Жабдық негізінен оксидті қабықшаны дайындау үшін химиялық бу тұндыру әдісін қолданады, ол жылдам тұндыру жылдамдығы мен жоғары қабықша сапасына ие. Жабдықтың құрылымына келетін болсақ, қысу тиімділігін арттыру үшін қос есікті құрылым қолданылады, ал тұрақты және басқарылатын ағынды қамтамасыз ету және процестің тұрақтылығын тиімді қамтамасыз ету үшін ең жаңа сұйық газбен жабдықтау жүйесі қолданылады. Жабдық дайындаған қабықша жақсы су буының тосқауылына және қайнау сынағында ұзақ тұрақтылық кезеңіне ие.
Жабдықты тот баспайтын болатқа, гальваникалық қапталған жабдықтарға/пластик бөлшектерге, шыныға, керамикаға және электронды өнімдерге, жарықдиодты шамдарға, медициналық мақсаттағы бұйымдарға және тотығуға төзімділікті қажет ететін басқа да өнімдерге қолдануға болады. SiOx тосқауыл пленкасы негізінен су буын тиімді түрде блоктауға, коррозия мен тотығудың алдын алуға және өнімнің қызмет ету мерзімін жақсартуға арналған.
| Қосымша модельдер | ішкі камераның өлшемі |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(мм) |