têne nasandin, TiCN, TiO2, hwd. qatên fîlmê dikarin werin bidestxistin.
-Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua ve hate weşandin, açêkerê makîneya boyaxkirina valahiyê
Dema şandinê: Hezîran-01-2023