Ferlið við jónhúðun með litlum bogagjafa

Ferlið við jónhúðun með kaþóðbogagjafa er í grundvallaratriðum það sama og með öðrum húðunartækni, og sumar aðgerðir eins og að setja upp vinnustykki og ryksuga eru ekki lengur endurteknar.

1. Þrif á vinnustykkjum með sprengjuárás

Áður en húðun er framkvæmd er argongasi leitt inn í húðunarklefann með lofttæmi upp á 2×10⁻² Pa.

Kveiktu á púlsspennugjafanum, með 20% vinnuhlutfalli og 800-1000V spennu á vinnustykkinu.

Þegar kveikt er á ljósboganum myndast kalt ljósbogaljós sem gefur frá sér mikinn rafeindastraum og títanjónstraum frá ljósbogagjafanum og myndar plasma með mikilli þéttleika. Títanjónin flýtir fyrir innspýtingu sinni í vinnustykkið undir neikvæðum háþrýstingi sem beitt er á vinnustykkið, sem sprengir og spútar leifargas og mengunarefni sem aðsogast á yfirborði vinnustykkisins og hreinsar og hreinsar yfirborð vinnustykkisins. Á sama tíma jónast klórgasið í húðunarklefanum af rafeindum og argonjónir flýta fyrir sprengingu á yfirborði vinnustykkisins.

Þess vegna er áhrifin af sprengjuhreinsun góð. Aðeins um eina mínútu af sprengjuhreinsun er hægt að hreinsa vinnustykkið, sem kallast „aðalbogasprengja“. Vegna mikils massa títanjóna, ef lítill bogagjafi er notaður til að sprengja og hreinsa vinnustykkið of lengi, er hitastig vinnustykkisins viðkvæmt fyrir ofhitnun og brún verkfærisins getur orðið mjúk. Í almennri framleiðslu eru litlar bogagjafar kveiktar einn í einu ofan frá og niður, og hver lítill bogagjafi hefur sprengjuhreinsunartíma upp á um eina mínútu.

(1) Húðun á botnlagi títans

Til að bæta viðloðun milli filmunnar og undirlagsins er venjulega húðað lag af hreinu títan undirlagi áður en títan nítríð er húðað. Stillið lofttæmisstigið á 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, stillið spennu vinnustykkisins á 400-500V og stillið virknisferil púlsspennugjafans á 40% ~ 50%. Kveikið áfram á litlum bogagjöfum, einni í einu, til að mynda útskrift frá köldu sviði. Vegna lækkunar á neikvæðri spennu vinnustykkisins minnkar orka títan jónanna. Eftir að hafa náð vinnustykkinu eru spúttunaráhrifin minni en útfellingaráhrifin og títan umbreytingarlag myndast á vinnustykkinu til að bæta límingarkraftinn milli títan nítríð harðfilmulagsins og undirlagsins. Þetta ferli er einnig ferli til að hita vinnustykkið. Þegar hreint títan skotmark er útskrifað er ljósið í plasmanu bláblátt.

1. Ammoníakskál með hörðum filmuhúð

Stilltu lofttæmingargráðuna á 3×10^-1-5Pa, stillið spennu vinnustykkisins á 100-200V og stillið virknisferil púlsspennugjafans á 70%~80%. Eftir að köfnunarefni hefur verið bætt við, blandast títan við plasma frá bogaútblæstri til að mynda harða filmu af títanítríði. Á þessum tímapunkti er ljós plasmasins í lofttæmishólfinu kirsuberjarautt. Ef C₂H₂, Ó₂o.s.frv. eru kynnt til sögunnar, TiCN, TiO₂o.s.frv. er hægt að fá filmulög.

–Þessi grein var birt af Guangdong Zhenhua, aframleiðandi tómarúmhúðunarvéla