음극 아크 소스 이온 코팅의 공정은 기본적으로 다른 코팅 기술과 동일하며, 작업물 설치 및 진공 청소와 같은 일부 작업은 더 이상 반복되지 않습니다.
1. 작업물의 포격 세척
코팅하기 전에 코팅 챔버에 아르곤 가스를 2×10-2Pa의 진공 상태로 주입합니다.
듀티 사이클이 20%이고 작업물 바이어스가 800-1000V인 펄스 바이어스 전원 공급 장치를 켭니다.
아크 전원이 켜지면 저온 아크 방전이 발생하여 아크 소스에서 다량의 전자 전류와 티타늄 이온 전류가 방출되어 고밀도 플라즈마를 형성합니다. 티타늄 이온은 작업물에 인가된 음의 고바이어스 압력 하에서 작업물 내로의 주입을 가속하여 작업물 표면에 흡착된 잔류 가스와 오염 물질을 충돌 및 스퍼터링하고, 작업물 표면을 세정 및 정화합니다. 동시에 코팅 챔버 내의 염소 가스는 전자에 의해 이온화되고, 아르곤 이온은 작업물 표면으로의 충돌을 가속합니다.
따라서 충격 세척 효과가 좋습니다. 약 1분 정도의 충격 세척만으로도 공작물을 세척할 수 있으며, 이를 "주 아크 충격"이라고 합니다. 티타늄 이온의 함량이 높기 때문에, 작은 아크 소스로 공작물을 너무 오랫동안 충격 및 세척하면 공작물 온도가 과열되기 쉽고 공구 날이 무뎌질 수 있습니다. 일반적인 생산에서는 작은 아크 소스가 위에서 아래로 하나씩 켜지며, 각 작은 아크 소스의 충격 세척 시간은 약 1분입니다.
（1）티타늄 바닥층 코팅
필름과 기판 사이의 접착력을 향상시키기 위해 일반적으로 티타늄 질화물을 코팅하기 전에 순수 티타늄 기판 층을 코팅합니다.진공 수준을 5×10-2-3×10-1Pa로 조정하고, 공작물 바이어스 전압을 400-500V로 조정하고, 펄스 바이어스 전원 공급 장치의 듀티 사이클을 40%~50%로 조정합니다.여전히 작은 아크 소스를 하나씩 점화하여 저온 필드 아크 방전을 생성합니다.공작물의 음의 바이어스 전압이 감소하기 때문에 티타늄 이온의 에너지가 감소합니다.공작물에 도달한 후 스퍼터링 효과는 증착 효과보다 적고 티타늄 전이층이 공작물에 형성되어 티타늄 질화물 경질 필름 층과 기판 사이의 결합력을 향상시킵니다.이 과정은 또한 공작물을 가열하는 과정입니다.순수 티타늄 타겟이 방전될 때 플라즈마의 빛은 하늘색입니다.
1. 암모니아 처리된 볼 하드 필름 코팅
진공도를 3×10으로 조정하세요-1-5Pa의 경우, 작업물 바이어스 전압을 100~200V로 조정하고 펄스 바이어스 전원 공급 장치의 듀티 사이클을 70%~80%로 조정합니다. 질소를 주입한 후, 티타늄은 아크 방전 플라즈마와 반응하여 질화 티타늄 경질막을 증착합니다. 이 시점에서 진공 챔버 내 플라즈마의 빛은 체리 레드입니다. 만약 C2H2, 오2등이 소개되고, TiCN, TiO2등의 필름층을 얻을 수 있다.
–이 기사는 광동진화(Guangdong Zhenhua)에서 발행한 것입니다.진공 코팅기 제조업체
게시 시간: 2023년 6월 1일