HFCVD0606

A kémiai gőzfázisú leválasztó berendezés vákuumos bevonókamrája független, kétrétegű vízhűtéses szerkezettel rendelkezik, amely hatékony és egyenletes hűtést biztosít, valamint biztonságos és stabil szerkezettel rendelkezik. A berendezés dupla ajtókkal, több megfigyelőablakkal és több bővítőinterfésszel van ellátva, ami kényelmessé teszi a kiegészítő perifériák, például az infravörös hőmérsékletmérés, a spektrális analízis, a videomegfigyelés és a hőelem külső csatlakoztatását. A fejlett tervezési koncepció megkönnyíti és egyszerűvé teszi a berendezés napi karbantartását, konfigurációmódosítását és frissítését, és hatékonyan csökkenti a használati és frissítési költségeket.

Felszerelés jellemzői:

1. A berendezés felfújó alkatrészei főként tömegárammérőt, mágnesszelepet és gázkeverő tartályt tartalmaznak, amelyek biztosítják a technológiai gázáramlás pontos szabályozását, a különböző gázok egyenletes keverését és biztonságos elkülönítését, valamint lehetővé teszik a gázrendszer-alkatrészek kiválasztását folyékony gázforrásként való használathoz, megkönnyítik a folyékony szénforrások széles választékának személyre szabott kiválasztását, valamint a szintetikus vezetőképes gyémánt és elektróda folyékony bórforrások biztonságos használatát.
2. A levegőelszívó szerelvény csendes és hatékony forgólapátos vákuumszivattyúval és turbó molekuláris szivattyúrendszerrel van felszerelve, amely gyorsan képes megfelelni a nagy vákuumos háttérkörnyezet követelményeinek. A vákuumméréshez ellenállásmérővel és ionizációmérővel ellátott kompozit vákuummérőt, valamint kapacitív filmmérő rendszert használnak, amely széles tartományban képes mérni a különböző technológiai gázok nyomását. A lerakódási nyomást nagy pontosságú proporcionális szabályozószelep szabályozza teljesen automatikusan.
3. A hűtővíz-komponens többcsatornás víznyomás-, áramlás- és hőmérsékletméréssel, valamint szoftveres automatikus felügyelettel van felszerelve. A különböző hűtőkomponensek egymástól függetlenek, ami megkönnyíti a gyors hibakeresést. Minden ág független szelepkapcsolókkal rendelkezik, ami biztonságos és hatékony.
4. Az elektromos vezérlőelemek nagyméretű ember-gép interfész LCD képernyőt alkalmaznak, és együttműködnek a PLC teljesen automatikus vezérlésével, hogy megkönnyítsék a folyamatképlet szerkesztését és importálását. A grafikus görbe vizuálisan megjeleníti a különböző paraméterek változásait és értékeit, a berendezés és a folyamatparaméterek pedig automatikusan rögzítésre és archiválásra kerülnek, hogy megkönnyítsék a problémameghatározást és az adatok statisztikai elemzését.
5. A munkadarab-állvány szervomotorral van felszerelve, amely az aljzatasztal emelését és süllyesztését vezérli. Grafit vagy vörösréz aljzatasztal választható. A hőmérsékletet hőelem méri.
6. Az állványkomponensek egyben vagy külön-külön is megtervezhetők az ügyfél igényei szerint, hogy megfeleljenek az ügyfelek speciális kezelési követelményeinek.
7. A tömítőlemez alkatrészei szépek és elegánsak. A berendezés különböző funkcionális modulterületein található tömítőlemezek gyorsan szétszerelhetők, illetve egymástól függetlenül nyithatók és zárhatók, ami nagyon kényelmes használatot biztosít.

A forrószálas CVD berendezések alkalmasak gyémántanyagok, többek között vékonyréteg-bevonat, önhordó vastagréteg, mikrokristályos és nanokristályos gyémánt, vezetőképes gyémánt stb. lerakására. Főként keményfém vágószerszámok kopásálló védőbevonatához, félvezető anyagokhoz, például szilíciumhoz és szilícium-karbidhoz, eszközök hőelvezető bevonatához, bórral adalékolt vezetőképes gyémántelektródához, elektrolitikus víz ózonos fertőtlenítéséhez vagy szennyvízkezeléshez használják.